Abstract:
휴대용 정보 기기가 개시된다. 본 발명의 휴대용 정보 기기는 휴대용 정보 기기 본체, 휴대용 정보 기기 본체에 마련되어 화상을 표시하는 디스플레이부와, 커서 또는 포인터의 조작 신호를 입력하기 위한 것으로, 디스플레이부의 시야를 가리지 않도록 디스플레이부와 별개의 위치에 마련되며, 디스플레이부의 배면 방향으로 노출되는 제1 위치 및 디스플레이부의 전면 방향으로 노출되는 제2 위치를 선택할 수 있도록 휴대용 정보 기기 본체에 대하여 회동 가능하게 마련되는 터치 패드부를 구비한다.
Abstract:
A method of forming a ferroelectric film and a method of manufacturing a ferroelectric capacitor using the same are provided to improve data retention characteristics of the ferroelectric film and to improve leakage current characteristics by preventing the generation of an unwanted impurity layer on the ferroelectric film due to the reaction of a residual gas on an oxygen gas using a second inert gas. At least one out of a predetermined gas containing oxygen or a first inert gas and a carrier gas are supplied into a reaction chamber in a predetermined flow rate range of 2.5 : 1.0 to 3.5 : 1.0(S20). A substrate is loaded into the reaction chamber and a ferroelectric film is formed on the substrate(S30). A second inert gas is supplied onto the ferroelectric layer while the substrate is unloaded from the reaction chamber(S40).
Abstract:
A CMP method and methods for manufacturing a ferroelectric capacitor and a ferroelectric memory device using the same are provided to polish stably a polishing object layer without the damage of a ferroelectric pattern using a slurry containing ceria. A ferroelectric pattern(11) containing a ferroelectric material with Ti and O2 is formed. The ferroelectric pattern is used as a polishing stop pattern. A polish object layer is formed on the ferroelectric pattern. The polishing object layer is performed with a CMP process by using a slurry containing ceria until the ferroelectric pattern is exposed to the outside.
Abstract:
향상된 특성을 갖는 강유전체 구조물, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 반도체 장치 및 그 제조 방법이 개시된다. 이리듐을 포함하는 하부 전극을 형성한 다음, 하부 전극 상에 유기 금속 화학 기상 증착 공정으로 형성된 PZT를 포함하는 강유전체층을 형성한다. 강유전체층 상에 구리, 납 또는 비스무스가 약 2∼5 원자량%의 농도로 도핑된 스트론튬 루테늄 산화물 및 이리듐을 포함하는 상부 전극을 형성한다. 스트론튬 루테늄 산화물 등의 금속 산화물을 상부 전극 및/또는 하부 전극에 적용함으로써, 상부 및 하부 전극 사이에 위치하는 강유전체층의 유전 특성을 크게 개선할 수 있으며, 상부 전극 및 하부 전극을 형성하는 동안 야기되는 공정상의 파티클 문제를 해결할 수 있다. 또한, 유기 금속 화학 기상 증착 공정으로 제조된 PZT를 포함하는 강유전체층의 상부 및/또는 하부에 이리듐 및 스트론튬 루테늄 산화물을 포함하는 복합 구조의 전극을 형성함으로써, 이러한 강유전체 구조물을 포함하는 반도체 소자를 약 1.6V 이하의 낮은 전압에서도 충분한 신뢰성으로 구동시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은, 컴퓨터본체를 갖는 컴퓨터장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 컴퓨터장치는, 오디오신호를 외부로 출력하기 위한 제1보조출력수단과; 상기 오디오신호를 외부로 출력하기 위한 제2보조출력수단을 포함하고; 상기 컴퓨터본체는, 상기 컴퓨터본체 내에 마련되며 상기 오디오신호를 외부로 출력하기 위한 주출력수단과, 상기 제1보조출력수단과 상기 제2보조출력수단이 선택적으로 장착되며, 상기 제1보조출력수단과 상기 제2보조출력수단 중 어느 것이 장착되었는지를 감지하는 장착부와, 상기 장착부에 의해 상기 제1보조출력수단이 장착된 것으로 감지된 경우 상기 오디오신호를 상기 주출력수단 및 상기 제1보조출력수단을 통해 동시에 출력하도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 보조스피커를 장착하는 경우 메인스피커의 출력을 그대로 유지하여 음량을 보강할 수 있다.