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公开(公告)号：CN114505969A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210261719.5
申请日：2022-03-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种晶棒自动化运输装置及其方法，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
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公开(公告)号：CN107511938B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201710873808.4
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了精密超声打孔机及其工具头角度调整方法。精密超声打孔机包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头、进给系统、角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。它具有如下优点：能对工具头进行精准调节，使工具头轴线与导轨平行，有效地保证了打孔精度和起到保护工具头的作用。
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公开(公告)号：CN114193318B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202111532741.0
申请日：2021-12-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
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公开(公告)号：CN114695204A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210256476.6
申请日：2022-03-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B24B29/02 , B24B41/00
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107775722A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201711083954.3
申请日：2017-11-07
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: B26F1/26 , B26D7/26 , B26D7/2628
Abstract: 本发明公开了一种硬脆性材料大深径比、微小异形孔的精密超声打孔机，包括机床主体和控制系统，所述机床主体包括工作台、立柱、滑轨、滑块、步进电机和角度调节装置，工作台上安装有电动位移台，步进电机连接滑块，该角度调节装置装接在滑块上，其上装接有超声振动装置，超声振动装置上安装有压力传感器，控制系统连接电动位移台、压力传感器、步进电机、角度调节装置和超声振动装置。控制系统通过控制滑块和角度调节装置调节工具头轴心位置，保证了工具头轴线和运动方向之间的平行度，避免工具头角度与打孔方向不平行导致工具头发生弯曲或折断。控制系统通过压力传感器来实现加工压力调节，保护工具头和工件的同时也有益于控制孔壁粗糙度。
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公开(公告)号：CN106493648A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611144458.X
申请日：2016-12-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种径向超声振动辅助杯形砂轮及其使用方法，该杯形砂轮包括环形的基盘，该基盘上周向均匀间隔地固接有若干超声振动单元；该超声振动单元包括内外布置且依次相连的超声换能器、超声变幅杆和振动磨块；该超声变幅杆沿基盘径向布置；该振动磨块呈圆弧形块状，若干超声振动单元的若干振动磨块相互拼接形成砂轮磨削部分；通过超声换能器推动超声变幅杆产生沿其轴向的超声振动并带动振动磨块相对基盘产生沿基盘径向的超声振动。本发明将超声振动辅助磨削加工技术与杯形砂轮端面磨削相结合，用于对硬脆材料超声振动辅助端面磨削加工，对减小零件加工损伤、提高加工效率和表面加工质量具有重要意义。
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公开(公告)号：CN119673778A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202510198737.7
申请日：2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/48 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/473 , B24D18/00 , B24D3/10 , B24D3/34
Abstract: 本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法，涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具，以多线切割机床为加工设备，通过使线网快速形成线弓的方法，让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体，金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物，再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除，进而露出新鲜的金刚石表面，如此循环上述过程，实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。
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公开(公告)号：CN117600922A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311759620.9
申请日：2023-12-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种双面磨抛工艺的多目标优化方法、装置、设备和介质，涉及双面磨抛参数优化技术领域。其包含：S1、获取双面磨抛设备的设备参数。S2、根据设备参数和基于双面磨抛设备运动学模型构建的初始优化模型，构建多目标优化模型。其中，多目标优化模型以磨盘转速np、中心轮转速ns，以及工件偏心距d为优化变量。多目标优化模型以表面质量均匀性、磨盘磨损均匀性、材料去除率、加工过程稳定性和双面材料去除一致性为优化目标。S3、通过粒子群优化算法，以磨盘转速np、中心轮转速ns和工件偏心距d为迭代粒子的坐标进行求解，获取优化变量的多组解。S4、根据优化变量的多组解，筛选出各个优化目标的优先解，以及符合所有优化目标的全局最优解。
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公开(公告)号：CN117359490A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311553551.6
申请日：2023-11-21
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种双面行星研磨或磨削加工的数字孪生系统及其构建方法，涉及机床加工技术领域。包括：机床，适于进行研磨或磨削加工；数据采集与传输模块，用于获取所述机床的运动数据和状态数据并进行传输，且所述的状态数据用于记载机床当前的工作状态，所述的运动数据用于记载机床动态运动实时数据；数字孪生监控界面模块，其配置为将机床状态结果和运动在数字孪生界面模块进行显示，进而实现二维以及三维联合地显示机床的状态和运动情况。通过本发明方案，可以提高危险情况识别准确率，通过客户端就能够实时查看机床的加工进程和参数变化。
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