半导体器件的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101351875A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200680049633.5

    申请日:2006-12-28

    CPC classification number: H01L21/565 H01L23/49541 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 一种半导体器件的制造方法,该方法将引线框架安装于在型腔部(12a)未形成流入口和通气孔部的上部金属模和在型腔部(15a)的1处角部形成着流入口(15f)、但未形成通气孔部的下部金属模之间,在以中压的夹紧压力将上部金属模和下部金属模夹紧并对由型腔部(12a、15a)形成的模内进行减压之后,使模压树脂流入其模内。在暂且一边以低压的夹紧压力将上部金属模和下部金属模夹紧并使模压树脂流入由型腔部(12a、15a)形成的模内,一边排出残留空气之后,以高压的夹紧压力将上部金属模和下部金属模夹紧并使充填在由型腔部(12a、15a)形成的模内的模压树脂成型。

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