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公开(公告)号:CN102959851A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201280001754.8
申请日:2012-05-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H02N1/08
CPC classification number: H02N1/08
Abstract: 本发明的振动发电器由第1基板(102)、被配置为与其对置的第2基板(103)、形成于第1基板上的第1电极(104L、104R)、第1电极(106)、形成于第2基板上的第2电极(105L、105R)、第2电极(107)构成,在第1电极以及第2电极保持同极性的电荷,按照在第1基板(102)处于静止过程中或振动过程中时对第1电极(104L(104R))的重心和第2电极(105L(105R))的重心进行连接线段与从第2电极(105L(105R))的重心起平行于第2基板的主表面而延伸且向着静止状态的第1电极(104L(104R))延伸的射线所形成的角度不超过55度的方式,第1基板振动。
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公开(公告)号:CN101340180B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200810144271.9
申请日:2004-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/171 , H03H9/568
Abstract: 本发明旨在提供一种薄膜体声波谐振器(100),包括:压电薄膜(103)以及一对将压电薄膜插入在其中的电极(101,102);其特征在于:所述压电薄膜包括从由一对电极和压电薄膜所构成的谐振器部分的至少一部分向外延伸的外围区域(104),外围区域,在其至少部分区域中,包括用于阻尼声波的声阻尼区域(105),所述声阻尼区域包括在除声阻尼区域以外的压电薄膜的任何区域中都不存在的同类或不同类原子(29),并且,在压电薄膜中,声阻尼区域采用与不是声阻尼区域的任何区域相同的材料构成。
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公开(公告)号:CN102449906A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201180002256.0
申请日:2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有:在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5);以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔,其中,在垂直于基板表面的方向上,在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9),将另一个空腔设为第二空腔时,在平行于基板表面的方向上,将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧,从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力,可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号:CN100590969C
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200610137416.3
申请日:2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 根据本发明的声共振器包括衬底105、置于衬底105上的支承部分104、置于支承部分104上的下电极103、置于下电极103上的压电体101、以及置于压电体101上的上电极102。下电极103、压电体101和上电极102构成一个振动部分107。用于支承振动部分107的支承部分104成形为其垂直横截面的至少一部分具有曲率。
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公开(公告)号:CN101340181A
公开(公告)日:2009-01-07
申请号:CN200810144272.3
申请日:2004-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/171 , H03H9/568
Abstract: 一种薄膜体声波谐振器包括一层压电薄膜和一对将压电薄膜插入在其中的电极。压电薄膜包括从由一对电极和压电薄膜所构成的谐振器部分的至少部分外围区域向外延伸的外围区域。外围区域包括,在其至少部分区域中,包括用于阻尼声波的声阻尼区域。
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公开(公告)号:CN101213744A
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200680023789.6
申请日:2006-06-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 在基板部(40)与第2支承部(20)之间设有第1支承部(30)。该第1支承部(30)通过由具有比压电体(11)及基板部(40)高的声阻抗的材料形成的膜、或者由Q值比压电体(11)及基板部(40)小的材料形成的膜等构成。通过该第1支承部(30)的插入,从第2支承部(20)朝向基板部(40)的振动的大半被反射(箭头(a)),并且防止从第2支承部(20)向基板部(40)传递的振动被基板部(40)的底面反射而向振动部(10)的方向返回(箭头(b))。
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公开(公告)号:CN1953323A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610137416.3
申请日:2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 根据本发明的声共振器包括衬底105、置于衬底105上的支承部分104、置于支承部分104上的下电极103、置于下电极103上的压电体101、以及置于压电体101上的上电极102。下电极103、压电体101和上电极102构成一个振动部分107。用于支承振动部分107的支承部分104成形为其垂直横截面的至少一部分具有曲率。
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公开(公告)号:CN1221076C
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN02803064.8
申请日:2002-02-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0542 , H01L21/568 , H01L21/6835 , H01L24/97 , H01L2224/16 , H01L2224/16245 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/97 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01021 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01057 , H01L2924/01058 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2924/16195 , H01L2924/16235 , H01L2924/181 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01L2924/3025 , H01L2924/351 , H03H3/08 , H03H9/059 , H03H9/1085 , H03H9/1092 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49144 , Y10T29/49146 , Y10T29/49158 , Y10T29/49171 , H01L2224/81 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 一种弹性表面波装置,其实现所谓装置的小面积化、降低高度的小型化,进一步谋求低成本化和提高可靠性。该弹性表面波装置由压电基板(1)、用于激励压电基板(1)的一主面上设置的弹性表面波由梳型电极构成的功能范围(2)、覆盖功能范围(2)设置的空间形成部(3)、压电基板(1)的一主面上设置的多个突起电极(4)、和压电基板(1)的一主面相对设置的端子电极(5)构成,其具有突起电极(4)和端子电极(5)直接电连接,压电基板(1)和端子电极(5)之间填充树脂(6)的结构。通过应用在手机、无键输入等的通讯设备上搭载这样的弹性表面波装置的滤波器、共振器可实现设备的小型化和高可靠性。
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公开(公告)号:CN1619958A
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN200410095671.7
申请日:2004-11-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/605 , H03H9/6433
Abstract: 串联压电谐振器(11)以串联方式连接在输入端(15a)和输出端(15b)之间。并联压电谐振器(12a)的第一电极连接至在输入端(15a)和串联压电谐振器(11)之间的连接点,以及并联压电谐振器(12a)的第二电极连接至电感器(13a)的第一端。并联压电谐振器(12b)的第一电极连接至在串联压电谐振器(11)和输出端(15b)之间的连接点,并联压电谐振器(12b)的第二电极连接至电感器(13b)的第一端。电感器(13a,13b)的第二端都接地。附加压电谐振器(14)连接在并联压电谐振器(12a)的第二电极和并联压电谐振器(12b)的第二电极之间。
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公开(公告)号:CN1529410A
公开(公告)日:2004-09-15
申请号:CN03156834.3
申请日:2003-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/6409 , H03H9/02118 , H03H9/0542 , H03H9/0557 , H03H9/542 , H03H9/547 , H03H9/564 , H03H9/6483
Abstract: 已经难于提供具有在期望阻带内的高衰减和在高于和低于该阻带的宽频带上的低损耗的特性的带阻滤波器。一个带阻滤波器包括:多个作为声谐振器的声波谐振器,每一个都具有一个接地端;和一个传输线,连接作为声谐振器多个声波谐振器的每一个的另一末端,其中另一末端的至少某些以预定的间隔与该传输线耦合,并且在全部或某些该预定的间隔中把至少一个电感器提供在传输线上。
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