TSV盲孔填充的新方法及系统

    公开(公告)号:CN107675233A

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201710905749.4

    申请日:2017-09-29

    Applicant: 中南大学

    CPC classification number: C25D15/00 C25D7/12

    Abstract: 本发明公开了一种TSV盲孔填充的新方法,包括以下步骤:步骤一、将带有TSV盲孔的硅片放入去离子水中,进行抽真空预处理,排尽TSV盲孔内气体;步骤二、将预处理后的硅片与电镀阴极连为一体;步骤三、向电镀液中加入添加剂、抑制剂和加速剂,充分混合形成悬浮电镀液;步骤四、将悬浮电镀液加入电镀槽内,将电镀电源的电镀阳极和电镀阴极均置入悬浮电镀液中,使硅片在悬浮电镀液中静置,使电镀液在TSV盲孔内达到初步吸附平衡;步骤五、将循环泵的入口和出口接通至悬浮电镀液中,入口连通至电镀阳极处、出口连通至电镀阴极处;步骤六、启动循环泵同时启动电镀电源,开始电镀,循环泵向电镀槽内的悬浮电镀液提供流速。能够有效的提高填充效率、降低成本。

    微铜柱的制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107546139A

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201710735809.2

    申请日:2017-08-24

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微铜柱的制造方法,包括:步骤一、在绝缘衬底上完成多层RDL金属互连结构,在最后一层金属互连结构外对应导电通道位置处设置焊盘;步骤二、制作微阳极,微阳极的直径与微铜柱的直径相匹配;步骤三、制作微阳极夹具盘,将制作好的微阳极安装于微阳极夹具盘上对应焊盘的区域,并将各微阳极连通;步骤四、将装有微阳极的微阳极夹具盘放置在芯片上方,使微阳极与焊盘一一对应,将微阳极夹具盘连接至电镀电源的正极,芯片连接至电镀电源的负极;步骤五、采用局部电化学沉积方法,在焊盘上电镀沉积出需要的微铜柱。对设备的要求较低,制备过程简单,降低了制作成本;并且可通过多焊盘和多微阳极同时制备多个微铜柱,生产效率较高。

    一种色谱柱或保护柱超声清洗装置

    公开(公告)号:CN104275329B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201410573764.X

    申请日:2014-10-24

    Abstract: 本发明属于液相色谱分析仪器领域,具体涉及一种色谱柱或保护柱超声清洗装置,它包括供能装置(1)、散热装置(4)、底部设有下端液体流路管(8)的套管(5)和顶部设有上端液体流路管(9)的套管盖(7);所述供能装置(1)的下端为超声换能器(2),供能装置(1)的上端为聚能器(3),且聚能器(3)由下至上向纵向中心线收拢;聚能器(3)顶部与套管(5)固定连接;套管(5)内具空腔,该空腔的尺寸与色谱柱或保护柱的尺寸相匹配;套管盖(7)与套管(5)密封连接;所述散热装置(4)设置在聚能器(3)的外壁上。该装置利用流过色谱柱的清洗液进行清洗,不需要拆洗,使用方便,防止色谱柱堵塞。

    氧化铝双流法溶出过程出口溶液苛性比值的在线预测方法

    公开(公告)号:CN104331622A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410620090.4

    申请日:2014-11-06

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开一种氧化铝双流法溶出过程出口溶液苛性比值的在线预测方法,包括如下步骤:步骤一,基于物料平衡求得机理模型预测值;步骤二,再根据当前工况中温度和压差的变化量,基于模糊专家规则对机理模型预测值进行修正,求得修正后的机理模型预测值;步骤三,根据苛性比值实测值与修正后的机理模型预测值所构成的历史误差时间序列建立基于最小二乘支持向量机的误差时间序列预测模型,利用预测模型得到下一时刻的误差预测值,用误差预测值对修正后的机理模型预测值进行补偿得到溶出液苛性比值的预测值。本发明预测出口溶出液的苛性比值相对误差均在±2%内,最大绝对误差小于0.025。

    一种色谱柱或保护柱超声清洗装置

    公开(公告)号:CN104275329A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201410573764.X

    申请日:2014-10-24

    CPC classification number: B08B3/12 B08B9/0804 B08B2209/08

    Abstract: 本发明属于液相色谱分析仪器领域,具体涉及一种色谱柱或保护柱超声清洗装置,它包括供能装置(1)、散热装置(4)、底部设有下端液体流路管(8)的套管(5)和顶部设有上端液体流路管(9)的套管盖(7);所述供能装置(1)的下端为超声换能器(2),供能装置(1)的上端为聚能器(3),且聚能器(3)由下至上向纵向中心线收拢;聚能器(3)顶部与套管(5)固定连接;套管(5)内具空腔,该空腔的尺寸与色谱柱或保护柱的尺寸相匹配;套管盖(7)与套管(5)密封连接;所述散热装置(4)设置在聚能器(3)的外壁上。该装置利用流过色谱柱的清洗液进行清洗,不需要拆洗,使用方便,防止色谱柱堵塞。

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