Abstract:
PURPOSE: Provided is a method for producing a polymer fuel cell containing an electrolyte membrane having superior properties and a large surface area by an ion aid reaction method. CONSTITUTION: The method includes (a) irradiating an ion beam having an energy of 0.1 to 2.0 keV at 1 x 10¬13 to 1 x 10¬19 ions/cm¬2 to a polymer electrolyte membrane(11) to form concavo-convex on the surface of the polymer electrolyte membrane; (b) preparing a catalytic slurry in the presence of a solvent and a thickener; (c) coating the catalyst on both sides of the polymer electrolyte membrane to an anode electrode(12) and a cathode electrode(13); and (d) disposing a diffusion layer(14) made of carbon fibers to the outside of the produced electrodes(12,13).
Abstract:
본 발명은 이온빔을 이용하여 친수성으로 표면개질된 고분자 멤브레인 및 그 표면 개질방법에 관한 것으로, 고분자 멤브레인 표면으로, 반응성 기체를 유입시키면서 2000 eV 이하의 에너지를 가진 이온빔을 조사시킴으로써 상기 이온빔으로 고분자 멤브레인의 표면을 활성화시키면서 활성화된 고분자 멤브레인의 표면과 상기 반응성 기체를 반응시켜 그 표면에 친수성기를 형성시키는 고분자 멤브레인의 표면개질 방법과 그에 의해 표면개질된 고분자 멤브레인을 제공한다.
Abstract:
PURPOSE: A deposition method is provided which manufactures a transparent conductive thin film, an IO (Indium oxide) or ITO (Indium tin oxide) thin film at a low substrate temperature, particularly at an ordinary temperature using a treatment method which damages neither transparency of the polymer substrate nor chemical stability of the surface reforming layer of the polymer substrate. CONSTITUTION: The method for depositing an IO (Indium oxide) or ITO (Indium tin oxide) thin film on a polymer substrate comprises the processes of reforming the surface of the polymer substrate by irradiating an oxygen or argon ion beam to a polymer substrate under the vacuum and oxygen atmosphere in a constant accelerated energy; and depositing an IO or ITO thin film as irradiating oxygen, argon or a mixed ion beam of oxygen and argon onto the surface reformed polymer substrate under vacuum. The method for depositing an IO (Indium oxide) or ITO (Indium tin oxide) thin film on a polymer substrate comprises the processes of reforming the surface of the polymer substrate by irradiating an oxygen or argon ion beam to a polymer substrate under the vacuum in a constant accelerated energy; and depositing an IO or ITO thin film on the surface reformed polymer substrate by generating ion beams from a cold hallow cathode ion source using an ionic gas under vacuum and sputtering the polymer substrate to a target material consisting of In2O3, or In2O3 and SnO2.
Abstract translation:目的:提供一种沉积方法,其在低衬底温度下,特别是在常温下使用不损害透明性的处理方法制造透明导电薄膜,IO(氧化铟)或ITO(氧化铟锡)薄膜) 聚合物基材和聚合物基材的表面改性层的化学稳定性。 构成:在聚合物基材上沉积IO(氧化铟)或ITO(氧化铟锡)薄膜的方法包括通过在氧气或氩离子束的下面将氧或氩离子束照射到聚合物基底上来重整聚合物基材的表面的方法 真空和氧气氛中恒定加速能量; 以及在真空下将氧,氩或氧和氩的混合离子束照射到表面改性的聚合物基底上来沉积IO或ITO薄膜。 用于在聚合物基材上沉积IO(氧化铟)或ITO(氧化铟锡)薄膜的方法包括通过在真空下将氧或氩离子束照射到聚合物基底上来重整聚合物基材的表面的方法 恒定加速能量; 以及通过在真空下使用离子气体从冷的正极阴离子源产生离子束并将聚合物衬底溅射到由In 2 O 3或In 2 O 3和SnO 2组成的靶材上,在表面改性的聚合物衬底上沉积IO或ITO薄膜。
Abstract:
PURPOSE: A surface modifying method of a nitride materials and a surface modified nitride materials are provided to increase a contact force and to decrease a contact angle of a surface of a polymer by injecting directly a reaction gas into the surface of the polymer while irradiating an ion particle having a high energy into the surface of the polymer. CONSTITUTION: A surface modifying method is performed by injecting directly a reaction gas into a surface of a polymer while irradiating an ion particle having a high energy into the surface of the polymer. The reaction gas is selected form oxygen, nitrogen, hydrogen, ammonium, CO2 or a mixed gas thereof. An injecting amount of the gas is 1¯8 ml/min. The ion particle having the high energy is argon, oxygen, air, krypton or a mixed compound thereof. The energy of the ion particle is 0.5¯2.5 keV. An irradiating amount of the ion particle is 10¬14¯5x10¬16 ions/cm¬2.
Abstract:
PURPOSE: An apparatus for surface modification of polymer, metal and ceramic materials using ion beam is provided, which is capable of controlling the amount of a reaction gas and the energy of an ion beam, modifying the surface of a powder material and implementing a continuous surface modification of a material. CONSTITUTION: In case irradiating an ion beam onto the surface of a metallic thin film, oxide thin film or organic material (200) having curved surfaces, an attraction force or repulsion force between the ions from the ion gun (210) and the surfaces of the material is generated by applying a voltage from a voltage source (220) to the material to be surface-modified simultaneously while Ar+ ions from the ion gun are accelerated, so that a charge distortion may be obtained to modify the composition and shapes of the surface of the material.
Abstract:
PURPOSE: A polymer contact lens having an improved hydrophilic property is provided which a part of carbon of the activated surface is reacted with a reactive gas after activating the surface by irradiating less than 2,000 eV ion beam. CONSTITUTION: A surface modifying apparatus comprises a gas inlet part(20) introducing a reactive gas into a vacuum chamber(10), an ion source(30) producing ion beam, a substrate holder(40) and a vacuum pump(50). The polymer contact lens is built in the substrate holder(40) and the reactive gas is introduced into the vacuum chamber(10) through the gas inlet part(20). Ion beam having less than 2,000 eV is irradiated to activate the surface of the polymer contact lens from the ion source(30). The surface of the lens is reacted with the reactive gas to produce a hydrophilic group on the surface.
Abstract:
본 발명은, 냉동 공조용 금속 재료 기판의 고유한 성질에는 영향을 주지 않으면서 에이징 특성이 뛰어난 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹이 그 표면에 형성된 냉동 공조용 금속 재료를 제공하기 위하여, 불포화 지방족 탄화수소 단량체(monomer) 가스, 질소 가스, 분위기 가스 및 냉동 공조용 금속 재료의 표면으로부터 증발한 물질로부터 기인하는 양(+) 또는 음(-) 입자 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마로부터 형성되는 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹으로, 상기 그룹은 CH, OH, NH, CN, CC 및 COC로 이루어지는 군으로부터 선택되는 둘 이상의 결합에 의해 형성되고, 상기 그룹내의 탄소, 질소 및 산소의 원자수 비율은 탄소 100에 대하여, 10 내지 30의 질소, 10 내지 30의 산소인 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹을 그 표� �에 가지는 냉동, 공조용 금속 재료 및 DC 방전과 HF 방전의 플라즈마를 이용한 상기 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹을 이용한 상기 금속 표면 개질 방법을 제공한다.
Abstract:
본 발명은 이온 클러스터 빔을 이용한 반도체 소자용 구리박막 제조방법에 관한 것으로, 증착할 구리를 도가니에 채우는 단계와, 기판을 증착위치에 올려 놓은 후, 증착조건의 진공을 유지하는 단계와, 구리가 채워진 도가니를 도가니 필라멘트와 도가니 밤바드먼트를 조절함으로써 클러스터 이온 빔을 형성시키는 단계와, 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 조절하여 이온 빔의 일부분을 이온화시키는 단계와, 가속 전압을 조절하여 이온화된 클러스터 이온을 가속시켜 가속된 클러스터이온 빔과 중성 클러스터 이온 빔을 기판에 증착시키는 단계의 순서로 진행하는 구리박막 제조방법을 제공하여 반도체의 필요조건인 스텝 커버리지를 만족할 뿐 아니라 구리박막의 결정성이 우수해지고, 제조한 박막의 박막저항이 구리 본래의저항에 가까운 값을 갖 효과가 있으며, 기판과의 접착력이 우수하여 고품위 반도체 소자용으로 사용시 우수한 특성을 가지도록 한 것이다.
Abstract:
니켈이트리아안정화지르코니아복합체(Ni/YSZ)에귀금속(M)이도핑된것이되, 니켈이트리아안정화지르코니아(YSZ)의표면의니켈사이트(Ni sites)에귀금속(M)과니켈의합금(M-Ni alloy)이형성된건식개질촉매및 이를귀금속/글루코스를이용하여제조하는방법, 상기촉매를이용하여건식개질을수행하는방법이제공된다. 이에따르면, Ni/YSZ 촉매와대비하여훨씬높은건식개질활성을보여줄수 있다. 또한, 열화가억제또는방지되어장기성능도향상할수 있다. 또한, 상기제조방법은 Ni/YSZ 표면의 Ni 사이트에서의귀금속-Ni의합금화를수행하는데유용하고, 또한제조공정을단순화할수 있어대량생산에적합하다.