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公开(公告)号：CN111168485B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202010086423.5
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111113166B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202010086513.4
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。
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公开(公告)号：CN107378812B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201710756297.8
申请日：2017-08-29
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明公开了一种凝胶研磨工具制备装置。包括溶胶分散单元和凝胶单元；其中溶胶分散单元包括溶胶池，溶胶池内设搅拌器；凝胶单元包括料缸，料缸内设有活塞，料缸进料口通过进料口单向阀连接溶胶池出料口；料缸出料口内设出料口单向阀；料缸出料口连接一出料嘴，料缸出料口下方设反应池，反应池内有反应液。本发明结构简单，易于控制且能够满足连续作业的需要，实现了凝胶研磨工具的自动化批量生产，大大提高了生产率和研磨工具制备稳定性，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN114193318B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202111532741.0
申请日：2021-12-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114695204A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210256476.6
申请日：2022-03-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B24B29/02 , B24B41/00
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
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公开(公告)号：CN106064353B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610608889.0
申请日：2016-07-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种有序排布的磨盘及其制备方法。该磨盘包括一基盘1和若干个磨片2，该若干个磨片2固接在基盘1；该磨片2包括若干根凝胶磨棒3、结合剂5和若干根不包含磨粒的凝胶棒4，该凝胶磨棒3内包含有磨粒7；若干根凝胶磨棒3和若干根凝胶棒4通过结合剂5固定成一体，该凝胶磨棒3用于实现磨削加工，该凝胶棒4经水解后能形成容屑腔。它具有如下优点：凝胶棒内没有包含有磨粒，经水解后能形成容屑腔，以形成有凹坑，使得磨盘表面形成大量的容屑空间，从而解决现有微细磨具容屑空间不足，容易堵塞的难题。
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公开(公告)号：CN108982275A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811156694.2
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种超声辅助高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮安装在高速精密磨床的主轴上，通过磨床主轴带动多层结构砂轮高速转动；多层结构砂轮沿轴向分布不同粒度的磨削层，不同磨削层间设置凹槽，凹槽中可安装金刚石压头，对刀后通过多层结构砂轮的高速旋转在试样表面产生一定切深的划痕。超声发生器通过导线与换能器、变幅杆相连，使变幅杆产生一定振幅的超声频率振动，换能器安装在测力仪上，测力仪安装在在高速精密磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于变幅杆上，在变幅杆的带动下产生一定振幅的超声频率振动，并通过高速精密磨床可进行轴向进给、径向进给。本发明实现可超声辅助单颗磨粒的高速划擦，装置简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN108214115A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810023769.3
申请日：2018-01-10
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助ELID端面磨削机床，包括床身、金属结合剂超声磨盘、研磨液喷嘴、载物盘和ELID电解电极。该ELID电解电极包括电解电极电源、电机、导轨和电极板，该电极板布置在相邻的两载物盘之间，该电极板安装在由电机控制的导轨上，通过电机控制电极板的底部与该金属结合剂超声磨盘之间的距离，该电解电极电源的正极与金属结合剂超声磨盘相连并作为阳极，该电解电极电源的负极与电极板相连并作为阴极；通过调节电解电极电源的电压和电流，控制该金属结合剂超声磨盘的电解速度。它具有如下优点：将超声振动辅助磨削技术和ELID辅助磨削技术结合在一起，使金属结合剂超声磨盘始终保持良好状态，能大大提高零件的加工效率和加工精度。
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