球面収差補正装置、球面収差補正方法、および荷電粒子線装置
    131.
    发明专利
    球面収差補正装置、球面収差補正方法、および荷電粒子線装置 有权
    球形屈光度校正装置,球形抛光校正方法和充电颗粒光束装置

    公开(公告)号:JP2015026431A

    公开(公告)日:2015-02-05

    申请号:JP2013153367

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 【課題】像および回折図形の少なくとも一方の真円度のずれの補正と軸上収差の補正とを個別に行うことができる球面収差補正装置を提供する。【解決手段】球面収差補正装置100は、像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、多段の六極子場を発生させる六極子場発生部110と、前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部120と、荷電粒子線を偏向させる偏向部130と、を含む。【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够单独校正图像和衍射图案和轴向像差中的至少一个中的圆度的偏差的球面像差校正装置。解决方案:提供了一种用于带电粒子束装置的球面像差校正装置100 用于捕获图像和衍射图案,并且包括:用于产生多级六极场的六极场产生部分110; 用于将校正图像和衍射图案中的至少一个的圆形度的偏差的八极场叠加在多级六极场中的至少一个上的八极场叠加部分120; 以及用于偏转带电粒子束的偏转部分130。

    DECELERATION APPARATUS FOR RIBBON AND SPOT BEAMS
    139.
    发明申请
    DECELERATION APPARATUS FOR RIBBON AND SPOT BEAMS 有权
    RIBBON和SPOT BEA的减速装置

    公开(公告)号:US20150136967A1

    公开(公告)日:2015-05-21

    申请号:US14605985

    申请日:2015-01-26

    Abstract: A deceleration apparatus capable of decelerating a short spot beam or a tall ribbon beam is disclosed. In either case, effects tending to degrade the shape of the beam profile are controlled. Caps to shield the ion beam from external potentials are provided. Electrodes whose position and potentials are adjustable are provided, on opposite sides of the beam, to ensure that the shape of the decelerating and deflecting electric fields does not significantly deviate from the optimum shape, even in the presence of the significant space-charge of high current low-energy beams of heavy ions.

    Abstract translation: 公开了一种减速装置,能够使短点光束或高色带光束减速。 在任一种情况下,都会控制趋向于降低光束轮廓形状的效果。 提供了用于将离子束屏蔽到外部电位的盖子。 其位置和电位可调的电极设置在梁的相对两侧,以确保减速和偏转电场的形状不会显着偏离最佳形状,即使存在显着的空间电荷高 目前低能量的重离子束。

    ION SOURCE
    140.
    发明申请
    ION SOURCE 审中-公开
    离子源

    公开(公告)号:US20150090898A1

    公开(公告)日:2015-04-02

    申请号:US14236581

    申请日:2012-08-03

    Abstract: The invention provides an ion source comprising first and second cathode pole pieces spaced apart from one another to form a cavity therebetween, an edge of the first cathode pole piece being spaced apart from an edge of the second cathode pole piece to define an elongate cathode gap between the respective edges of the pole pieces, the elongate cathode gap having a longitudinal axis; at least one magnet arranged for magnetising the first and second cathode pole pieces with opposite magnetic polarities; an elongate anode located in the cavity, the anode being spaced apart from the first and second cathode pole pieces and having a longitudinal axis, the longitudinal axis of the elongate anode and the longitudinal axis of the elongate cathode gap substantially coplanar; a first electrical connection which extends from outside the cavity to the anode; and a gas feed conduit which extends from outside the cavity to inside the cavity for introducing a gas into the cavity.

    Abstract translation: 本发明提供了一种离子源,其包括彼此间隔开以在其间形成空腔的第一和第二阴极极片,第一阴极极片的边缘与第二阴极极片的边缘间隔开以限定细长的阴极间隙 在极片的相应边缘之间,细长阴极间隙具有纵向轴线; 至少一个磁体布置成用于以相反的磁极性磁化所述第一和第二阴极极片; 位于空腔中的细长阳极,阳极与第一和第二阴极极片间隔开并且具有纵向轴线,细长阳极的纵向轴线和细长阴极间隙的纵向轴线基本上共面; 从空腔外部延伸到阳极的第一电连接; 以及从空腔外部延伸到腔体内部的气体供给导管,用于将气体引入空腔。

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