陶瓷多层基片的制造方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1300527A

    公开(公告)日:2001-06-20

    申请号:CN00800510.9

    申请日:2000-03-23

    CPC classification number: H05K3/4611 H01L21/4807

    Abstract: 一种陶瓷多层基片的制造方法,可防止剥离和浮起的发生。包括:对具有空孔部12的陶瓷印刷电路基片10层积体和设置在该层积体两面的介装片22、24加压的工序,和烧结该加压生成的加压层积体的工序。所述介装片具有与所述空孔部连通的连通孔26。加压所述层积体时,存在于所述空孔部的空气通过所述连通孔排出到外部。

    布线电路板的制造方法和布线电路板

    公开(公告)号:CN1287771A

    公开(公告)日:2001-03-14

    申请号:CN99801769.8

    申请日:1999-10-07

    CPC classification number: H05K3/02 H01L21/4846

    Abstract: 本发明揭示一种布线电路板及其制造方法。在陶瓷基板上稳定地得到无缺陷的线宽在40μm或以下的细线,因而得到高密度并且高精度的电路板。制造方法包括下述工序:(a)制作陶瓷基板(2),(b)将所述陶瓷基板(2)的表面(2b)抛光至0.5μm或以下的表面粗糙度Ra,(c)在所述陶瓷基板(2a)的表面上形成感光性导体层(3a),和(d)利用光刻,对感光性导体层(3a)进行加工,并形成特定的布线图案(3b)。这里假设粗糙度曲线是y=f(x),粗糙度曲线在其中心线方向上的取样长度是L,取样部分的中心轴是X轴,与X轴垂直的方向是Y轴,则Ra是由式(1/L)∫Lo|f(x)|dx算出的值。

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