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公开(公告)号：CN103597572A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280028446.4
申请日：2012-04-27
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： A·万·登·布罗姆 , S·W·H·K·施藤布里克 , M·J-J·威兰 , G·德·博尔 , P·卡佩尔霍夫
IPC: H01J37/317 , H01J37/067 , G03F7/20 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/708 , G03F7/70825 , G03F7/70975 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/024 , H01J2237/03 , H01J2237/0437 , H01J2237/1502 , H01J2237/153
Abstract: 用于处理靶片表面的带电粒子系统。本发明涉及一种利用至少一个带电粒子射束处理靶片表面的带电粒子系统。该系统包括光学柱，该光学柱具有：射束生成器模块，用于产生多个带电粒子射束；射束调制器模块，用于开启和关闭所述多个射束；以及射束投射器模块，用于使射束或者子射束投射到所述靶片表面上。该系统还包括：机架，用于在固定位置支承每个所述模块；以及对准元件，用于使至少一个射束和/或子射束与下游模块元件对准。
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公开(公告)号：CN102047375A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119732.X
申请日：2009-05-27
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/12 , H01J37/28 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/1536
Abstract: 本发明涉及一种用于微柱的电子透镜，并且更为具体地涉及一种多极电子透镜，其中所述电子透镜包括两个或更多个电极层，每一电子层具有从电子束沿其通过的中心光轴延伸的狭缝，且所述两个电极层在电子光轴上对准，以使得所述狭缝相互错开。进一步，本发明涉及使用所述多极透镜的微柱。根据本发明的多极透镜可以以简化方式被制造和控制，减小了微柱的散焦，并增大的有效偏转区域。
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公开(公告)号：CN104681382B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201410718566.8
申请日：2014-12-02
Applicant: FEI 公司
Inventor： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC classification number: H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813
Abstract: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M>1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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公开(公告)号：CN101496129B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN200780028626.1
申请日：2007-07-13
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 彼得·克勒伊特 , 张艳霞 , 马蒂杰恩·J·范布吕根 , 斯泰恩·威廉·赫尔曼·卡雷尔·斯腾布林克
IPC: H01J37/12 , H01J37/063
CPC classification number: H01J37/12 , H01J2237/0453 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明涉及一种多光束带电粒子光学系统，包括具有至少一个电极的静电透镜结构，提供有光圈，其中通过所述电极在所述光圈处实现的透镜视场的有效尺寸被制成最终较小。该系统可以包括发散带电粒子光束部分，其中包含该透镜结构。透镜的外形尺寸被制成最终较小，特别是小于1毫米，更特别是小于几十微米。在进一步的设计中，透镜与限流光圈(CLA)组合，相对于所述结构的透镜对准(排列)，使得通过所述限流光圈在所述透镜中实现的虚拟光圈(VA)位于使总象差最小化的最佳位置。
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公开(公告)号：CN103703537A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102067268B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN101496129A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028626.1
申请日：2007-07-13
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 彼得·克勒伊特 , 张艳霞 , 马蒂杰恩·J·范布吕根 , 斯泰恩·威廉·赫尔曼·卡雷尔·斯腾布林克
IPC: H01J37/12 , H01J37/063
CPC classification number: H01J37/12 , H01J2237/0453 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明涉及一种多光束带电粒子光学系统，包括具有至少一个电极的静电透镜结构，提供有光圈，其中通过所述电极在所述光圈处实现的透镜视场的有效尺寸被制成最终较小。该系统可以包括发散带电粒子光束部分，其中包含该透镜结构。透镜的外形尺寸被制成最终较小，特别是小于1毫米，更特别是小于几十微米。在进一步的设计中，透镜与限流光圈(CLA)组合，相对于所述结构的透镜对准(排列)，使得通过所述限流光圈在所述透镜中实现的虚拟光圈(VA)位于使总象差最小化的最佳位置。
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公开(公告)号：CN101114565A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200710110263.8
申请日：2007-06-08
Applicant: 日新意旺机械股份有限公司
Inventor： 土肥正二郎
IPC: H01J49/02 , H01J37/02 , H01J37/244
CPC classification number: H01J49/30 , H01J37/1475 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/153 , H01J2237/31701
Abstract: 在分析电磁体40中，沿离子束2的传播方向，将其中弯曲平面图形状的磁极的每一个划分成三个部分磁极81至83。朝弯曲部分的外部，加宽如从离子束2的入口计数的第一和第三部分磁极对81、83的间隙，以及朝弯曲部分的内部，加宽第二部分磁极对82的间隙。
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公开(公告)号：CN103597572B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201280028446.4
申请日：2012-04-27
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： A·万·登·布罗姆 , S·W·H·K·施藤布里克 , M·J-J·威兰 , G·德·博尔 , P·卡佩尔霍夫
IPC: H01J37/317 , H01J37/067 , G03F7/20 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/708 , G03F7/70825 , G03F7/70975 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/024 , H01J2237/03 , H01J2237/0437 , H01J2237/1502 , H01J2237/153
Abstract: 用于处理靶片表面的带电粒子系统。本发明涉及一种利用至少一个带电粒子射束处理靶片表面的带电粒子系统。该系统包括光学柱，该光学柱具有：射束生成器模块，用于产生多个带电粒子射束；射束调制器模块，用于开启和关闭所述多个射束；以及射束投射器模块，用于使射束或者子射束投射到所述靶片表面上。该系统还包括：机架，用于在固定位置支承每个所述模块；以及对准元件，用于使至少一个射束和/或子射束与下游模块元件对准。
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公开(公告)号：CN103703537B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
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