公开(公告)号：EP2794790A4

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：EP11878201

申请日：2011-12-21

Applicant: BASF SE

Inventor： RAMAN VIJAY IMMANUEL ,  LI YUZHUO ,  SCHADE CHRISTIAN ,  VENKATARAMAN SHYAM SUNDAR ,  SU EASON YU-SHEN ,  USMAN IBRAHIM SHEIK ANSAR ,  GAO NING

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105

CPC classification number: C09G1/04 ,  C09G1/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  C09K13/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/461

Abstract: A chemical mechanical polishing (CMP) composition comprising: (A) inorganic particles, organic particles, or a mixture or composite thereof, (B) at least one type of an organic polymeric compound as a dispersing agent or charge reversal agent comprising a phosphonate (P(═O)(OR1)(OR2) or phosphonic acid (P(═O)(OH)2) moiety or their deprotonated forms as pendant groups, wherein R1 is alkyl, aryl, alkylaryl, or arylalkyl, R2 is H, alkyl, aryl, alkylaryl, or arylalkyl, and (C) an aqueous medium.

Abstract translation: 一种化学机械抛光（CMP）组合物，其包含：（A）无机颗粒，有机颗粒或其混合物或复合物，（B）至少一种作为分散剂的有机聚合物或电荷反转剂，其包含膦酸盐 P（ΟO）（OR1）（OR2）或膦酸（P（ΟO）（OH）2）部分或其去质子化形式为侧基，其中R 1为烷基，芳基，烷基芳基或芳基烷基， 烷基，芳基，烷基芳基或芳烷基，和（C）水性介质。

公开(公告)号：EP2742103A4

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：EP12819882

申请日：2012-07-30

Applicant: BASF SE

Inventor： NOLLER BASTIAN MARTEN ,  DRESCHER BETTINA ,  GILLOT CHRISTOPHE ,  LI YUZHUO ,  GAO NING

IPC: H01L21/306 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/30625 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  C23F3/00 ,  H01L21/02024 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/3212

公开(公告)号：EP2753670A4

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：EP12830462

申请日：2012-09-04

Applicant: BASF SE

Inventor： LI YUZHUO ,  LAUTER MICHAEL ,  LANGE ROLAND ,  GAO NING

IPC: C09G1/02

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09G1/00 ,  C09K13/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31053

公开(公告)号：EP2684213A4

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：EP12757663

申请日：2012-02-28

Applicant: BASF SE

Inventor： LI YUZHUO ,  WANG CHANGXUE ,  SHEN DANIEL KWO-HUNG ,  GAO NING

IPC: H01L21/306 ,  C09G1/02 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/30625 ,  C09G1/02 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/3212 ,  H01L21/76898

公开(公告)号：EP2688966A4

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：EP12760432

申请日：2012-03-19

Applicant: BASF SE

Inventor： NOLLER BASTIAN ,  LAUTER MICHAEL ,  SUGIHARTO ALBERT BUDIMAN ,  LI YUZHUO ,  RUSHING KENNETH ,  FRANZ DIANA ,  BÖHN ROLAND ,  GAO NING

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/321

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09G1/04 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/30625