用于场发射器件的二硫化钼薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN103924213A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410176131.5

    申请日:2014-04-29

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于场发射器件的二硫化钼薄膜的制备方法,包括:提供硫蒸气;将硫蒸气吹入置有衬底和MoO3粉末的反应腔,以使MoO3粉末与硫蒸气反应生成气态的MoOx并沉积到衬底上,其中2≤x<3;向所述反应腔中继续通入硫蒸气,先将反应腔加热到预设反应温度持续预设反应时间,然后将反应腔降温至室温并持续第二反应时间,以使硫蒸气与MoOx在衬底表面形成先平面生长后垂直生长的二硫化钼薄膜。本发明的二硫化钼薄膜的制备方法简单易行,得到的MoS2薄膜场发射性能好。

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