가역적 전극반응을 이용한 전기삼투펌프 및 이를 이용한 유체 펌핑 시스템
    96.
    发明授权
    가역적 전극반응을 이용한 전기삼투펌프 및 이를 이용한 유체 펌핑 시스템 有权
    使用可逆电极反应的电动泵和使用其的流体泵送系统

    公开(公告)号:KR101305149B1

    公开(公告)日:2013-09-12

    申请号:KR1020130004361

    申请日:2013-01-15

    Inventor: 신운섭

    CPC classification number: B81B3/0035 B81B7/02 B81B2201/036 B81B2201/05

    Abstract: PURPOSE: An electro-osmosis pump using a reversible electrode reaction and a fluid pumping system using the same are provided to transfer a large amount of fluid for a long time while the size and a configuration of the electro-osmosis pump are intactly maintained. CONSTITUTION: An electro-osmosis pump (10) using a reversible electrode reaction includes a transfer line, a first check valve, a second check valve, a pumping line, and a separator. The transfer line provides a passage for transferring a target fluid (16) from a container to the outside. The first and second check valves are installed to be spaced from the transfer line respectively and prevent the target fluid flowing to a reverse direction of a transferring direction. The pumping line is connected to a part of the transferring line between the first and second check valves. The electro-osmosis pump provides a pumping force to the pumping line. The separator separates the electro-osmosis pump from the target fluid and transmits the pumping force to the target fluid. [Reference numerals] (14) Power providing unit

    Abstract translation: 目的:提供使用可逆电极反应的电渗透泵和使用该电渗透泵的流体泵送系统,以在电渗透泵的尺寸和构造完好保持的情况下长时间转移大量流体。 构成:使用可逆电极反应的电渗泵(10)包括传输线,第一止回阀,第二止回阀,泵送管线和分离器。 传送线提供用于将目标流体(16)从容器传送到外部的通道。 第一止回阀和第二止回阀分别安装成与传送管线分开,并防止目标流体沿传送方向反向流动。 泵送线连接到第一和第二止回阀之间的输送管线的一部分。 电渗泵为泵送管线提供泵送力。 分离器将电渗泵与目标流体分离,并将泵送力传递到目标流体。 (附图标记)(14)供电单元

    자성유체를 이용한 마이크로 펌프 및 이 마이크로 펌프에자성유체를 수용하는 방법
    98.
    发明公开
    자성유체를 이용한 마이크로 펌프 및 이 마이크로 펌프에자성유체를 수용하는 방법 失效
    使用磁性液体的微型泵和用于接收微型泵中的磁性流体的方法

    公开(公告)号:KR1020020020140A

    公开(公告)日:2002-03-14

    申请号:KR1020000053336

    申请日:2000-09-08

    Abstract: PURPOSE: A micro pump using a magnetic fluid and a method for receiving the magnetic fluid in the micro pump are provided to reduce the cost for manufacturing a micro pump and to overcome the limitation in the user of a material by applying a magnetic fluid as a pumping source. CONSTITUTION: A micro pump using a magnetic fluid comprises a first substrate(10) having a plurality of magnetic field generating units(12a,12b), a second substrate(20) having a plurality of receiving spaces for receiving a magnetic fluid(1) reacting to the magnetic fields generated by the magnetic field generating units, a third substrate(30) having a plurality of injecting holes(32) for injecting the magnetic fluid to the receiving spaces and a plurality of magnetic field flow spaces(33) communicated with the receiving spaces, a plurality of thin films(40) covering the magnetic fluid flow spaces, deforming when the magnetic fluid reacts and returning to the original position, and a passage forming panel(50) for forming a passage(60) through which a driven fluid(2) is transferred. The magnetic fluid is thinly coated on the first substrate. Thereafter, the coated magnetic fluid is frozen. The frozen magnetic fluid is smoothened and cut by a desired thickness. The second substrate is attached onto the first substrate. After that, the magnetic fluid is unfrozen.

    Abstract translation: 目的:提供一种使用磁性流体的微型泵和用于接收微型泵中的磁性流体的方法,以降低制造微型泵的成本,并通过将磁性流体作为材料应用来克服材料使用者的限制 泵送源。 构成:使用磁性流体的微型泵包括具有多个磁场产生单元(12a,12b)的第一基板(10),具有用于接收磁性流体(1)的多个接收空间的第二基板(20) 对由磁场产生单元产生的磁场进行反应,具有多个用于将磁流体注入接收空间的注入孔(32)的第三基板(30)和与该磁场产生单元连通的多个磁场流动空间 所述接收空间,覆盖所述磁性流体空间的多个薄膜(40),当所述磁性流体反应并返回到原始位置时变形,以及用于形成通道(60)的通道形成板(50),通过所述通道 驱动流体(2)被传送。 磁性流体薄涂在第一基底上。 此后,将涂覆的磁性流体冷冻。 冷冻的磁性流体被平滑并切割所需的厚度。 第二基板附着在第一基板上。 之后,磁流体被解冻。

    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG WENIGSTENS EINER KAVITÄT IN EINER MIKROELEKTRONISCHEN UND/ODER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR UND SENSOR ODER AKTOR MIT EINER SOLCHEN KAVITÄT
    100.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG WENIGSTENS EINER KAVITÄT IN EINER MIKROELEKTRONISCHEN UND/ODER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR UND SENSOR ODER AKTOR MIT EINER SOLCHEN KAVITÄT 审中-公开
    方法用于生产至少一个腔体在微电子和/或微机械结构和传感器或执行器这样的腔

    公开(公告)号:WO2011064716A2

    公开(公告)日:2011-06-03

    申请号:PCT/IB2010/055362

    申请日:2010-11-23

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung wenigstens einer Kavität in einer mikroelektronischen und/oder mikromechanischen Struktur unter Verwendung wenigstens einer Opferschicht sowie einen hiermit hergestellten Sensor oder Aktor. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein solches Verfahren beziehungsweise einen solchen Sensor oder Aktor zur Verfügung zu stellen, wobei die Opferschicht einen ausreichenden Abstand zwischen den Strukturelementen während der Präparation der mikroelektronischen und/oder mikromechanischen Struktur zur Verfügung stellt, die Opferschicht leicht zu entfernen ist und darüber hinaus auf möglichst einfache Weise ein Anhaften der Strukturelemente nach Entfernen der Opferschicht vermieden werden kann, wobei die Verfahrensschritte bei möglichst niedrigen Temperaturen ausführbar sein sollen, um beispielsweise polymere Funktionsschichten zur Ausbildung eines Sensors oder Aktors einsetzen zu können. Die Aufgabe wird einerseits durch ein gattungsgemäßes Verfahren und andererseits durch einen Sensor oder Aktor der oben genannten Gattung gelöst, wobei die Opferschicht aus wenigstens einem unterhalb seiner Schmelztemperatur mit einer Sublimationsrate von wenigstens 1nm/h sublimierenden Feststoff ausgebildet wird, und wobei der sublimierende Feststoff eine Schmelztemperatur in einem Bereich von 18°C bis 200°C aufweist.

    Abstract translation:

    本发明涉及一种用于生产至少一种KavitÄ在使用至少一个牺牲层与其的传感器或致动器产生的微电子和/或微机械结构以及吨。 本发明的目的,这样的方法或这样的传感器或致动器的AV导航用途,以提供供给,其中,所述牺牲层的结构元件瓦特BEAR之间有足够的距离,而镨Ä微电子和/或微机械结构paration用于AV导航使用的 供应是,牺牲层是容易去除和代表了除了Mö glichst低温下执行导航用途应该是YOURSELFSOFTWAREUPDAT E,例如,聚合的;可通过去除所述牺牲层glichst简单的方式,其中,以m ouml的方法步骤能够避免结构元件的粘附 可以使用用于形成传感器或致动器的功能层。 目的是AUML一方面通过一个通用的类型&;道路有由上述类型凝胶ouml的传感器或致动器的方法和在另一方面; ST,其中所述牺牲层的至少一个低于其熔融温度的至少1纳米/小时的升华固体升华速率形成,并且 其中所述升华固体的熔融温度在18℃至200℃的范围内

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