公开(公告)号：KR20200130289A

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：KR20207025911

申请日：2019-02-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KURGANOVA EVGENIA ,  GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA ,  KLEIN ALEXANDER LUDWIG ,  NASALEVICH MAXIM ALEKSANDROVICH ,  NOTENBOOM ARNOUD WILLEM ,  PETER MARIA ,  VAN ZWOL PIETER JAN ,  VLES DAVID FERDINAND ,  VOLLEBREGT STEN ,  VOORTHUIJZEN WILLEM PIETER

IPC: B01J21/18 ,  B01J23/28 ,  B01J23/30 ,  B01J23/652 ,  B01J23/883 ,  B01J23/885 ,  B01J27/22 ,  B01J35/00 ,  B01J37/02 ,  G03F1/62 ,  G03F7/20

Abstract: 몰리브덴을포함하는제 1 층; 베이스층; 및중간층을포함하고, 중간층은베이스층과제 1 층사이에배치되는촉매가개시된다. 또한, 촉매를제조하는방법및 그래핀을합성하는방법, 본명세서에개시된촉매또는방법을사용하여생성되는펠리클, 및이러한펠리클을포함하는리소그래피장치가개시된다.