蒸镀掩模
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110551973B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN201910940065.7

    申请日:2016-02-05

    Inventor: 池永知加雄

    Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模。该蒸镀掩模是形成了从第1面延伸到第2面的2个以上的贯通孔的蒸镀掩模,其中,该蒸镀掩模具备以特定图案形成了上述贯通孔的金属层,在将上述贯通孔中位于上述第1面上的部分称为第1开口部、将上述贯通孔中位于上述第2面上的部分称为第2开口部的情况下,在沿着上述蒸镀掩模的法线方向观察上述蒸镀掩模时,上述贯通孔按照上述第2开口部的轮廓包围上述第1开口部的轮廓的方式来构成,上述金属层具有形成了上述第1开口部的第1金属层、以及层积于上述第1金属层且形成了上述第2开口部的第2金属层,上述第1金属层的端部的厚度小于上述第1金属层中与上述第2金属层连接的部分的厚度。

    金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

    公开(公告)号:CN107604304B

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN201710624909.8

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法,该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下,各样品中的热复原率的平均值为‑10ppm以上且+10ppm以下,且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。

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