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公开(公告)号：CN201852852U
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201020617239.0
申请日：2010-11-19
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
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公开(公告)号：CN201787980U
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201020550686.9
申请日：2010-09-30
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种热式质量流量传感器封装件，其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽，所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区，所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器，所述盖帽上设置流体流道，所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。本实用新型涉及的热式质量流量传感器封装件，有效提高流量传感器芯片性能的一致性、稳定性及可靠性，并且有效减低封装成本，同时有效提高产品的良率及生产效率。
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公开(公告)号：CN216595182U
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202121928408.7
申请日：2021-08-17
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种Z轴加速度计，其包括：衬底；质量块，其悬置于所述衬底上方，且所述质量块被分界线划分为第一区域和第二区域，其中，所述质量块的第一区域和第二区域关于所述分界线对称分布，所述质量块的第一区域和第二区域的厚度不一致，以使所述质量块的第一区域和第二区域的质量不同，从而使所述质量块以所述分界线为轴发生类似跷跷板式运动。与现有技术相比，本实用新型不仅有效的节省了芯片面积，降低了成本，而且还大大提升了抗外界干扰能力，进而提高Z轴检测精度。
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公开(公告)号：CN216303266U
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202122446019.7
申请日：2021-10-09
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种带腔体器件的气密封装结构，其包括：半导体部件；盖板；键合层，其位于半导体部件和盖板之间；第一腔体，其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封；第二腔体，其位于半导体部件和盖板之间且被部分密封；若干第一通孔，其贯穿盖板至第一腔体；若干第二通孔，其贯穿盖板至第二腔体；第一密封层，其设置于盖板远离所述半导体部件的一侧表面，以密封所述若干第一通孔；第二密封层，其设置于所述第一密封层远离所述盖板的一侧表面，以密封所述若干第二通孔。与现有技术相比，本实用新型可以为带腔体器件提供更高的真空度，且不同芯片气压的均匀度好，进而提高带腔体器件的性能，改善良率。
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公开(公告)号：CN211206555U
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201921860039.5
申请日：2019-10-31
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本实用新型公开了一种三轴加速度计，其包括：基板；固定设置于所述基板上的锚块；固定设置于基板上的第一X轴电极、第二X轴电极、第一Y轴电极、第二Y轴电极、第一Z轴电极和第二Z轴电极；悬置于所述基板上方的框架，其包括相对设置的第一梁柱和第二梁柱，第一梁柱形成第三Z轴电极，第二梁柱形成第四Z轴电极；悬置于所述基板上方的质量块，所述质量块上形成有第三X轴电极和第三Y轴电极；和弹性连接组件，被配置的弹性连接于所述锚块、所述连接梁以及所述质量块上。本实用新型的三轴加速度计只需要一个质量块，就可以实现三个轴的高精度加速度检测，尤其是可以对Z轴提供全差分检测信号，大大的提高了检测精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208125909U
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201820705620.9
申请日：2018-05-14
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01R33/06
Abstract: 本实用新型提供一种磁场传感器，其包括：至少一个磁场传感单元，其具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏感轴，所述磁场传感单元包括沿其磁易轴方向延伸的磁电阻条；至少一个设置-重置导线组，所述设置-重置导线组位于对应的磁电阻条的上方或下方，所述设置-重置导线组包括沿对应的所述磁电阻条的纵长延伸方向平行排布的多根导线，且靠近对应的所述磁电阻条边缘区域的所述导线的宽度小于靠近对应的磁电阻条的中间区域的所述导线的宽度。与现有技术相比，本实用新型的磁场传感器，其设置-重置线圈在通入电流后，可以在磁电阻条边缘区域产生强度很大的磁场，在磁电阻条中间区域产生强度适中的磁场，从而有效地设置-重置磁电阻条的磁矩。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN219259568U
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202122924452.7
申请日：2021-11-26
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种集成加速度传感器和磁传感器的封装结构，所述封装结构包括：第一半导体圆片，其正面设置有加速度传感器的驱动电路、第一金属焊盘和第一空腔；第二半导体圆片，其包括位于芯片边缘的固定结构以及位于芯片中间的可移动结构，第二半导体圆片与第一半导体圆片的正面相键合，且第一半导体圆片的正面与第二半导体圆片的可移动结构的相对位置处设置有第一空腔；第三半导体圆片，其与第二半导体圆片的背面相键合，且第三半导体圆片的正面与第二半导体圆片的可移动结构的相对位置处设置有第二空腔。与现有技术相比，本实用新型通过将加速度传感器和磁传感器集成到一个封装体内部，从而使产品的集成度更高，加工成本更低。
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公开(公告)号：CN217980196U
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202221349526.7
申请日：2022-05-31
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种音圈马达行程测量装置，所述音圈马达行程测量装置包括：基体；固定设置于所述基体上的准直仪，其包括有准直激光头；固定设置于所述基体上的测距仪，其包括测距激光头，所述准直激光头与所述测距激光头位于所述基体的同一侧，所述测距激光头发出的测距激光与所述准直激光头发出的准直激光相互平行。本实用新型中的音圈马达行程测量装置成本低，操作简单。
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公开(公告)号：CN216303265U
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202122436419.X
申请日：2021-10-09
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种带腔体器件的气密封装结构，其包括：半导体部件；盖板；键合层，其位于所述半导体部件和盖板之间，以将所述半导体部件和盖板键合在一起；第一腔体，其位于所述半导体部件和盖板之间，且被所述键合层围绕并被完全密封；第二腔体，其位于所述半导体部件和盖板之间，且所述第二腔体位于所述第一腔体的一侧，所述第二腔体被所述键合层围绕并被部分密封；若干通孔，其贯穿所述盖板至第二腔体；密封薄膜，其贴附在所述盖板远离所述半导体部件的一侧表面上，以密封所述若干通孔，使所述第二腔体完全密封。与现有技术相比，本实用新型不仅可以实现双腔体不同气压的封装，而且还可以大大降低封装成本。
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