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公开(公告)号：KR1020090123554A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：KR1020080049697
申请日：2008-05-28
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a solar cell is provided to reduce a process time and a process cost by forming an anti-reflective coating layer without an additional photolithography process. CONSTITUTION: A photoelectric conversion layer(520) to covert an optical signal to an electrical signal is formed on a substrate(510). A window layer(530) is formed on the photoelectric conversion layer. The window layer is a barrier of the carrier generated in the photoelectric conversion layer and passes the optical signal through the photoelectric conversion layer. An ohmic contact layer(540) making the ohmic contact with the window layer is formed on the window layer. The ohmic contact layer is etched using an etching mask. An anti-reflective coating layer(550) is formed by oxidizing the window layer in the exposed surface by etching the ohmic contact layer using the etching mask as a hard mask about the oxidation. A top electrode(560) made of the conductive material is formed on the ohmic contact layer. A bottom electrode(570) made of the conductive material is formed on the lower part of the substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造太阳能电池的方法，通过在没有额外的光刻工艺的情况下形成抗反射涂层来缩短处理时间和工艺成本。 构成：将光信号转换为电信号的光电转换层（520）形成在基板（510）上。 在光电转换层上形成窗口层（530）。 窗口层是在光电转换层中产生的载流子的屏障，并使光信号通过光电转换层。 在窗口层上形成与窗口层形成欧姆接触的欧姆接触层（540）。 使用蚀刻掩模蚀刻欧姆接触层。 通过使用蚀刻掩模作为围绕氧化的硬掩模蚀刻欧姆接触层来对暴露表面中的窗口层进行氧化来形成抗反射涂层（550）。 由导电材料制成的顶部电极（560）形成在欧姆接触层上。 由导电材料制成的底部电极（570）形成在基板的下部。
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12.发明公开플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈 有权一种柔性太阳能电池的制造方法，由此制造的柔性太阳能电池以及使用该柔性太阳能电池的柔性太阳能电池模块
公开(公告)号：KR1020170113797A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160036143
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/18 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/0445 , H01L31/0682 , H01L31/186 , H01L31/1892
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生产由此制造方法的柔性太阳能电池和所述柔性太阳能电池，在形成体衬底上的半导体层的第一步骤，以及形成在半导体层上的可固化树脂层的第二步骤，上 ，图案化的第五步骤和固化该可固化树脂层，以及第三步骤，以形成具有孔图案的柔性基片，以及形成在孔图案的内部的背面电极的第四步骤中，去除所述体衬底 并且，包含该步骤6和使用该太阳能电池的柔性柔性太阳能电池模块，所述柔性太阳能电池的第一制造方法和它产生由此形成下面的技术要旨的半导体层中的前电极。 这种做发明是应用具有孔图案的柔性基板，所述柔性基板以改进电性能和热性能使用时的问题是这样可提高太阳能电池的性能，采用设置有这种孔图案的柔性基板的柔性太阳能电池 具有串联连接时要使用的模块化的，可以提供灵活的重量轻的太阳能电池或挠性重量轻的太阳能电池模块，其能够显着减轻重量能够更正背面电极连接问题的问题。
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公开(公告)号：KR101769749B1
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020150185329
申请日：2015-12-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은수평방향으로굴절률이제어된양면패턴의제조방법및 그에의해제조된양면패턴에관한것으로서, 고분자기판상에미세구조체패턴및 얼라인키(align key)가형성된제1스탬프를위치시켜열간성형하여상기고분자기판에상기제1스탬프의미세구조체패턴과역상인제1패턴을각인시키고, 얼라인키를표시하는제1단계와, 상기제1패턴이각인된고분자기판에서상기제1스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에제1패턴을성형하는제2단계와, 상기제1패턴이형성된고분자기판상에유동성재료를도포하여, 상기제1패턴과역상인하측패턴을상기유동성재료하측면에형성하는제3단계와, 상기도포된유동성재료상에미세구조체패턴및 얼라인키(align key)가형성된제2스탬프를위치시켜가압하고, 경화공정을수행하여상기유동성재료상측면에상기제2스탬프의미세구조체패턴과역상인상측패턴을각인시키는제4단계및 상기상측패턴이각인된유동성재료에서상기제2스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에유동성재료로이루어진양면패턴을성형하는제5단계를포함하여이루어지되, 상기제4단계는, 상기고분자기판에표시된얼라인키와상기제2스탬프의얼라인키를정렬한후 상기유동성재료상에상기제2스탬프를위치시켜상기유동성재료의수평방향으로가해지는상기제2스탬프의가압력을제어하는것을특징으로하는수평방향으로굴절률이제어된수평방향으로굴절률이제어된양면패턴의제조방법및 이에의해제조된양면패턴을그 기술적요지로한다. 이에의해본 발명은간단한공정에의해양면패턴을동시에성형할수 있고, 특히열간성형및 임프린트공정시 얼라인키를이용함으로써, 수평방향으로의굴절률이제어된양면패턴을제공할수 있으며, 이후이종의기판또는박막에용이하게전사할수 있어다양한분야에의활용이가능한이점이있다.
Abstract translation: 制造双面图案化折射率的发明方法被控制在水平方向上，从而为在由图案精细结构的聚合物衬底上产生的图案的两侧，并对准inki（对准键）是热模压通过将形成的第一压模 到聚合物基材和雕刻微结构图案和反相摄取第一压模中的一个模式，所述第一压模中显示对齐inki的第一步骤中分离，聚合物衬底，所述第一图案被雕刻， 形成聚合物衬底上形成第一图案，所述第一液体涂覆到聚合物基材1的第二步骤中，形成在材料中的图案，形成底部表面，其中所述可流动的材料在所述第一图案和所述反相切口侧图案 第三步骤和细到所施加的流体jaeryosang结构图案和对准inki（对准键）通过将所述第二时间戳的时间戳第二到流动性jaeryosang侧压力机的精细结构图案被形成，通过进行固化处理 gwayeok 以及将第二印模与其中印有上部图案的流体材料分离以在聚合物基底上形成流体材料的双面图案的第五步骤， 第四步骤中，并随后被显示在聚合物基板对准的对准inki和对准的第二印模inki置于用于第二印模的流动性jaeryosang第二印模变成流体材料的水平方向 和用于产生在水平方向上的折射率的水平方向上的折射率的方法进行控制模式控制双方，其特征在于，用于控制所述压力，并因此通过作为技术基础制造的双面图案。 此完成本发明可以在同一时间通过时对准inki使用热成形和压印工艺形成通过简单的工艺成双面图案，特别是，能提供一个双面图案在控制的水平方向上的折射率，异质衬底或后 它可以很容易地转移到薄膜上，因此可以用于各种领域。
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公开(公告)号：KR101734077B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020150188846
申请日：2015-12-29
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/068 , H01L31/046 , H01L31/18 , H01L21/027 , H01L21/3213
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은다중접합태양전지및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른다중접합태양전지의제조방법은, 기판의상면에하부, 중부, 상부태양전지층및 포토레지스트층을차례로적층형성하는단계와; 포토레지스트층및 그하부의상부태양전지층의일부를각각메사식각하는단계와; 상부태양전지층의식각후, 포토레지스트를리플로우하고열처리하여식각된상부태양전지층을포토레지스트로보호하는단계와; 상부태양전지층하부에위치하는중부태양전지층의일부를식각한후, 포토레지스트를리플로우하고열처리하여식각된중부태양전지층을포토레지스트로보호하는단계와; 중부태양전지층하부에위치하는하부태양전지층의일부를식각하는단계; 및상부태양전지층위에위치하는포토레지스트층과, 상기식각부보호용으로형성된포토레지스트를제거하여다중접합태양전지구조체를완성하는단계를포함한다. 이와같은본 발명에의하면, 다중접합태양전지의제조공정에다단계습식식각공정을도입함으로써, 메사습식식각공정에서의언더컷발생문제를해결하여메사습식식각공정으로인한활성면적감소를원천적으로방지할수 있고, 이에따라태양전지의효율저하문제를근본적으로해결할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种多结太阳能电池及其制造方法。 按照本发明制造键合的太阳能电池的方法包括：形成下部，中部，并依次层叠顶部太阳能电池层和所述衬底的所述顶表面上的光致抗蚀剂层的工序; 分别在光致抗蚀剂层下方蚀刻光致抗蚀剂层和部分上太阳能电池层; 在蚀刻上太阳能电池层之后，回流并热处理光致抗蚀剂以用光致抗蚀剂保护蚀刻的上太阳能电池层; 进一步包括：蚀刻，其位于顶太阳能电池层底部中央的太阳能电池层的一部分，保护所述中心太阳能电池层蚀刻所述回流热处理，并在光致抗蚀剂和光致抗蚀剂之后; 蚀刻位于中间太阳能电池层下方的下部太阳能电池层的一部分; 以及形成顶部太阳能电池层上，除去蚀刻保护部形成光致抗蚀剂，包括步骤完成的多结太阳能电池结构的光致抗蚀剂层。 因此，根据如本发明，通过在结太阳能电池的制造过程中引入的多步骤湿蚀刻工艺多，台面湿法蚀刻工艺eseoui并能解决底切问题，从根本上防止活性区域由于台面湿法蚀刻工艺减小， 因此，可以从根本上解决降低太阳能电池效率的问题。
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公开(公告)号：KR1020170047721A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150148153
申请日：2015-10-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은집광형태양광발전방법및 시스템에관한것으로서, 상기방법은태양추적방식에따라태양의황도를계산하여태양전지판을조정하는단계, 상기태양전지판을구성하는하나이상의단위모듈에서태양광을집광하는단계,단위모듈에장착된온도센서를이용하여, 온도분포를측정하는단계및 측정한온도분포결과에따라하나이상의단위모듈을보정하는단계를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101419527B1
公开(公告)日：2014-07-15
申请号：KR1020120057164
申请日：2012-05-30
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/06 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 기판과 성장 물질의 격자 불일치 전위(misfit dislocation)가 생기는 구조에서, 결함에 의한 영향을 회피하기 위해 최적화된 수평형 전극구조 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 수평형 전극구조 태양전지는 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 상기 기판과 격자 상수의 차이가 있어 격자 불일치 전위(misfit dislocation)를 포함하는 박막과, 상기 박막 상부에 형성되는 와이드 밴드갭 층과, 상기 와이드 밴드갭 층 상부에 소정의 두께로 형성되는 오믹 층과, 상기 오믹 층 상부에 형성되는 소자층과, 상기 소자층 상부에 형성되는 제1 전극과, 상기 오믹 층 상부에 형성되는 제2 전극을 포함하여 이루어짐으로써, 격자 부정합 기판에 제작하는 태양전지의 결함에 의한 영향을 회피하고, 결함 밀도가 높은 misfit dislocation 층에 캐리어가 전송되지 않으므로 양자 효율 감소가 일어나지 않아 효율이 개선된다는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020110081385A
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：KR1020100001525
申请日：2010-01-08
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/06
Abstract: PURPOSE: A solar cell having a p-n tunnel diode is provided to lower serial resistance by using an N-type substrate having small defect in comparison with a P-type substrate and forming an upper electrode and a lower electrode with an n-ohmic contact electrode. CONSTITUTION: In a solar cell having a p-n tunnel diode, a p-n diode tunnel(220) is formed on an n-type substrate(210) by successively laminating an n-type semiconductor and a p-type semiconductor to form a p-n junction. A photovoltatic cell(230) is formed on the p-n diode tunnel by successively laminating an n-type semiconductor and a p-type semiconductor to convert an optical signal into an electrical signal. A bottom electrode(270) is formed on the N-type substrate. A top electrode(260) is formed on the photovoltatic cell.
Abstract translation: 目的：提供具有pn隧道二极管的太阳能电池，以通过使用与P型衬底相比具有小缺陷的N型衬底来降低串联电阻，并形成具有正欧姆接触电极的上电极和下电极 。 构成：在具有p-n隧道二极管的太阳能电池中，通过依次层叠n型半导体和p型半导体以形成p-n结，在n型衬底（210）上形成p-n二极管隧道（220）。 通过依次层叠n型半导体和p型半导体将光信号转换为电信号，在p-n二极管隧道上形成光伏电池（230）。 底部电极（270）形成在N型衬底上。 顶电极（260）形成在光伏电池上。
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公开(公告)号：KR100991986B1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：KR1020080103477
申请日：2008-10-22
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/054
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 태양전지가 개시된다. 제1 광전변환층은 입사된 태양광을 흡수하여 전기적 신호로 변환시킨다. 제2 광전변환층은 태양광의 진행 경로상 제1 광전변환층의 전단에 배치되며, 입사된 태양광을 흡수하여 전기적 신호로 변환시킨다. 집광장치는 태양광의 진행 경로상 제1 광전변환층과 제2 광전변환층 사이에 배치되며, 제2 광전변환층을 통과한 태양광이 제1 광전변환층을 향하도록 태양광을 집속한다. 본 발명에 따르면, 태양광의 진행 경로상 집광장치의 전단에 배치된 광전변환층에서는 짧은 파장을 갖는 태양광을 흡수하고, 후단에 배치된 광전변환층에서는 긴 파장을 갖는 태양광을 흡수하므로 발열이 완화된다. 또한, 산란 후 재입사하는 태양광을 흡수할 수 있으므로, 효율 향상을 도모할 수 있게 되고, 각각의 광전변환층에서 특정한 파장 대역만을 흡수하므로 색수차가 덜 발생하게 된다.
태양전지, 턴뎀, 집광장치, 색수차-
公开(公告)号：KR102199166B1
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：KR1020180161483
申请日：2018-12-14
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L31/05 , H01L31/0328 , H01L31/0216
Abstract: 본발명은태양전지에관한것으로서, 에피성장용기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층에메사에칭을진행하여상기반도체층을복수개의단위반도체층셀로분리하는제2단계와, 각단위반도체층셀의상부에제1전극, 메사영역에제2전극을형성하고, 상기반도체층의측면을절연하기위한절연층을형성하는제3단계와, 상기제1전극및 제2전극, 상기절연층이형성된단위반도체층셀 전면(total surface)에유연기판을형성하는제4단계와, 상기유연기판에상기제1전극및 제2전극에대응하는영역에상하로관통하는전극연결부를형성하는제5단계와, 상기전극연결부에전도성재료를충진시키는제6단계와, 상기에피성장용기판을상기반도체층으로부터박리시키고, 공정용임시기판을상기유연기판에부착시키는제7단계와, 상기단위반도체층셀의캡 에칭(cap etching) 및 ARC(anti-reflection coating) 공정을수행한후 각단위반도체층셀을분리하고, 상기공정용임시기판을분리하는제8단계를포함하는것을특징으로하는후면전극태양전지의제조방법및 이에의해제조된후면전극태양전지그리고이를이용한후면전극태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해태양전지의후면에제1전극및 제2전극이동시에위치하는후면전극태양전지를제공하며, 와이어본딩공정등이전혀필요치않아공정을단순화시키고, 전극간 연결부위가안정적으로이루어지도록하여생산성및 내구성을향상시키는이점이있다.
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公开(公告)号：KR101796012B1
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020160036143
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
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