试验装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113748350B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202080031184.1

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 试验装置(100)对形成有包含磁阻存储器或磁传感器在内的被试验器件(12)的被试验晶圆(10)进行试验。在台(130)上,在试验工序中载置被试验晶圆(10)。磁场施加装置(140)在试验工序中向被试验晶圆(10)施加磁场(BEX)。试验用探针卡(160)在试验工序中被使用。诊断用晶圆(170)形成有多个磁检测单元(172),在试验装置(100)的诊断工序中,取代被试验晶圆(10)而载置于台(130),通过各磁检测单元(172)能够测定磁场施加装置(140)产生的磁场(BEX)。诊断用探针卡(180)在诊断工序中取代试验用探针卡(160)来使用。

    电子部件处理装置、电子部件测试装置及插座

    公开(公告)号:CN113030589B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202011306079.2

    申请日:2020-11-19

    Abstract: 本发明提供一种能够高精度地实施具有天线的DUT的OTA测试的电子部件处理装置、电子部件测试装置及插座。电子部件处理装置具备:恒温槽;使DUT移动并将其按压于插座的处理器;与恒温槽相邻配置的电波暗室;配置于电波暗室的内部的测试天线;和能够使从DUT的设备天线或测试天线辐射的电波透过的窗构件,恒温槽具备形成于该恒温槽的壁面的开口,电波暗室具备配置于该电波暗室的内壁的电波吸收件、和朝向测试天线的电波的收发方向开口的开口,恒温槽和电波暗室以开口与开口对置的方式连接,窗构件封闭开口。

    电子部件按压装置以及电子部件试验装置

    公开(公告)号:CN114167149B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202110389500.9

    申请日:2021-04-12

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够实现在器件的上表面具有天线的DUT的试验的低成本化的电子部件按压装置。为此,电子部件按压装置(6)用于具有器件天线(12)的DUT(10)的试验,能够与具有接触臂(21)的电子部件处理装置(2)连接,并且能够连接装配有插座(5)的测试头(32),其具备:保持板(61),其载置由接触臂(21)输送的DUT(10);输送单元(62),其使DUT(10)在保持板(61)与插座(5)之间移动;顶推件(631),其能够对载置于插座(5)的DUT(10)进行按压;以及天线单元(64),其具有与载置于插座(5)的DUT(10)的器件天线(12)对置的测定天线(641)。

    孔隙设备和微粒测定系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117907164A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311170999.X

    申请日:2023-09-12

    Abstract: 本发明提供能够进行准确的信息管理的孔隙设备。孔隙设备(100A)与计测装置(200A)一起使用。孔隙设备(100A)具有孔隙芯片(102)、以及由孔隙芯片(102)划分的腔室即芯片盒(130)。测定用端子组(110)是为了从计测装置(200A)向腔室施加电信号并将腔室中产生的电信号输出到计测装置(200A)而设置的。接口单元(150)与非易失性存储器(140)连接,是为了从外部访问非易失性存储器(140)而设置的。

    加热器驱动控制装置、电子部件处理装置、电子部件试验装置以及加热器驱动控制方法

    公开(公告)号:CN117177389A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202310617901.4

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 本发明提供一种能够使电源系统最佳化,并且能够实现有效利用电气系统的加热器驱动控制装置、电子部件处理装置、电子部件试验装置以及加热器驱动控制方法。加热器驱动控制装置(30)用于具备在内部设置有第一~第三加热器(22a~26c)的测试腔室(21)、吸热腔室(23)、以及除热腔室(25)的电子部件试验装置(1)。加热器驱动控制装置具备:控制装置(32),其对从电源(40)向各个加热器输入的电流进行控制;以及断路器(31),其配置于电源与多个加热器之间。控制装置根据对多个加热器设定的第一优先级,执行向多个加热器依次供给电流的第一驱动控制,以使向多个加热器供给的电流之和处于断路器的额定电流的范围内。

    电子部件处理装置以及电子部件试验装置

    公开(公告)号:CN116577630A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202211643256.5

    申请日:2022-12-20

    Inventor: 山田祐也

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够实现温度控制中的响应性的提高的电子部件处理装置。为此,对DUT(300)进行处理的电子部件处理装置具备通过将DUT(300)朝向插座(2)按压而将DUT(300)与插座(2)电连接的推杆(6),推杆(6)具备与DUT(300)接触的接触板(62)和保持接触板(62)的保持器(63),在接触板(62)与DUT(300)接触时,接触板(62)从保持器(63)离开,在接触板(62)不与DUT(300)接触时,接触板(62)由保持器(63)保持。

    电源装置、电源单元、试验装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116325464A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202180066119.7

    申请日:2021-10-20

    Abstract: 本发明提供电源装置、电源单元、试验装置。多个通道的电源单元(200)分别具备根据控制信号(Vctrl)在正极输出(OUTP)与负极输出(OUTN)之间产生输出电压(Vi)的输出级(210)、以及生成表示输出电压(Vi)的电压检测信号(Vsi)的电压检测器(220)。作为多个通道之一的主通道的电源单元(200_1)的反馈信号生成部(230)从作为多个通道的剩余通道的从通道的电源单元(200_2~200_N)接收电压检测信号(Vs2~VsN),生成基于全部通道的电压检测信号(Vs1~VsN)的反馈信号(Vfb)。反馈控制器(240)生成控制信号(Vctrl),使得反馈信号(Vfb)接近目标值(Vref)。从通道的输出级(210)基于在主通道中生成的控制信号(Vctrl)进行动作。

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