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公开(公告)号:WO2011064372A3
公开(公告)日:2011-08-11
申请号:PCT/EP2010068435
申请日:2010-11-29
Applicant: IBM , IBM UK , ROSSNAGEL STEPHEN , CABRAL JR CYRIL , MURRAY CONAL EUGENE , WISNIERFF ROBERT LUKE , KOESTER STEVEN JOHN , RODBELL KENNETH PARKER , GORDON MICHAEL , YAU JENG-BANG
Inventor: ROSSNAGEL STEPHEN , CABRAL JR CYRIL , MURRAY CONAL EUGENE , WISNIERFF ROBERT LUKE , KOESTER STEVEN JOHN , RODBELL KENNETH PARKER , GORDON MICHAEL , YAU JENG-BANG
IPC: G01T1/02
CPC classification number: G01T1/026
Abstract: A system for determining an amount of radiation includes a dosimeter configured to receive the amount of radiation, the dosimeter comprising a circuit having a resonant frequency, such that the resonant frequency of the circuit changes according to the amount of radiation received by the dosimeter, the dosimeter further configured to absorb RF energy at the resonant frequency of the circuit; a radio frequency (RF) transmitter configured to transmit the RF energy at the resonant frequency to the dosimeter; and a receiver configured to determine the resonant frequency of the dosimeter based on the absorbed RF energy, wherein the amount of radiation is determined based on the resonant frequency.
Abstract translation: 用于确定辐射量的系统包括配置成接收辐射量的剂量计,剂量计包括具有谐振频率的电路,使得电路的谐振频率根据剂量计接收的辐射量而变化, 剂量计进一步被配置为吸收电路的谐振频率处的RF能量; 射频(RF)发射器,其被配置为将所述谐振频率处的所述RF能量发射到所述剂量计; 以及接收器,被配置为基于吸收的RF能量确定剂量计的谐振频率,其中基于谐振频率确定辐射量。
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公开(公告)号:JP2011185933A
公开(公告)日:2011-09-22
申请号:JP2011047471
申请日:2011-03-04
Applicant: Internatl Business Mach Corp
, インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Maschines Corporation Inventor: MICHAEL S GORDON , KOESTER STEVEN JOHN , RODBELL KENNETH P , YAU JENG-BANG
CPC classification number: H01L31/119
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for radiation monitoring that obtains real time information concerning the amount of radiation.
SOLUTION: A semiconductor device includes: a semiconductor substrate; a buried insulator layer disposed on the semiconductor substrate, the buried insulator layer configured to retain an amount of charge in a plurality of charge traps in response to a radiation exposure by the semiconductor device; a semiconductor layer disposed on the buried insulating layer; a second insulator layer disposed on the semiconductor layer; a gate conducting layer disposed on the second insulator layer; and one or more side contacts electrically connected to the semiconductor layer. The method for radiation monitoring includes: applying a backgate voltage to a radiation monitor, the radiation monitor comprising a field effect transistor (FET); exposing the radiation monitor to radiation; determining a change in a threshold voltage of the radiation monitor; and determining an amount of radiation exposure based on the change in threshold voltage.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题:提供一种获得关于辐射量的实时信息的辐射监测方法。 解决方案:半导体器件包括:半导体衬底; 设置在所述半导体衬底上的掩埋绝缘体层,所述掩埋绝缘体层被配置为响应于所述半导体器件的辐射暴露而将多个电荷量保持在多个电荷阱中; 设置在所述掩埋绝缘层上的半导体层; 设置在所述半导体层上的第二绝缘体层; 设置在所述第二绝缘体层上的栅极导电层; 以及与半导体层电连接的一个或多个侧触点。 用于辐射监测的方法包括:将背栅电压施加到辐射监测器,所述辐射监测器包括场效应晶体管(FET); 将辐射监测仪暴露于辐射; 确定辐射监测器的阈值电压的变化; 以及基于阈值电压的变化确定辐射暴露量。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT
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公开(公告)号:DE112020000931T5
公开(公告)日:2021-11-04
申请号:DE112020000931
申请日:2020-04-06
Applicant: IBM
Inventor: REZNICEK ALEXANDER , YAU JENG-BANG , HEKMATSHOARTABARI BAHMANN
IPC: G01N27/26 , G01N27/414 , G01N33/483 , H01L29/73
Abstract: Ein Biosensor enthält ein massives Silicium-Substrat und einen auf mindestens einem Teil des Substrats gebildeten vertikalen Transistor mit bipolarem Übergang (BJT). Der BJT enthält einen Emitter-Bereich, einen Kollektor-Bereich und einen epitaxial aufgewachsenen eigenleitenden Basis-Bereich zwischen dem Emitter-Bereich und dem Kollektor-Bereich. Ferner enthält der Biosensor eine auf mindestens einem Teil von zwei vertikalen Oberflächen des eigenleitenden Basis-Bereichs des BJT gebildete Sensorstruktur. Die Sensorstruktur enthält eine Kanal-Graben-Öffnung, die den eigenleitenden Basis-Bereich auf einer ersten und/oder einer zweiten einander gegenüberliegenden Seite freilegt, und mindestens eine in der Kanal/Graben-Öffnung gebildete dielektrische Schicht, die mit mindestens einem Teil des eigenleitenden Basis-Bereichs in Kontakt steht, wobei dielektrische Schicht in der Lage ist, auf Ladungen in biologischen Molekülen anzusprechen.
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公开(公告)号:DE102012217336B4
公开(公告)日:2014-02-13
申请号:DE102012217336
申请日:2012-09-25
Applicant: IBM
Inventor: CHAN KEVIN K , D EMIC CHRISTOPHER , KIM YOUNG-HEE , PARK DAE-GYU , YAU JENG-BANG
IPC: H01L21/283 , H01L21/336 , H01L21/76 , H01L21/8234 , H01L21/84 , H01L29/49
Abstract: Verfahren (100) zum Ersetzen von Halbleitermaterial durch Metall, wobei das Verfahren (100) Folgendes aufweist: Bilden einer strukturierten Halbleiterschicht (126) auf einer Dielektrikumsschicht (124); Bilden (106) einer Feld-Dielektrikumsschicht (144; 134, 136, 138) welche den Raum zwischen Formen auf der strukturierten Halbleiterschicht (126) füllt; Aufbringen (110) von Metall (170) auf die Formen (142); und Tempern (112) des Wafers (120), wobei das aufgebrachte Metall (170) in jeder der Formen (142) den Halbleiter ersetzt, wobei es sich bei den Formen um Silicium-Platzhalter und bei dem Metall (170) um Aluminium handelt, und wobei das Aufbringen (110) von Aluminium (170) das Strukturieren einer aufgebrachten Aluminiumschicht (170) in einem Aluminium-Abhebeverfahren aufweist; und das Tempern (112) des Wafers (120) ein Kurzzeittempern für zwei Stunden bei vierhundert Grad Celsius umfasst.
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公开(公告)号:DE112010004414T8
公开(公告)日:2013-03-14
申请号:DE112010004414
申请日:2010-11-02
Applicant: IBM
Inventor: NING HUNG TAK , CAI JIN , KHAKIFIROOZ ALI , DENNARD HEATH ROBERT , YAU JENG-BANG
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公开(公告)号:DE112012000467B4
公开(公告)日:2015-01-08
申请号:DE112012000467
申请日:2012-01-10
Applicant: IBM
Inventor: LIN YU-MING , YAU JENG-BANG
Abstract: Verfahren zum Fertigen eines strahlungsfesten Transistors, das die Schritte aufweist: Bereitstellen eines strahlungsfesten Substrats; wobei das Substrat einen Silicium-Wafer aufweist, der mit einem strahlungsfesten Material bedeckt ist; Ausbilden eines Materials auf der Grundlage von Kohlenstoff auf dem Substrat, wobei ein Abschnitt des Materials auf der Grundlage von Kohlenstoff als Kanalbereich des Transistors dient und sonstige Abschnitte des Materials auf der Grundlage von Kohlenstoff als Source- und Drain-Bereiche des Transistors dienen; Ausbilden von Kontakten an den Abschnitten des Materials auf der Grundlage von Kohlenstoff, die als Source- und Drain-Bereiche des Transistors dienen; Abscheiden eines Gate-Dielektrikums über dem Abschnitt des Materials auf der Grundlage von Kohlenstoff, der als Kanalbereich des Transistors dient; Ausbilden eines Top-Gate-Kontakts auf dem Gate-Dielektrikum wobei das strahlungsfeste Material eine Siliciumcarbid-Dünnschicht aufweist, die epitaktisch auf dem Silicium-Wafer aufgewachsen wird; und thermisches Tempern der Siliciumcarbid-Dünnschicht, um eine strahlungsbeständige Siliciumcarbid-Dünnschicht auszubilden.
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公开(公告)号:GB2487307B
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:GB201200820
申请日:2010-11-03
Applicant: IBM
Inventor: OUYANG QIQING CHRISTINE , DENNARD ROBERT HEATH , YAU JENG-BANG
IPC: H01L27/12 , H01L21/336 , H01L21/762 , H01L21/84 , H01L29/66 , H01L29/786
Abstract: A semiconductor wafer structure for integrated circuit devices includes a bulk substrate; a lower insulating layer formed on the bulk substrate; an electrically conductive back gate layer formed on the lower insulating layer; an upper insulating layer formed on the back gate layer; and a hybrid semiconductor-on-insulator layer formed on the upper insulating layer, the hybrid semiconductor-on-insulator layer comprising a first portion having a first crystal orientation and a second portion having a second crystal orientation.
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公开(公告)号:GB2500851A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:GB201313089
申请日:2012-01-10
Applicant: IBM
Inventor: LIN YU-MING , YAU JENG-BANG
IPC: H01L29/786
Abstract: Graphene- and/or carbon nanotube-based radiation-hard transistor devices and techniques for the fabrication thereof are provided. In one aspect, a method of fabricating a radiation-hard transistor is provided. The method includes the following steps. A radiation-hard substrate is provided. A carbon-based material is formed on the substrate wherein a portion of the carbon-based material serves as a channel region of the transistor and other portions of the carbon-based material serve as source and drain regions of the transistor. Contacts are formed to the portions of the carbon-based material that serve as the source and drain regions of the transistor. A gate dielectric is deposited over the portion of the carbon-based material that serves as the channel region of the transistor. A top-gate contact is formed on the gate dielectric.
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公开(公告)号:DE102012217336A1
公开(公告)日:2013-06-27
申请号:DE102012217336
申请日:2012-09-25
Applicant: IBM
Inventor: CHAN KEVIN K , D EMIC CHRISTOPHER , KIM YOUNG-HEE , PARK DAE-GYU , YAU JENG-BANG
IPC: H01L21/283 , H01L21/336 , H01L21/76 , H01L21/8234 , H01L21/84 , H01L29/49
Abstract: Ein Verfahren zum Ersetzen von Halbleitermaterial durch Metall, Ersatzmetall-Gate-Feldeffekttransistoren (RMGFETs) und Ersatzmetallkontakte (RMCs) und Chips mit integrierten Schaltungen (ICs), welche die FETs und/oder RMCs umfassen. Eine strukturierte Halbleiterschicht, z.B. Silicium, wird auf einer Dielektrikumsschicht, z.B. eines geschichteten Gate-Dielektrikums, gebildet. Eine Feld-Dielektrikumsschicht füllt den Raum zwischen Formen in der strukturierten Halbleiterschicht. Auf die Formen wird Metall aufgebracht. Der Wafer wird getempert, um Halbleiter in jeder Form durch Metall zu ersetzen, um Metall-FET-Gate-Zonen oder Metallkontakte zu bilden.
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公开(公告)号:DE102016218690A1
公开(公告)日:2017-04-20
申请号:DE102016218690
申请日:2016-09-28
Applicant: IBM
Inventor: GORDON MICHAEL S , NING TAK H , RODBELL KENNETH P , YAU JENG-BANG
IPC: H01L27/14 , G01T1/24 , H01L21/331 , H01L27/102 , H01L29/735
Abstract: Ein integrierter Strahlungssensor für ein Erfassen des Vorhandenseins eines Umgebungsmaterials und/oder einer Umgebungsbedingung beinhaltet eine Messstruktur sowie einen ersten und einen zweiten lateralen Bipolartransistor (BJT), die entgegengesetzte Polaritäten aufweisen. Der erste laterale BJT weist eine Basis auf, die mit der Messstruktur elektrisch gekoppelt ist, und ist so konfiguriert, dass er ein Ausgangssignal erzeugt, das indikativ für eine Änderung einer gespeicherten Ladung in der Messstruktur ist. Der zweite laterale BJT ist so konfiguriert, dass er das Ausgangssignal des ersten Bipolartransistors verstärkt. Der erste und der zweite laterale BJT, die Messstruktur sowie das Substrat, auf dem diese ausgebildet sind, weisen eine monolithische Struktur auf.
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