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公开(公告)号:CN1969168A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200680000321.5
申请日:2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号:CN1837751A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200610079363.4
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案,以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件,其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上,用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号:CN1178968A
公开(公告)日:1998-04-15
申请号:CN97121393.3
申请日:1997-09-16
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G11B5/31
Abstract: 一种通过使磁阻逐渐接近磁隙而逐渐增大来改善电磁转换效率的薄膜型磁头,包括一对磁头半件,其具有:非磁性基片和在非磁性基片上形成的磁性金属膜以及通过薄膜形成处理在凹入部分形成的线圈,一对磁头半件经相应磁性金属膜之间形成的磁隙相互对着连接,凹入部分在连接至少一个上述的磁性金属膜和其它磁性金属膜而形成的表面上形成。其中,在连接一对非磁性基片的表面侧连接由磁性材料组成的辅助磁心,磁性金属膜与辅助磁心形成连接。
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公开(公告)号:CN101620236B
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN200910151588.X
申请日:2009-07-03
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面,并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明,可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。
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公开(公告)号:CN1837751B
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN200610079363.4
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案,以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件,其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上,用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号:CN101484776A
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200780024822.1
申请日:2007-06-29
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种振动型陀螺仪传感器,包括检测角速度的振动元件(1X,1Y)、电连接至振动元件(1X,1Y)并且支撑振动元件(1X,1Y)的支撑基板(2)、电连接至支撑基板(2)并且包括外部连接端子(3)的中继基板(4)、以及被配置在支撑基板(2)与中继基板(4)之间并且抑制了应变和振动在支撑基板(2)与中继基板(4)之间的传递的缓冲部件(5)。该振动型陀螺仪传感器能够稳定振动特性,而不受应变和振动的影响。
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公开(公告)号:CN1848473A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610082066.5
申请日:2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/22
Abstract: 需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式,可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。
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公开(公告)号:CN1279463A
公开(公告)日:2001-01-10
申请号:CN00119337.6
申请日:2000-06-28
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H01F10/131 , G11B5/1274 , G11B5/1878
Abstract: 一种在高饱和磁通密度、软磁特性和耐蚀性方面优良的软磁薄膜。该软磁薄膜用一种由组分分子式FeaSibTacRudGaeNf(其中a、b、c、d、e及f的每一个是一个指示相应元素的at%的值)表示的材料制成,其中组分范围如下:62at% 13 at%,其中at%表示原子百分数。
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公开(公告)号:CN1166020A
公开(公告)日:1997-11-26
申请号:CN97109730.5
申请日:1997-04-25
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G11B5/187
CPC classification number: G11B5/1878 , G11B5/1276 , G11B5/147 , G11B5/3113
Abstract: 本发明为一种具有金属磁膜的磁头,该磁膜是首先利用层叠Fe-M-N磁性薄膜层和贵金属层如Pt层以形成多层膜然后借助绝缘膜层叠上述多层膜形成的,以便改进重放输出使得该磁头适于利用具有大矫磁力的磁记录介质如金属带进行记录和重放。在一对半磁心的磁隙成型面上形成一个多层结构,该结构是利用首先层叠磁性薄膜层和由Pt,Au,Ag和Pd中至少一种物质制成的层形成多层膜,然后借助至少两个SiO2,ZrO2,Al2O3和Cr中任一物质构成的层层叠上述多层膜形成的。
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