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公开(公告)号：CN106804114A
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201580034881.1
申请日：2015-06-25
Applicant: 加坦公司
Inventor： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 , 科林·特雷弗 , 雷伊·达德利·特韦斯顿 , 梅勒妮·巴费尔斯
IPC: H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/053 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/12 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。
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公开(公告)号：CN106548913A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201710049531.3
申请日：2013-04-02
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及用于高分辨率电子束成像的设备及方法。一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN105470086A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510912897.X
申请日：2015-12-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/317 , H01J37/05 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/317 , H01J37/023 , H01J37/05
Abstract: 本发明公开了一种高能多元素离子注入机，包括离子源、质量分析器、射频加速系统和靶室，质量分析器将离子源产生的离子束筛选后传输给射频加速系统进行加速，经射频加速系统加速到高能量状态的离子束传输至靶室内完成离子束注入，靶室内设有靶台运动机构，靶台运动机构兼具水平方向和竖直方向的两个运动维度，在靶室内以二维扫描方式完成离子束注入。本发明具有结构简单紧凑、离子注入均匀性好、离子注入能量污染小的优点。
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公开(公告)号：CN103489742B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201310398888.4
申请日：2013-09-05
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种超宽带状离子束产生装置及离子注入机。为了解决现有的超宽离子束的均匀性较差的问题，所述超宽带状离子束产生装置包括离子质量分析磁铁、分析光栏和离子束聚焦磁铁；所述离子质量分析磁铁具有斑状离子束穿过的空间；所述分析光栏具有从所述离子质量分析磁铁出来的汇聚的带状离子束穿行的空间；所述离子束聚焦磁铁具有从所述分析光栏出来的带状离子束穿行的空间；所述离子质量分析磁铁产生第一磁场，所述离子束聚焦磁铁产生第二磁场，所述第二磁场与所述第一磁场方向垂直。本发明在现有斑状离子源的基础上产生超宽带状离子束，并且达到质量分析的目的，并保证整个带状离子束宽度上不变。
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公开(公告)号：CN103597570B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280025669.5
申请日：2012-06-04
Applicant: 三友电子株式会社
IPC: H01J37/05 , H01J37/153
CPC classification number: H01J1/50 , H01J3/22 , H01J37/145 , H01J37/26 , H01J2237/041 , H01J2237/1505
Abstract: 本发明涉及一种自旋极化装置，其在期望的方向内旋转自旋极化电子束流，该自旋极化电子束流被从电子枪放电出或者被反射到样品上，该自旋极化装置通过进一步简化自旋旋转器的结构使得整个激发系统因此更加简洁。一种自旋旋转装置包括：第一聚光镜，其聚焦电子束流，该电子束流从电子枪放电出或者反射到样品上；自旋旋转器，其包括具有一个点的多级柱，电子束被第一聚光镜在透镜中心或者透镜中心附近聚焦到该点，并且该多极柱能够产生电场和磁场；Wien条件产生器，其使用满足Wien条件的公式表示的电压和电流，以旋转电子束流到期望的角度并且使得电子束流直接朝向组成自旋旋转器的多极柱前进；以及第二聚光镜，其将被自旋旋转器旋转自旋的电子束流聚焦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103311083B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201210425493.4
申请日：2012-10-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
IPC: H01J37/317 , H01J37/05
Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，与以往的技术相比，能够容易地调整分辨率。离子注入装置（IM）包括：离子源（1），当将行进方向定为Z方向并将与Z方向实际上垂直的两个方向定为X方向和Y方向时，产生X方向的尺寸比Y方向的尺寸大的带状离子束（2）；质量分析磁铁（3），具有至少一个螺线管线圈（4）；以及分析狭缝（5），在XZ平面上，由螺线管线圈（4）产生的磁场（B）的方向与入射进质量分析磁铁（3）的离子束（2）的行进方向倾斜交叉。
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公开(公告)号：CN104183448A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410181511.8
申请日：2014-04-30
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/05
Abstract: 本发明提供具有能量宽度的射束的高精度能量分析技术。本发明的高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置为通过相对于设定射束能量具有能量宽度即能量分布的高频加速式加速系统进行离子束的加速后的射束线，且具备能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件。离子加速/传输装置进一步在通过能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件而使得能量分散和射束尺寸适当的位置，设置有包括能量宽度限制狭缝和能量分析狭缝的双狭缝，双狭缝进行能量分离和能量限制，通过一边抑制束电流量的减少，一边调整为更小的能量宽度，从而缩小离子束的能量宽度来实现所需能量精度。
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公开(公告)号：CN104103479A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201310114301.2
申请日：2013-04-02
Applicant: 无锡华润上华科技有限公司
IPC: H01J37/05
Abstract: 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN103597570A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280025669.5
申请日：2012-06-04
Applicant: 三友电子株式会社
IPC: H01J37/05 , H01J37/153
CPC classification number: H01J1/50 , H01J3/22 , H01J37/145 , H01J37/26 , H01J2237/041 , H01J2237/1505
Abstract: 本发明涉及一种自旋极化装置，其在期望的方向内旋转自旋极化电子束流，该自旋极化电子束流被从电子枪放电出或者被反射到样品上，该自旋极化装置通过进一步简化自旋旋转器的结构使得整个激发系统因此更加简洁。一种自旋旋转装置包括：第一聚光镜，其聚焦电子束流，该电子束流从电子枪放电出或者反射到样品上；自旋旋转器，其包括具有一个点的多级柱，电子束被第一聚光镜在透镜中心或者透镜中心附近聚焦到该点，并且该多极柱能够产生电场和磁场；Wien条件产生器，其使用满足Wien条件的公式表示的电压和电流，以旋转电子束流到期望的角度并且使得电子束流直接朝向组成自旋旋转器的多极柱前进；以及第二聚光镜，其将被自旋旋转器旋转自旋的电子束流聚焦。
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公开(公告)号：CN102067268A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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