-
-
公开(公告)号：KR101915693B1
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：KR1020170054935
申请日：2017-04-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B23K10/02 , B23K9/32 , B23K31/02 , B32B9/04 , B23K103/18
Abstract: 본발명은플라즈마프레스장치및 이를접합방법에관한것으로, 플라즈마를 발생한상태에서접합되는두 기재를가압하면서접합하여종래보다현저하게향상된접합력을제공하며, 별도의가열공정없이도접합이가능하여접합하는기재에열손상을방지할수 있는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR101843622B1
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：KR1020150180844
申请日：2015-12-17
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은블록공중합체의표면경화방법에관한것으로, 황이포함된가스를이용한플라즈마처리를통하여블록공중합체표면을경화함으로써, 경화및 열적안정성이낮은블록공중합체의표면을별도의공정과정없이간단하고저렴하게경화시켜, 블록공중합체마스크를통해실리콘및 이를포함하는피식각물의선택적인식각을직접진행할수 있는장점이있다.
-
公开(公告)号：KR101798720B1
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020150158376
申请日：2015-11-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C01B31/04
Abstract: 본발명은염소프리-도핑된단층그래핀상에추가의그래핀을이동시킴으로써도핑된염소를트랩핑하는것을포함하는간단하고효율적인공정으로인하여, 높은투과도, 낮은면저항, 높은열 안정성및 높은유연성을갖는그래핀을용이하게제조할수 있고, 또한, 그래핀의두께및 전기적특성등의제어가용이한프리-도핑을이용한그래핀의제조방법, 및이로부터제조된다층그래핀을제공한다.
Abstract translation: 本发明是无氯 - 由于简单和有效的方法，它包括通过在掺杂单层石墨烯，高透射率，低方块电阻，高的热稳定性和高柔性移动所述附加石墨捕集掺杂氯 因此，它可以与销很容易地生产，并且还，以及所涉及的控制，如销的厚度和电性能有利于预设置是使用掺杂工艺制造的销，和由其制备的多层石墨烯。
-
公开(公告)号：KR101782212B1
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020150119461
申请日：2015-08-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은접촉저항을이용한나노용접방법에관한것으로, 나노와이어에전기에너지를직간접적으로인가하여, 나노와이어들간의접촉부위가접촉저항에의하여서로용접되도록함으로써, 나노와이어들간의전기전도도와거칠기(roughness)를개선할수 있고, 기판등의다른부분에악영향을미치지않으므로, 플렉서블기판이나대면적기판에적용가능한장점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用接触电阻的纳米焊接方法，其中将电能直接或间接地施加到纳米线，使得纳米线之间的接触部分通过接触电阻彼此焊接，从而导电率和粗糙度 可以改善粗糙度，并且不会对衬底等的其他部分产生不利影响，因此，本发明可以应用于柔性衬底或大面积衬底。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170072988A
公开(公告)日：2017-06-28
申请号：KR1020150180844
申请日：2015-12-17
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은블록공중합체의표면경화방법에관한것으로, 황이포함된가스를이용한플라즈마처리를통하여블록공중합체표면을경화함으로써, 경화및 열적안정성이낮은블록공중합체의표면을별도의공정과정없이간단하고저렴하게경화시켜, 블록공중합체마스크를통해실리콘및 이를포함하는피식각물의선택적인식각을직접진행할수 있는장점이있다.
Abstract translation: 本发明块通过使用含有，下部嵌段共聚物的固化性和热稳定性的简单的表面上的气体，没有任何额外的制造过程通过等离子体处理固化所述嵌段共聚物表面涉及硫与共聚物的表面硬化方法， 并且被廉价地固化，使得可以直接通过嵌段共聚物掩模执行硅和包括硅的蚀刻溶液的选择性蚀刻。
-
公开(公告)号：KR1020160030845A
公开(公告)日：2016-03-21
申请号：KR1020150120450
申请日：2015-08-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/268 , H01L51/52 , H01L51/00 , H01L27/32
Abstract: 본발명은박막을형성하는방법과디스플레이장치에관한것이다. 본발명에따른대상체상에박막을형성하는방법은, 플라즈마를이용한화학기상증착및 레이저를이용하여제1박막을형성하는제1 모드와; 플라즈마를이용한화학기상증착으로제2박막을형성하는제2모드를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及薄膜形成方法和显示装置。 形成薄膜的方法可以制造质量好的薄膜，同时减少制造时间。 根据本发明，用于在物体上形成薄膜的方法包括：通过使用等离子体和激光的化学气相沉积形成第一薄膜的第一模式; 以及通过使用等离子体的化学气相沉积形成第二薄膜的第二模式。
-
公开(公告)号：KR101569285B1
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：KR1020140095984
申请日：2014-07-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 플라즈마의생성영역조절이가능한대면적플라즈마발생장치가개시된다. 상기플라즈마발생장치는플라즈마가생성되는진공챔버, 기판이안착되는서셉터가상기진공챔버내부에구비되고, 플라즈마의생성영역을제한하기위한플라즈마생성영역제한부재를포함한다. 상기플라즈마생성영역제한부재는플라즈마생성영역을 4면에서둘러싸는형태를취하도록마주보며위치하는두 쌍의플라즈마생성영역제한부재를포함하며, 그중 한쌍의플라즈마생성영역제한부재의폭은나머지한 쌍의플라즈마생성영역제한부재의폭 보다좁은것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR101400723B1
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020130021855
申请日：2013-02-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: G03F7/00 , H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: C01B32/20 , B29C59/02 , G03F7/0002 , G03F7/0037 , H01L21/0273
Abstract: The present invention relates to a method for patterning graphene, and more specifically, to a method for patterning graphene comprising the steps of forming an oxide layer on a substrate; forming metal patterns on the oxide layer; transferring graphene onto the oxide layer and the metal patterns; and forming graphene patterns by removing graphene from the metal patterns by applying heat to the graphene and vaporizing the graphene.
Abstract translation: 本发明涉及图案化石墨烯的方法，更具体地说，涉及石墨烯图案的方法，包括在基底上形成氧化物层的步骤; 在氧化物层上形成金属图案; 将石墨烯转移到氧化物层和金属图案上; 以及通过向石墨烯施加热并使石墨烯汽化而从金属图案中除去石墨烯来形成石墨烯图案。
-
公开(公告)号：KR1020120122698A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110041022
申请日：2011-04-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H05H1/34 , H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32073 , H01J37/32348 , H01J37/32541 , H05H1/2406 , H05H1/46 , H05H2001/2418
Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure plasma generator with a double discharge system is provided to apply a bias by connecting power sources having different frequencies to an upper electrode and a lower electrode. CONSTITUTION: A second electrode part(200) is arranged to be adjacent to a first electrode part(100). A third electrode part(300) is arranged to be adjacent to the second electrode part. The third electrode part faces the first electrode part around the second electrode part. A fourth electrode part(400) is arranged to be separated from the lower part of the first to third electrode parts. The first electrode part and the third electrode part are connected to a first power source(500). The second electrode part is connected to a ground(800). The fourth electrode part is connected to a second power source(600).
Abstract translation: 目的：提供具有双重放电系统的大气压等离子体发生器，通过将具有不同频率的电源连接到上电极和下电极来施加偏压。 构成：第二电极部件（200）布置成与第一电极部件（100）相邻。 第三电极部件（300）布置成与第二电极部件相邻。 第三电极部分面对围绕第二电极部分的第一电极部分。 第四电极部件（400）布置成与第一至第三电极部件的下部分离。 第一电极部分和第三电极部分连接到第一电源（500）。 第二电极部分连接到地面（800）。 第四电极部分连接到第二电源（600）。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
123
records
(took 0.027 seconds)
