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公开(公告)号：CN117660906A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311523449.1
申请日：2023-11-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法，所述膜层设计方法，靠近唇沿设置偏厚膜层，靠近支撑柱底端设置偏薄膜层，唇沿、支撑柱底端膜层厚度比例大于3:1，支撑柱膜层设置偏厚膜层。所述膜层镀制装置包括公转平台、半球谐振子自转装置、金属靶，半球谐振子自转装置距离公转平台中心轴线之间的距离为30mm～35mm，金属靶与公转平台轴线之间的角度为θ，金属靶距离公转平台的距离为300mm，距离公转平台轴线的水平距离为110mm～120mm。所述镀制方法分层控制唇沿位置金属膜层的镀制，并控制不同膜层镀制过程中的腔室内温度。本发明显著提升了半球谐振子品质因数水平。
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公开(公告)号：CN117168427A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310935715.5
申请日：2023-07-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5691 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了半球谐振陀螺高真空封装保持装置和方法。所述装置的上层加热装置、上层温度传感器和半球谐振陀螺精密组件位于真空腔室上层，所述上层加热装置用于夹持固定半球谐振陀螺精密组件并加热；下层加热装置、下层温度传感器和半球谐振陀螺外壳位于真空腔室下层，所述下层加热装置用于固定半球谐振陀螺外壳并加热；隔热板可在真空腔室内移动，用来实现真空腔室上层与下层的温度阻隔；升降机构连接上层加热装置，当下层装置加热，吸气剂激活时，上层加热装置上升，当吸气剂激活完毕，升降机构带动上层加热装置下降，半球谐振陀螺精密组件与半球谐振陀螺外壳贴合，进行焊接。本发明实现了半球谐振陀螺小型化的目标。
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公开(公告)号：CN119618258A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411529228.X
申请日：2024-10-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种基于飞秒激光的半球谐振子精密修调装置及方法，包括：真空系统、飞秒激光修调系统、夹具、工件运动系统和质量不平衡测试系统；飞秒激光修调系统包含聚焦模块、激光光路、飞秒激光器、飞秒激光能量连续调控模块和飞秒激光图形化与控制系统；工件运动系统包括工件自转机构和工件平移机构，工件自转机构用于实现夹具及半球谐振子的自转运动；工件平移机构与工件自转机构连接，用于实现半球谐振子和工件自转机构的三方向平移运动；质量不平衡测试系统包含谐振子激励模块和测试模块；谐振子激励模块用于激励半球谐振子；测试模块用于检测已激励的半球谐振子的振动。本发明有效减少了大修调坑对谐振子驻波的稳定性和陀螺精度的影响。
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公开(公告)号：CN119555112A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411652011.8
申请日：2024-11-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种用于半球谐振平板电极的双面图形化方法及平板电极，该方法包括：采用带有栅格的环形夹具夹持住电极本体的侧面，置于镀膜机中，在电极本体正反面镀金属膜，同时通过调整磁控溅射角度以及栅格状夹具使得在电极本体侧面镀上栅格金属条膜；电极本体正反面的金属膜通过侧面的栅格金属条膜连通；在镀膜后的电极表面喷胶；将电极置于光刻机的吸盘上，将吸盘上的T型标记与电极侧面栅格金属条对准，完成第一次对准；将吸盘推入光刻机，将掩膜版上的T型标记与吸盘上的T型标记对准，完成第二次对准；进行显影和腐蚀操作，完成用于半球谐振平板电极的双面图形化。应用本发明的技术方案能够简化原有需要插针帽引线的多孔电极方案。
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公开(公告)号：CN117091549A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311153304.7
申请日：2023-09-07
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01B21/08
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法，所述测试工装内部尺寸与谐振子半球内球面尺寸相同，内表面设有若干列卡槽，且各卡槽间夹角均等，每列卡槽从球体唇缘贯穿至球顶，槽宽和槽高分别与贴片的宽度和厚度相等，每列卡槽设置相同个数的贴片定位槽用于安放贴片，每个卡槽中贴片定位槽以相同方式标号，标号相同的贴片定位槽与球体中心轴间的距离完全相等。本发明有效解决了类似半球谐振子的异形结构内部膜层厚度测量难度大的问题，为膜层均匀性提升提供了基础表征手段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117646164A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311523531.4
申请日：2023-11-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺平板电极金属膜层镀制装置和方法，包括公转平台(2)、自转平台、平板电极夹具(7)、侧壁掩膜遮挡板(3)，所述自转平台安装在公转平台(2)上，公转平台(2)能带动自转平台绕轴线(1)作圆周转动，所述平板电极夹具(7)紧固在自转平台上，用于夹持固定平板电极(5)，所述侧壁掩膜遮挡板(3)位于平板电极夹具(7)侧面，通过定位螺丝与平板电极夹具(7)紧固。所述平板电极夹具(7)、侧壁掩膜遮挡板(3)上部具有n片圆弧形挡片，用于夹持平板电极侧壁，n片挡片沿周向平均分布，分别对应平板电极表面的n个扇区，其中心轴线与自转平台的中心轴线重合。本发明实现了半球谐振陀螺所需的平板电极双面及侧壁金属膜层的镀制，获得高质量的双面平板电极。
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公开(公告)号：CN117600812A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311723877.9
申请日：2023-12-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺批量装配装置及方法，所述装置包括多工位平台(1)，所述多工位平台(1)提供多个半球谐振陀螺装配工位，每个工位由电极夹具(2)、真空吸附装置(3)、位移传感器(4)、升降装置(5)构成，所述电极夹具(2)安装在多工位平台(1)上，用于固定平板电极(7)，所述升降装置(5)末端连接真空吸附装置(3)，带动半球谐振子(6)作升降运动，所述位移传感器(4)位于升降装置(5)下表面，实时控制半球谐振子(6)与平板电极(7)的间隙。本发明可实现半球谐振陀螺的批量装配，缩短烘胶时间或焊接时间，提高装配效率。
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公开(公告)号：CN119932566A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411947134.4
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C23F3/00
Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法，该半球谐振子批量化学抛光装置包括：框架、控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构，控制电机、传动机构和批量旋转夹持机构固定在框架内，批量旋转夹持机构包括旋转支架和若干半球谐振子夹持装置，若干半球谐振子夹持装置沿旋转支架的周向均匀设置，任一半球谐振子夹持装置用于夹持固定一个半球谐振子，控制电机通过传动机构控制旋转支架绕自身轴线旋转，实现半球谐振子的批量均匀化学抛光。本发明能够解决现有技术中半球谐振子抛光质量和抛光效率不能满足要求的技术问题。
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公开(公告)号：CN119525729A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411808934.8
申请日：2024-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种半球谐振陀螺批量化激光焊接封装夹持装置及封装方法，该夹持装置包括陀螺安装机构和陀螺压紧机构，陀螺安装机构可夹持多个陀螺底座，并实现陀螺的自转和公转，陀螺压紧机构用于将陀螺外壳压紧在对应的陀螺底座上，并控制陀螺外壳跟随陀螺底座进行自转和公转。本发明实现了半球谐振陀螺的批量夹持，通过控制陀螺的自转和公转进行激光焊接封装，避免了手动单个焊接封装操作，降低了人工成本，提高了封装效率和质量。
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公开(公告)号：CN117772694A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311714544.X
申请日：2023-12-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置和方法，所述异型装置包括置物架、中心杆、盖子，所述置物架为带有多边形通孔的圆形柱以及周围一圈均匀分布多个树杈构成，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆串联紧固于一起，谐振电极斜挂在所述树杈上。本发明一方面可以批量化清洗电极本体，另一方面可以使清洗效果得到显著地提升。
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