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公开(公告)号：CN108369887A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201780004430.2
申请日：2017-01-19
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/04 , H01J37/063 , H01J37/09 , H01J37/08 , H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/045 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/3171 , H01J2237/083
Abstract: 一种用于离子注入系统的光学面板，该光学面板包括一对孔径组件。每对孔径组件各自包括第一孔径构件、第二孔径构件以及孔径固件，其中该孔径固件将第一孔径构件固定至第二孔径构件。孔径尖端可以同样固定至第二孔径构件。第一孔径构件、第二孔径构件、孔径尖端和孔径固件中的一个或多个由耐熔金属、钨、钨镧合金、钨钇合金和/或石墨和碳化硅中的一种或多种制成。孔径组件可以限定离子注入系统中的引出电极组件、接地电极组件或其他电极组件。
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公开(公告)号：CN104952681B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201510104494.2
申请日：2015-03-10
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 八木田贵典
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/05 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/057
Abstract: 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的最终能量过滤器(400)具备入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)。最终能量过滤器(400)具备FEF电源部(414)，该FEF电源部构成为分别单独向入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)施加电压。FEF电源部(414)分别向上游辅助电极部(402)、偏转电极部(306)及下游辅助电极部(404)施加电压，以使上游辅助电极部(402)与偏转电极部(306)之间的第1区域中的离子束的能量范围和偏转电极部(306)与下游辅助电极部(404)之间的第2区域中的离子束的能量范围成为相同程度。
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公开(公告)号：CN103367088B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201310106485.8
申请日：2013-03-29
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/147 , H01J37/304 , H01J2237/24521 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542 , H01L21/265 , H01L21/67213
Abstract: 本发明提供了一种离子注入装置及其控制方法。通过多个固定式射束测量器以及可移动式或固定式射束测量装置测量离子束的纵向剖面、横向剖面及积分电流值。控制装置在离子注入前的射束电流调节阶段，根据所述固定式射束测量器以及所述可移动式或固定式射束测量装置的测量值，同时执行射束电流到所述射束电流的预设值的调节、确保横向离子束密度的均匀性所必需的横向射束尺寸的调节以及确保纵向离子注入分布的均匀性所必需的纵向射束尺寸的调节中的至少一者。
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公开(公告)号：CN105405734B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201510554068.9
申请日：2015-09-02
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/057 , H01J2237/15 , H01J2237/2007 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：‑样本夹持器，用于夹持样本；‑源，用于产生带电粒子的射束；‑照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；‑成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：‑使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；‑在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；‑使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；‑使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。
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公开(公告)号：CN107359102A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710159377.5
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/30 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/241 , H01J37/3177 , H01J2237/141 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/20285 , H01J37/3007 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106804114A
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201580034881.1
申请日：2015-06-25
Applicant: 加坦公司
Inventor： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 , 科林·特雷弗 , 雷伊·达德利·特韦斯顿 , 梅勒妮·巴费尔斯
IPC: H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/053 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/12 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。
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公开(公告)号：CN104345331B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201310313572.0
申请日：2013-07-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01T1/32
CPC classification number: H01J37/29 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/24557 , H01J2237/2544
Abstract: 本发明提供一种图像型电子自旋分析器。所述图像型电子自旋分析器至少包括：散射靶、二维图像型电子探测器、以及电子弯转单元；其中，电子弯转单元用于使入射电子聚焦后弯转第一角度后、以最优入射角聚焦入射至散射靶以及使散射靶散射出的出射电子聚焦后弯转第二角度后、以最优出射角聚焦出射至二维图像型电子探测器，且入射电子的运动轨道与出射电子的运动轨道分离，第一角度及第二角度中至少一者不为00；从而可以分别实现电子自旋分析器初始平面处电子图像到靶平面的第一次二维成像及从靶平面到二维图像型电子探测器平面的第二次二维成像，进而实现电子自旋的多通道测量；而且电子弯转单元的引进可以增加自旋分析器各个组件的几何配置的自由度。
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公开(公告)号：CN103180030B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201180051189.1
申请日：2011-08-23
Applicant: 艾克索乔纳斯公司
Inventor： 肖恩·R·柯克帕特里克 , 艾伦·R·柯克帕特里克
IPC: B01D59/00
CPC classification number: G03F1/80 , B24B37/04 , G03F1/82 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/317 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/0812 , H01J2237/15 , H01L21/02115 , H01L21/02274 , H01L21/26506 , H01L21/26513 , H01L21/26566 , H01L21/31105 , H01L21/31111 , H01L29/36 , H05H3/02 , Y10T428/24355 , Y10T428/24479 , Y10T428/30
Abstract: 提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。
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公开(公告)号：CN105097406A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510320622.7
申请日：2015-06-11
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
IPC: H01J37/32 , H01J37/147
CPC classification number: H01L27/127 , H01J37/32192 , H01J37/32669 , H01J37/32697 , H01J37/32715 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L27/1222 , H01L29/78678 , H01L29/78696 , H01J37/32 , H01J37/147
Abstract: 本发明公开了一种平滑装置、平滑方法、薄膜晶体管、显示基板及显示装置，该平滑装置包括：腔体、等离子体产生部件、磁场产生部件、电场产生部件以及位于腔体内的载物台；等离子体产生部件产生的等离子体在磁场产生部件产生的磁场的作用下受到平行于待平滑物的表面的洛伦兹力，在电场产生部件产生的电场的作用下受到垂直于待平滑物的表面且指向待平滑物方向的电场力；这样，等离子体在洛伦兹力和电场力的共同作用下向靠近待平滑物的方向运动，并在等离子体到达待平滑物的表面时，可以使等离子体选择性地与待平滑物上凸起部位的原子发生反应，从而可以在不损坏待平滑物的整体表面的前提下，降低待平滑物的表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN103377865B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210118487.4
申请日：2012-04-20
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1472 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152
Abstract: 本发明公开了一种宽带离子束传输方法，其采用两个独立的磁场：分析磁场和校正磁场，以及分析光栏对宽带离子束进行传输；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿逆时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿顺时针方向偏转；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿顺时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿逆时针方向偏转；本发明还公开了一种离子注入机。由于分析磁场和校正磁场使离子束在水平方向沿不同方向偏转，使得宽带离子束中所需的离子从校正磁场的出射面射出时具有与入射时相同的分布。
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