公开(公告)号：KR1020130029503A

公开(公告)日：2013-03-25

申请号：KR1020110092782

申请日：2011-09-15

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  백경현 ,  장경수 ,  최우진 ,  안시현 ,  조재현 ,  유경열

IPC: H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  H01L29/786 ,  G06F3/041

CPC classification number: H01B5/14 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103 ,  H01B13/00 ,  H01L29/786 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: An electrode structure, a manufacturing method thereof, a transistor including the same, a display device, a touch screen panel, and a solar cell are provided to constantly maintain the thickness of a transparent electrode layer by inserting a reinforcement pattern into the transparent electrode layer. CONSTITUTION: A transparent electrode layer(120) includes transparent conductive materials. A reinforcement pattern(130) is arranged in the transparent electrode layer. The reinforcement pattern reinforces the transparent electrode layer. The reinforcement pattern includes one of a lattice type, a linear type, or a dot type. A flexible substrate(110) supports the transparent electrode layer and the reinforcement pattern.

Abstract translation: 目的：提供电极结构，其制造方法，包括该晶体管的晶体管，显示装置，触摸屏面板和太阳能电池，以通过将透明电极层的强化图案插入透明电极层来恒定地保持透明电极层的厚度 电极层。 构成：透明电极层（120）包括透明导电材料。 在透明电极层中设置加强图案（130）。 增强图案加强了透明电极层。 加强图案包括格子型，直线型或点型中的一种。 柔性基板（110）支撑透明电极层和加强图案。

公开(公告)号：KR101181225B1

公开(公告)日：2012-09-10

申请号：KR1020110001400

申请日：2011-01-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  박형식 ,  이영석 ,  김선용 ,  장경수 ,  조재현 ,  김상호 ,  안시현

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 AZO막을 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 태양광이 입사하는 반대 측에 형성된 투명전도막층을 포함하는 태양전지의 제조방법에 있어서, 알루미늄이 첨가된 산화아연 타겟을 이용한 스퍼터링에 의하여 상기 투명전도막층을 형성하는 공정을 포함하며, 상기 스퍼터링이 150℃~200℃의 온도범위에서 진행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 최적화된 조건에서 AZO막을 형성함으로써, 후면전극 또는 후면반사막으로 AZO막을 사용한 태양전지를 제공하는 효과가 있다.
또한, 후면전극 또는 후면반사막으로 AZO막을 사용하여 태양전지의 효율이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR101104090B1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：KR1020080085716

申请日：2008-09-01

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  손혁주 ,  정성욱 ,  김재홍 ,  조재현 ,  장경수 ,  허종규

IPC: H01L21/8247

Abstract: 본 발명은 전하저장 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 기판, 상기 기판 상에 형성된 터널링 절연막, 상기 터널링 절연막 상에 형성되어 제1밴드갭 에너지를 구비하는 전하 저장막, 상기 전하 저장막 상에 상기 전하 저장막의 증착에 이용된 혼합가스와 동일한 혼합가스로 형성되어 제2밴드갭 에너지를 구비하는 블로킹 절연막 및 상기 블로킹 절연막 상에 형성된 컨트롤 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 전하저장 소자를 포함하는 구성을 마련한다.
상기와 같은 전하저장 소자 및 그의 제조방법을 이용하는 것에 의해, 동일한 혼합가스를 이용하여 전하 저장막 및 블로킹 절연막을 형성함으로써 제조공정을 단순화시켜 메모리 소자의 제조단가를 낮출 수 있고, 밴드갭 에너지 차이에 의해 전하를 저장하는 방법과 트랩에 의하여 전하를 저장하는 방법을 모두 사용함으로써 전하저장 특성을 향상시킬 수 있다.
전하저장, 소자, 터널링, 밴드갭, 트랩

公开(公告)号：KR101047326B1

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：KR1020090086598

申请日：2009-09-14

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  정우원 ,  양두환 ,  김선용 ,  이용우 ,  권태영 ,  경도현 ,  장경수

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 플라즈마 건식 식각으로 인해 태양전지에 생긴 표면 손상을 제거하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 태양전지 표면손상 제거방법은, 플라즈마 건식 식각 공정으로 인한 태양전지의 표면손상을 제거하는 방법으로서, 플라즈마 건식 식각 공정을 마친 태양전지 기판의 표면에 산화막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 산화막을 형성하는 방법은 질산용액에 상기 태양전지 기판을 침지하여 이루어지는 것이 바람직하며, 질산용액이 50%농도의 질산용액이고 침지하는 시간이 10~20분일 수 있다.
본 발명에 따르면, 태양전지의 표면에 얇은 두께의 산화막을 형성하는 것만으로도 플라즈마 건식 식각으로 인한 표면 손상을 해소함으로써, 태양전지의 표면을 추가적으로 식각하여 발생하는 여러 가지 문제점들을 미연에 방지할 수 있다.
또한 본 발명은 질산용액에 태양전지 기판을 침지하는 간단한 공정으로 태양전지의 표면 손상을 해소함으로써, 공정효율이 크게 향상되는 효과가 있다.
태양전지, 플라즈마, 건식 식각, 건식에칭, 표면 손상, 표면 손상

公开(公告)号：KR1020070069806A

公开(公告)日：2007-07-03

申请号：KR1020050132293

申请日：2005-12-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이규민 ,  김형준 ,  임병인 ,  이승현 ,  최기현 ,  신호진 ,  장경수 ,  신동렬

IPC: H04B7/26 ,  H04B17/00

Abstract: A hierarchical service discovery system and a method thereof are provided to enable a discovery agent to collect services existing in each domain by mutually interworking with heterogeneous service discovery protocols, so that a user of an agent platform can use the collected services. An LSD(Lightweight Service Discovery)(103) is designed as a lightweight service discovery protocol appropriate for an ad hoc environment having limited resources. The LSD(103) generates a discovery agent on an agent platform suited to the ad hoc environment. The discovery agent receives a service registration message sent from a UPnP(Universal Plug and Play) protocol to store the received message within the agent platform, so that another agent can use the message. A user agent of the agent platform is able to search an ad hoc network, a home network, and even an Internet range through a one-time searching function.

Abstract translation: 提供分级服务发现系统及其方法，以使发现代理能够通过与异构服务发现协议相互交互工作来收集存在于每个域中的服务，使得代理平台的用户可以使用所收集的服务。 LSD（轻量级服务发现）（103）被设计为适合于具有有限资源的自组织环境的轻量级服务发现协议。 LSD（103）在适合于特别环境的代理平台上生成发现代理。 发现代理接收从UPnP（通用即插即用）协议发送的服务注册消息，以将接收到的消息存储在代理平台内，使得另一个代理可以使用该消息。 代理平台的用户代理能够通过一次性搜索功能来搜索自组织网络，家庭网络甚至互联网范围。

公开(公告)号：KR101303594B1

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：KR1020110121890

申请日：2011-11-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  장주연 ,  신종훈 ,  안시현 ,  박형식 ,  박진주 ,  조재현 ,  김영국 ,  장경수

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/075 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 표면 텍스처가 형성된 유리기판의 상면에 박막형 태양전지를 제조함으로써 종래의 박막형 태양전지에 비해 단면적을 증가시키며, 표면 텍스처가 형성된 3차원 형태의 유리기판에 입사된 빛이 표면에서 반사되는 것을 감소시키고 동시에 태양전지 구조 내에서 다중 반사가 일어나게 되어 단락전류 특성을 향상시켜, 초고효율을 나타낼 수 있는 박막형 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR101135422B1

公开(公告)日：2012-04-13

申请号：KR1020080128318

申请日：2008-12-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  최병덕 ,  정성욱 ,  장경수 ,  조재현

IPC: H01L21/8247 ,  H01L21/205

Abstract: PURPOSE: A nano crystal silicon layer structure using plasma deposition technology, a nonvolatile memory device including the same, and forming methods thereof are provided to reduce manufacturing processes of the nonvolatile memory device by directly depositing the nano crystal silicon layer on the glass substrate. CONSTITUTION: A gate electrode(55) is formed on a substrate(51). A multilayer insulation layer(63) is formed on a gate electrode. A first nano crystal silicon layer(65) is formed on the multilayer insulation layer using plasma deposition technology using gas containing hydrogen and silicon on the multilayer insulation layer. A metal electrode layer is formed on the first nano crystal silicon layer. A source electrode(69) and a drain electrode(71) are formed by patterning a metal electrode layer.

公开(公告)号：KR101062998B1

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：KR1020080128316

申请日：2008-12-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  최병덕 ,  정성욱 ,  장경수 ,  조재현

IPC: H01L21/205 ,  H01L27/115 ,  B82Y10/00

CPC classification number: H01L21/02532 ,  H01L21/02436 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/28282 ,  H01L29/04 ,  H01L29/6675 ,  H01L29/66833 ,  H01L29/7881 ,  H01L29/792

Abstract: 본 발명은 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 관한 것으로, 나노결정 실리콘막 구조체의 형성방법에 있어서, 기판 상에 버퍼막을 형성하는 단계 및 상기 버퍼막 상에 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 나노결정 실리콘막을 형성하는 단계를 포함한다.
상기와 같은 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 의해, 종래기술에서와 같은 후처리 공정을 수행하지 않고 플라즈마 기상 증착법으로 유리기판 상에 나노결정 실리콘막을 직접 증착함으로써 비휘발성 메모리 소자의 제조공정을 줄여 제조단가를 낮출 수 있다.
비휘발성 메모리 소자, 나노결정, 실리콘, 플라즈마, 평판형 디스플레이

公开(公告)号：KR1020110028947A

公开(公告)日：2011-03-22

申请号：KR1020090086598

申请日：2009-09-14

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  정우원 ,  양두환 ,  김선용 ,  이용우 ,  권태영 ,  경도현 ,  장경수

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A solar cell surface damage removing method and a solar cell manufacturing method using the same are provided to improve the process efficiency remarkably by preventing the surface damage of the solar cell with simple method of dipping a solar cell substrate in the nitride solution. CONSTITUTION: An emitter layer(110) is formed by injecting the impurity material of second conductive type into a substrate(100). A front side reflection barrier layer(120) is formed on the emitter layer in order to lower the reflectivity of sunlight. A front electrode is formed to pass through the front side reflection barrier layer and contact the emitter layer.

Abstract translation: 目的：提供太阳能电池表面损伤去除方法和使用其的太阳能电池制造方法，以通过以太阳能电池基板浸渍在氮化物溶液中的简单方法防止太阳能电池的表面损伤来显着提高工艺效率。 构成：通过将第二导电类型的杂质材料注入衬底（100）而形成发射极层（110）。 为了降低太阳光的反射率，在发射极层上形成前侧反射阻挡层（120）。 前电极形成为穿过前侧反射阻挡层并接触发射极层。

公开(公告)号：KR1020100069270A

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：KR1020080127918

申请日：2008-12-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 최병덕 ,  이준신 ,  정성욱 ,  장경수 ,  조재현

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78606 ,  H01L27/3262 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78618

Abstract: PURPOSE: A thin film transistor, a method for forming the same, and a flat panel display device with the same are provided to prevent loss of a drain area, thereby improving lifetime and performance. CONSTITUTION: A buffer layer(13), a preliminary channel area, an insulating layer, and a gate electrode layer are successively formed on a substrate(11). The gate electrode layer and the insulating layer are patterned successively so that a gate pattern(22) is formed. Impurity is doped in the exposed preliminary channel area to define a channel area(15). A protection layer(27) is formed on the front side of the substrate with source and drain areas. The first contact hole(29) and the second contact hole(31) exposing the buffer layer are formed.

Abstract translation: 目的：提供一种薄膜晶体管，其形成方法和具有该薄膜晶体管的平板显示装置，以防止漏区的损失，从而提高寿命和性能。 构成：在衬底（11）上依次形成缓冲层（13），初步沟道区，绝缘层和栅极电极层。 栅极电极层和绝缘层依次图案化，形成栅极图案（22）。 掺杂在暴露的初步通道区域中以限定通道区域（15）。 在源极和漏极区域的衬底的正面上形成保护层（27）。 形成露出缓冲层的第一接触孔（29）和第二接触孔（31）。