公开(公告)号：KR20200130289A

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：KR20207025911

申请日：2019-02-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KURGANOVA EVGENIA ,  GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA ,  KLEIN ALEXANDER LUDWIG ,  NASALEVICH MAXIM ALEKSANDROVICH ,  NOTENBOOM ARNOUD WILLEM ,  PETER MARIA ,  VAN ZWOL PIETER JAN ,  VLES DAVID FERDINAND ,  VOLLEBREGT STEN ,  VOORTHUIJZEN WILLEM PIETER

IPC: B01J21/18 ,  B01J23/28 ,  B01J23/30 ,  B01J23/652 ,  B01J23/883 ,  B01J23/885 ,  B01J27/22 ,  B01J35/00 ,  B01J37/02 ,  G03F1/62 ,  G03F7/20

Abstract: 몰리브덴을포함하는제 1 층; 베이스층; 및중간층을포함하고, 중간층은베이스층과제 1 층사이에배치되는촉매가개시된다. 또한, 촉매를제조하는방법및 그래핀을합성하는방법, 본명세서에개시된촉매또는방법을사용하여생성되는펠리클, 및이러한펠리클을포함하는리소그래피장치가개시된다.

公开(公告)号：KR20210007971A

公开(公告)日：2021-01-20

申请号：KR20207031906

申请日：2019-04-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DE GRAAF DENNIS ,  BEAUDRY RICHARD ,  BIRON MAXIME ,  JANSSEN PAUL ,  KATER THIJS ,  KORNELSEN KEVIN ,  KUIJKEN MICHAEL ALFRED JOSEPHUS ,  KUNTZEL JAN HENDRIK WILLEM ,  MARTEL STEPHANE ,  NASALEVICH MAXIM ALEKSANDROVICH ,  SALMASO GUIDO ,  VAN ZWOL PIETER JAN

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/22 ,  G03F7/20

Abstract: 한면의마스크및 반대면의적어도하나의층을포함한웨이퍼가설명되며, 마스크는적어도하나의층이실질적으로없는반대면의적어도일부분위에놓이는적어도하나의스크라이브라인을포함한다. 또한, 한면의마스크및 반대면의적어도하나의층을포함한웨이퍼를제공하는단계, 마스크에서스크라이브라인을정의하는단계, 및적어도부분적으로스크라이브라인위에놓이는적어도하나의층의부분을선택적으로제거하는단계를포함하는펠리클제조방법, 및펠리클코어를제공하는단계, 및비-산화환경에서펠리클코어의적어도하나의면으로부터적어도일부재료를제거하는단계를포함하는펠리클제조방법이설명된다. 여하한의실시형태에서, 펠리클은금속질화물층을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR20180072786A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR20187014403

申请日：2016-10-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PETER MARIA ,  ABEGG ERIK ACHILLES ,  GIESBERS ADRIANUS JOHANNES MARIA ,  KLOOTWIJK JOHAN HENDRIK ,  NASALEVICH MAXIM ALEKSANDROVICH ,  VAN DEN EINDEN WILHELMUS THEODORUS ANTHONIUS JOHANNES ,  VAN DER ZANDE WILLEM JOAN ,  VAN ZWOL PIETER JAN ,  VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS ,  VLES DAVID FERDINAND ,  VOORTHUIJZEN WILLEM PIETER

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70958 ,  G03F1/62 ,  G03F7/70983 ,  G21K2201/067

Abstract: 리소그래피장치를위한펠리클을제조하는방법들이개시된다. 일배치에서, 상기방법은기판의평탄한표면상에적어도하나의그래핀층을증착하는단계를포함한다. 상기기판은제1기판부및 제2기판부를포함한다. 상기방법은상기적어도하나의그래핀층으로부터프리스탠딩막을형성하기위해상기제1기판부를제거하는단계를더 포함한다. 상기프리스탠딩막은상기제2기판부에의해지지된다.