플라즈마 식각 방법 및 장치
    11.
    发明公开
    플라즈마 식각 방법 및 장치 审中-实审
    等离子体蚀刻方法和设备

    公开(公告)号:KR1020170087239A

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:KR1020160006955

    申请日:2016-01-20

    Abstract: 본발명의실시예에의한플라즈마식각장치는, 물질막이형성된기판을지지하는식각챔버; 플라즈마식각공정이수행되기전에상기물질막의식각공정에대한공정조건을결정하고, 상기공정조건에따라식각챔버의동작을제어하는적어도하나의프로세서가포함되며, 상기공정조건은상기플라즈마식각공정이연속적으로수행되는단위식각시간을포함한다.

    Abstract translation: 根据本发明实施例的等离子体蚀刻设备包括:蚀刻室,用于支撑其上形成材料膜的基板; 至少一个处理器,用于在执行等离子体蚀刻过程之前确定用于材料膜的蚀刻过程的过程条件,并且用于根据过程条件控制蚀刻室的操作,过程条件使得等离子体蚀刻过程是连续的 蚀刻和蚀刻都是有利的。

    디지털 방송 시스템에서의 채널 전환 장치 및 방법
    12.
    发明授权
    디지털 방송 시스템에서의 채널 전환 장치 및 방법 有权
    数字广播系统通道更改的设备及方法

    公开(公告)号:KR101194824B1

    公开(公告)日:2012-10-25

    申请号:KR1020050063453

    申请日:2005-07-13

    Abstract: 본 발명은 디지털 방송 시스템에서의 채널 전환 장치 및 방법에 관한 것으로, 채널 전환을 위한 정보를 보조화면 창에 출력하며, 시청용 채널을 통해 수신되는 방송 프로그램을 주화면 창에 출력함과 동시에 보조화면 창에 출력되는 정보에 대응하는 채널 전환을 전환용 채널을 통해 수행하며, 상기 채널 전환이 완료된 후에 상기 전환용 채널을 통해 수신되는 방송 프로그램을 주화면 창에 출력함으로써 채널 전환 과정에서 발생하는 방송 끊김 현상을 방지한다.

    다운로드 수신제한 시스템에서 터널 맥 획득 방법 및 그를 수행하는 장치
    13.
    发明授权
    다운로드 수신제한 시스템에서 터널 맥 획득 방법 및 그를 수행하는 장치 有权
    在条件访问系统中获取隧道MAC的装置和方法

    公开(公告)号:KR101041197B1

    公开(公告)日:2011-06-14

    申请号:KR1020090102185

    申请日:2009-10-27

    Abstract: 본 발명은 다운로드 수신 제한 시스템 셋톱박스에서 Tunnel Mac을 획득하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 데이터를 다운로드하기 위한 셋톱박스 초기화시, 유료 데이터의 암호 및 가입자 권한과 관련된 정보인 카스 클라이언트 다운로드 정보 및 SI(Service Information) 데이터를 수신하기 위한 SI 터널 맥 정보를 포함하는 디카스 터널 데이터를 수신하기 위한 디카스 터널 맥이 전달되면, 디카스 터널을 설정하는 과정과, 상기 디카스 터널로 상기 디카스 터널 데이터를 수신하는 과정과, 상기 수신된 디카스 터널 데이터에 포함된 SI 터널 맥 정보를 확인하여, SI 터널을 설정하는 과정을 포함한다.
    DCAS tunnel Mac, SM Boot Loader, Host, eCM

    모자이크 EPG 시스템에서의 디지털 방송 채널 전환 시간축소 장치 및 그 방법
    14.
    发明公开
    모자이크 EPG 시스템에서의 디지털 방송 채널 전환 시간축소 장치 및 그 방법 无效
    用MOSAIC EPG系统降低数字广播中的ZAPPING时间的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020070002722A

    公开(公告)日:2007-01-05

    申请号:KR1020050058373

    申请日:2005-06-30

    Abstract: An apparatus and a method for reducing channel changing time of a digital broadcasting in a mosaic EPG(Electronic Program Guide) system are provided to display a mosaic EPG image with low resolution during the channel change processing time. When a conversion event to a mosaic EPG mode is generated in order to search a channel(S410), a digital broadcasting receiving system provides a mosaic image on a TV screen. When a user moves a cursor to one of plural sub pictures(S420), the video/audio signals are outputted from the channel corresponding to the sub picture(S430). When a desired channel is discovered, the corresponding channel is selected(S440). Whenever the channel is changed by the cursor, the video/audio signals are outputted.

    Abstract translation: 提供一种用于减少马赛克EPG(电子节目指南)系统中的数字广播的频道改变时间的装置和方法,以在频道改变处理时间期间显示具有低分辨率的马赛克EPG图像。 当生成用于搜索频道的马赛克EPG模式的转换事件(S410)时,数字广播接收系统在电视屏幕上提供马赛克图像。 当用户将光标移动到多个子画面中的一个时(S420)时,从对应于副画面的频道输出视频/音频信号(S430)。 当发现期望的频道时,选择相应的频道(S440)。 每当通过光标改变通道时,输出视频/音频信号。

    디지털 방송 시스템의 모드 처리 방법 및 그 장치
    15.
    发明公开
    디지털 방송 시스템의 모드 처리 방법 및 그 장치 有权
    数字广播系统中模式处理的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020060119548A

    公开(公告)日:2006-11-24

    申请号:KR1020050042664

    申请日:2005-05-20

    Abstract: A method and an apparatus for processing a mode of a digital broadcasting system are provided to allow a user to easily confirm a changed mode when the user controls the state of a set top box or a digital TV set using a remote controller. A set top box of a digital broadcasting system includes a mode processor(260). The mode processor changes an active mode to a standby mode and provides a video signal or an audio signal corresponding to power state information of a digital TV to the digital TV when receiving a wireless remote control signal in the active mode. The set top box includes a storage unit(220) for storing a video signal, a caption signal and an audio signal corresponding to the power state information of the digital TV, a cable interface(210) for receiving a cable broadcasting signal of a channel selected by a user, and a broadcasting processor for decoding the cable broadcasting signal while providing the video signal and the audio signal to the digital TV. When the broadcasting processor receives a remote control signal from a remote controller, the broadcasting processor is converted to the standby mode and transmits at least one of the signals stored in the storage unit to the digital TV.

    Abstract translation: 提供了一种用于处理数字广播系统的模式的方法和装置,用于当用户使用遥控器控制机顶盒或数字电视机的状态时,用户容易地确认改变的模式。 数字广播系统的机顶盒包括模式处理器(260)。 模式处理器将活动模式改变为待机模式,并且当在活动模式中接收到无线遥控信号时,向数字TV提供与数字TV的功率状态信息相对应的视频信号或音频信号。 机顶盒包括用于存储视频信号的存储单元(220),与数字TV的功率状态信息对应的字幕信号和音频信号,用于接收频道的有线广播信号的电缆接口(210) 以及广播处理器,用于在向数字TV提供视频信号和音频信号的同时对有线广播信号进行解码。 当广播处理器从遥控器接收遥控信号时,将广播处理器转换为待机模式,并将存储在存储单元中的至少一个信号发送到数字TV。

    ATM 스위칭 시스템의 단일 스위치 소자 및 버퍼 문턱값 결정 방법
    16.
    发明授权
    ATM 스위칭 시스템의 단일 스위치 소자 및 버퍼 문턱값 결정 방법 失效
    ATM交换系统的单开关和缓冲器

    公开(公告)号:KR100247022B1

    公开(公告)日:2000-04-01

    申请号:KR1019970024144

    申请日:1997-06-11

    Abstract: 본 발명은 입력 버퍼링 방식을 사용하는 ATM 스위칭 시스템에서 스위치 소자내의 공유 버퍼 점유 정보를 이용하여, 역방향 압력 신호를 만드는 스위치 소자의 입력 포트별 문턱값을 제어하는 문턱값 제어에 관한 것이다. 종래의 ATM 스위칭 시스템에서는 사용하는 입력 포트별 문턱값을 정적으로 할당되어 있다.
    그러나, 스위칭 시스템의 입력 포트로 입력되는 셀의 입력 분포가 스위칭 시스템의 초기 설정시에 고려되었던 것과 달라지게되면 특정 입력 포트로 셀이 급증하여 해당 입력 포트에 대한 역방향 압력 신호가 발생하게 되므로, 현재 스위치 소자내에 버퍼가 존재한다고 할지라도, 그 입력 포트로는 셀을 받아들일 수가 없기 때문에 셀의 수율이 나빠지게 되었다.
    따라서, 본 발명에서는 상기와 같은 단점을 개선하기 위하여, 스위치 소자내의 각 입력 포트에 대한 공유버퍼점유정보로부터 입력포트별로 허용되는 문턱값을 계산하는 버퍼 문턱값 제어기를 구비하고, 셀의 집중도에 따라 상기 입력포트별로 상기 문턱값의 증감을 행하도록 하는 비동기전송모드 스위칭 시스템을 제안한다.

    비동기 전송 모드 교환기에서 시그널링 프로토콜 처리 장치 및방법
    17.
    发明公开
    비동기 전송 모드 교환기에서 시그널링 프로토콜 처리 장치 및방법 失效
    用于在异步传输模式交换中用信令协议处理的设备和方法

    公开(公告)号:KR1019990061239A

    公开(公告)日:1999-07-26

    申请号:KR1019970081495

    申请日:1997-12-31

    Inventor: 신재진

    Abstract: 본 발명은 비동기 전송 모드 교환기에서 시그널링 프로토콜 처리 장치 및 방법에 있어서, 상위 계층으로부터의 대기중인 메시지 정보 때문에 하위 계층으로부터의 대기중인 메시지 정보가 처리되지 못하거나 또는 그 반대의 경우에 의해 발생하는 타임 아웃 문제를 해결하기 위하여, 각 프로토콜 처리부가 상위 계층으로부터 메시지 정보를 받는 큐와 하위 계층으로부터 메시지 정보를 받는 큐를 분리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 비동기 전송 모드 교환기에서 시그널링 프로토콜 처리 장치의 바람직한 일 실시예는, 호 처리부, 호/연결 제어 프로토콜 처리부, 시그널링 비동기 전송 모드 계층 프로토콜 처리부와 비동기 전송 모드 적응 계층 타입5 처리부를 포함하는 비동기 전송 모드 교환기에 있어서, 각 계층의 프로토콜 처리부의 입력이 상위 계층 프로토콜 처리부로주터의 메시지들을 일시적으로 저장하는 기능을 하는 버퍼와 하위 계층 프로토콜 처리부로부터의 메시지들을 일시적으로 저장하는 기능을 하는 버퍼를 포함한다.
    본 발명에 따른 비동기 전송 모드 교환기에서 시그널링 프로토콜 처리 방법의 바람직한 일 실시예는, 호 처리부, 호/연결 제어 프로토콜 처리부, 시그널링 비동기 전송 모드 계층 프로토콜 처리부와 비동기 전송 모드 적응 계층 타입5 처리부를 포함하는 비동기 전송 모드 교환기에 있어서, 상기 호 처리부는 시스템 제어 및 관리부로부터의 메시지 정보를 발생 순서대로 일시 저정하는 상위 계층 착신 큐와 호/연결 제어 프로토콜 처리부로부터의 메시지 정보를 발생 순서대로 일시 저장하는 하위 계층 착신 큐에 저장된 메시지 정보를 메시지 정보 처리 알고리즘에 따라 처리하고, 처리된 결과로 발생되는 메시지 정보가 시스템 제어 및 관리부로 보내질 것이면 상위 계층 발신 큐에 저장하고, 그 메시지 정보가 호/연결 제어 프로토콜 처리부는 보내질 것� ��면 하위 계층 발신 큐에 저장하는 것을 포함한다.
    본 발명은, 상위 계층으로부터의 대기중인 메시지 정보 때문에 하위 계층으로부터의 대기중인 메시지 정보가 처리되지 못하거나 또는 하위 계층으로부터의 대기중인 메시지 정보 때문에 상위 계층으로부터의 대기중은 메시지 정보가 처리되지 못하는 경우에 발생하는 타임아웃 문제를 해결하여 비동기 전송 모드 교환기의 시그널링 프로토콜 처리 능력을 증가시키는 효과가 있다.

    반도체 소자 제조 방법
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101762661B1

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:KR1020100091504

    申请日:2010-09-17

    Abstract: 에어갭(air gap)을갖는반도체소자제조방법이개시되어있다. 기판상에서로이격된복수개의예비게이트구조물들의측벽및 예비게이트구조물들사이의기판상면에캐핑막패턴을형성하고, 예비게이트구조물들의상면및 캐핑막패턴의상면상에차단막을형성한다. 차단막및 캐핑막패턴일부를제거하여예비게이트구조물들의측벽일부에캐핑막패턴을형성한다. 캐핑막패턴에의해커버되지않은예비게이트구조물들부분상에도전막을형성하고, 예비게이트구조물들과반응시켜게이트구조물들을형성한다. 게이트구조물들사이에에어갭을갖는제2 절연막을기판상에형성한다. 에어갭 형성에의해, 기생커패시턴스를감소시킬수 있고, 에어갭도충분히크고균일하게형성될수 있다.

    3차원 반도체 장치 및 그 제조 방법
    20.
    发明公开
    3차원 반도체 장치 및 그 제조 방법 有权
    三维半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020120035468A

    公开(公告)日:2012-04-16

    申请号:KR1020100096989

    申请日:2010-10-05

    Abstract: PURPOSE: A three-dimensional semiconductor device and a manufacturing method are provided to prevent the sidewall of a semiconductor pattern from being damaged in a process of eliminating a sacrificing layer by forming an insulating spacer serving as an etch stopping layer on an inner wall of an opening part. CONSTITUTION: A laminated film structure(100) including a first film(120) and a second film(130) is formed on a substrate(10). An opening part(105) passing through the laminated film structure is formed. A sidewall of the second film exposed by the opening part is horizontally etched and an undercut region(UC) is formed. An insulating spacer(155) locally arranged on the undercut region is formed. A semiconductor film(160) is formed on an outcome on which the insulating spacer is formed.

    Abstract translation: 目的:提供三维半导体器件和制造方法,以在通过在绝缘层的内壁上形成用作蚀刻停止层的绝缘间隔来消除牺牲层的过程中损害半导体图案的侧壁 开头部分。 构成:在基板(10)上形成包括第一膜(120)和第二膜(130)的层叠膜结构(100)。 形成通过层叠膜结构的开口部(105)。 由开口部暴露的第二膜的侧壁被水平蚀刻,形成底切区域(UC)。 形成局部地布置在底切区域上的绝缘间隔物(155)。 在其上形成绝缘间隔物的结果上形成半导体膜(160)。

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