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公开(公告)号：DE102017123431A1
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：DE102017123431
申请日：2017-10-09
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： BRANDL FLORIAN , ECKINGER MARKUS , HAMMERSCHMIDT DIRK , WINKLER BERHARD
Abstract: Ein Drucksensor wird bereitgestellt. Der Drucksensor umfasst zumindest zwei Elektroden und eine integrierte Schaltung, die ausgebildet ist, um eine Kapazität zwischen den zumindest zwei Elektroden zu erfassen. Ferner umfasst der Drucksensor eine MEMS-Struktur, umfassend eine leitfähige oder dielektrische Membran, die ausgebildet ist, um sich abhängig von dem Druck relativ zu den zumindest zwei Elektroden zu bewegen.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102018102998A1
公开(公告)日：2019-08-14
申请号：DE102018102998
申请日：2018-02-09
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： POPESCU-STROE VICTOR , CRISU CONSTANTIN , FAKESCH UWE , LANDGRAF ERHARD , WINKLER BERHARD , BOEHM MATTHIAS , JAHN STEFAN , STOICESCU EMANUEL , WEIDENAUER JANIS
Abstract: Beispiele stellen eine Vorrichtung, ein Verfahren und ein Computerprogramm zum Vergleichen der Ausgabe von Sensorzellen in einer Anordnung von Sensorzellen in einem Bereich A bereit, umfassend einen Satz (110) von mindestens zwei Messeinheiten (10. 12). Eine Messeinheit umfasst mindestens zwei Sensorzellen (10a, 10b, 12a, 12b), wobei mindestens eine Sensorzelle von mindestens einer Messeinheit eine sensitive Sensorzelle (S1, S2) umfasst, die in Bezug auf eine Messgröße sensitiv ist. Die Sensorzellen werden miteinander vermischt. Die Vorrichtung umfasst ferner ein Mittel zum (120) Auswählen von Ausgangssignalen von Sensorzellen der Anordnung und ein Mittel zum (130) Bestimmen einer Messgröße oder zum Bestimmen einer intakten Sensorzelle durch Vergleichen von Ausgangssignalen verschiedener Messeinheiten.
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公开(公告)号：DE102021102046A1
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：DE102021102046
申请日：2021-01-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： SCHALLER RAINER MARKUS , MUELLER THOMAS , WINKLER BERHARD
Abstract: Ein Drucksensor (10; 20; 30) umfasst ein Gehäuse (11), eine flexible Membran (12), welche zusammen mit dem Gehäuse (11) einen hermetisch abgeschlossenen Hohlraum (13) bildet, ein in dem Hohlraum (13) angeordnetes Sensorelement (14), und ein in dem Hohlraum (13) befindliches gasförmiges Medium (15).
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公开(公告)号：DE102012021413B4
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：DE102012021413
申请日：2012-10-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DIEZ WALTER , KALZ FRANZ-PETER , WINKLER BERHARD
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Sensors (100), wobei das Verfahren umfasst: Aufbringen eines Tropfen Globetop (200) über einer Sensor-Membran (130); und Strukturieren einer Oberfläche des Tropfen Globetop (200), wobei das Strukturieren der Oberfläche des Tropfen Globetop (200) umfasst: Anordnen einer rahmenförmigen Struktur (300) um die Sensor-Membran (130); und Aufbringen des Tropfen Globetop (200) direkt auf der Sensor-Membran (130) innerhalb der rahmenförmigen Struktur (300).
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公开(公告)号：DE102015109573A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：DE102015109573
申请日：2015-06-16
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： POPP THOMAS , MEIER ROLAND , PRUEGL KLEMENS , WINKLER BERHARD , FÖRG RAIMUND
Abstract: Die Ausführungsformen betreffen mikroelektromechanische Systeme (MEMS) und insbesondere Pixel umfassende Membranstrukturen zur Verwendung in z.B. Bildschirmvorrichtungen. In Ausführungsformen umfasst eine Membranstruktur eine monokristalline Siliziummembran über einem Hohlraum, der über einem Siliziumsubstrat ausgebildet ist. Die Membranstruktur kann eine Lichtinterferenzstruktur umfassen, die abhängig von einem variablen Abstand zwischen der Membran und dem Substrat unterschiedliche Lichtwellenlängen transmittiert oder reflektiert. Damit zusammenhängende Vorrichtungen, Systeme und Verfahren werden ebenfalls offenbart.
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公开(公告)号：DE102012021413A1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：DE102012021413
申请日：2012-10-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DIEZ WALTER , KALZ FRANZ-PETER , WINKLER BERHARD
Abstract: Die vorliegende Erfindung beschreibt einen Sensor wobei der Sensor eine Sensor-Membran aufweist und wobei eine Seite der Sensor-Membran zumindest teilweise einen Globetop aufweist und wobei der Globetop ferner Strukturierungen aufweist.
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