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公开(公告)号：KR100769547B1
公开(公告)日：2007-10-23
申请号：KR1020060044063
申请日：2006-05-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: 본 발명은 복수의 유전체층을 갖는 유전체 박막을 포함하는 메모리 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 메모리 소자는 하부 전극; 상기 하부 전극 상에 형성되며, 전하 트랩 밀도가 상이한 복수의 유전체층을 갖는 적어도 하나의 유전체 박막; 및 상기 유전체 박막 상에 형성되는 상부 전극을 포함한다. 이에 따라, 공정이 단순하여 제조가 용이하고, 구조가 단순하여 고집적화 실현이 가능한 메모리 소자를 제공할 수 있다.
메모리, 유전체, 공간전하 제한전류 (space-charge-limited-current, SCLC)-
公开(公告)号：KR101239137B1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：KR1020090031275
申请日：2009-04-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N27/4145
Abstract: 바이오 센서 리더기 및 바이오 센서 리더기 시스템이 제공된다. 전극들 사이에서, 감지 물질들이 고정된 감지 채널을 포함하는 FET형 바이오 센서가 장착되어, 분석 용액에 포함된 타겟 물질과 상기 감지 물질의 결합에 의한 상기 감지 채널의 전기전도도 변화를 분석하는 바이오 센서 리더기에 있어서, FET형 바이오 센서의 장착에 의해, 고정된 저항값을 갖는 기준 저항과 감지 채널을 전기적으로 연결시키며, 기준 저항에서의 기준 전압 강하와 감지 채널에서의 채널 전압 강하를 측정하여, 기준 전압 강하와 채널 전압 강하로부터 감지 채널의 전기전도도 변화를 분석하는 측정 모듈 및 전기전도도 변화에 따른 타겟 물질의 분석 결과를 출력하는 출력 모듈을 포함한다.
FET형 바이오 센서, 기준 저항, 채널 저항-
公开(公告)号：KR101191232B1
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：KR1020090027383
申请日：2009-03-31
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/50 , G01N33/72 , G01N33/563
Abstract: 바이오 센서 및 이를 이용한 바이오 분자 검출 방법이 제공된다. 바이오 센서는 기판 상에 배치되며, 프로브 분자들과 특이 결합하는 검출용 타겟 분자들이 표면에 고정된 감지부 및 프로브 분자들을 포함하는 분석 용액을 검출용 타겟 분자들로 제공하는 유체 채널을 포함하되, 프로브 분자는 타겟 분자 및 검출용 타겟 분자들과 특이 결합한다.
바이오 센서, 하전되지 않은 분자, 저분자-
公开(公告)号：KR101056385B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020080098141
申请日：2008-10-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/53 , G01N33/48 , G01N27/26 , G01N27/327
CPC classification number: G01N27/4145 , G01N27/4146
Abstract: 본 발명에 따른 검출 소자는 유체 내의 특정 작용기에 반응하는 반응 물질층, 절연층의 상하에 위치한 제1 전극과 제2 전극을 포함하며, 상기 반응 물질층 하부에 상기 제1 전극이 형성되어 있는 검출 커패시터, 그리고 상기 검출 커패시터의 상기 제1 전극과 연결되어 있는 게이트 전극을 포함하는 전계 효과 트랜지스터를 포함하며, 상기 반응 물질층은 표면적을 넓히기 위한 전도성 입체 구조 형태를 가진다. 따라서 전하집적부의 전도성 입체구조물의 표면적을 넓히고 유체의 흐름에 대해 입체적으로 형성함으로써, 커패시터 공유 효과 및 게이트에 인가되는 전압 변화량을 극대화함으로써 훨씬 높은 고민감도를 가질 수 있다.
검출 소자, 바이오 센서, 전계효과 트랜지스터Abstract translation: 根据本发明的感测元件包括响应于流体中的特定官能团的反应材料层，位于绝缘层上方和下方的第一电极和第二电极， 电容器和耦合到感测电容器的第一电极的栅电极，其中反应材料层具有导电构造形状以扩大表面积。 因此，通过增大电荷积聚部分的导电三维结构的表面积并且通过相对于流体的流动形成三维形状，电容器共享效应和施加到栅极的电压变化量被最大化。
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公开(公告)号：KR100980738B1
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：KR1020080099614
申请日：2008-10-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L29/0665 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , G01N27/127 , H01L29/0673 , H01L29/66439 , H01L29/772 , Y10S977/959
Abstract: 반도체 나노와이어 센서 소자의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 반도체 나노 와이어 센서 소자가 제공된다. 반도체 나노와이어 센서 소자의 제조 방법은 제 1 도전형 단결정 반도체 기판을 준비하고, 제 1 도전형 단결정 반도체 기판에, 라인 형태의 제 1 도전형 단결정 패턴을 형성하고, 제 1 도전형 단결정 패턴의 양측벽에, 제 2 도전형의 에피택시얼 패턴들을 형성하고, 제 2 도전형 에피택시얼 패턴들의 양끝단에, 소오스 및 드레인 전극을 형성하는 것을 포함한다.
나노와이어, 리소그래피 공정, 에피택시얼 성장-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100030335A
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：KR1020080089237
申请日：2008-09-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N33/54373 , B01L3/502761 , B01L2200/143 , B01L2300/0636 , B01L2300/0645 , B01L2300/0867 , B01L2300/163 , B01L2400/0415 , G01N27/4145
Abstract: PURPOSE: A device and a method for detecting biomolecules are provided to detect biomolecules with high-ionic strength by measuring a current change flowing in a channel area of a Field Effect Transistor. CONSTITUTION: A device for detecting biomolecules comprises a FET(12), a micro fluid supply unit(14), and a biomolecules detecting unit(18). The FET comprises a substrate, a source, a drain electrode, a channel area, and a probe molecule. The micro fluid supply unit selectively supplies reaction solution of high-ionic density to the channel area of the FET. The biomolecules detecting unit measures a first current value of the channel area of the FET in which the probe molecule is fixed. The biomolecules detecting unit measures a second current value of the channel area of the FET in which the probe molecule and a target molecule are fixed. And the biomolecules detecting unit detects the target molecule.
Abstract translation: 目的：提供一种用于检测生物分子的装置和方法，通过测量在场效应晶体管的通道区域中流动的电流变化来检测具有高离子强度的生物分子。 构成：用于检测生物分子的装置包括FET（12），微流体供应单元（14）和生物分子检测单元（18）。 FET包括衬底，源极，漏极，沟道区和探针分子。 微流体供应单元选择性地将高离子密度的反应溶液提供给FET的通道区域。 生物分子检测单元测量探针分子固定的FET的沟道面积的第一电流值。 生物分子检测单元测量探针分子和靶分子固定的FET的沟道面积的第二电流值。 并且生物分子检测单元检测靶分子。
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公开(公告)号：KR100940524B1
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020070129581
申请日：2007-12-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: G01N27/4145 , H01L29/66818 , H01L29/7853
Abstract: 본 발명은 반도체 기술을 이용한 FET(Field-effect transistor) 센서에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 FET 센서의 민감도를 개선시키기 위하여 핀 구조를 이용하는 FET 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 FET 센서를 제조하는 방법은, 반도체 기판을 제공하는 단계와, 상기 반도체 기판상에 핀 구조를 갖는 센서 구조체를 형성하는 단계와, 상기 센서 구조체에 전기적 오믹 콘택을 위한 이온을 주입하고 금속 전극을 증착하는 단계와, 표적물질과 특이성 결합하는 감지물질을 상기 핀 구조의 양쪽 측벽에 고정화시키는 단계와, 상기 표적물질이 상기 핀 구조를 지나가도록 하는 통로를 상기 센서 구조체 위에 형성하는 단계를 포함한다.
반도체 FET 센서, 핀 구조, 바이오 센서, SOI 기판, 벌크 기판-
18.发明授权
公开(公告)号：KR100900955B1
公开(公告)日：2009-06-08
申请号：KR1020070082205
申请日：2007-08-16
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N33/5308 , C12Q1/6825 , G01N33/54313 , G01N33/54393 , Y10T436/143333
Abstract: 본 발명은 자기조립된 분자의 커버리지 분석용 기판 및 나노 입자를 이용하여 벌크 고체 표면이나 고체 표면 또는 고체 표면에 패턴된 나노선, 나노채널에 자기조립된 분자의 커버리지를 분석하는 방법에 관한 것으로서, 나노입자를 자기조립된 분자에 포함된 작용기와 결합시켜서 상기 기판에 도입시킨 후 표면에 존재하는 금 나노 입자 개수를 분석하여 자기조립된 분자의 특정 작용기 유무와 반응 정도 및 이를 이용한 자기조립된 분자의 커버리지를 분석하는 방법을 제공한다.
기판 표면, 나노선, 나노 패턴, DNA 분자, 아민기, 나노입자-
公开(公告)号：KR1020080050958A
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：KR1020070066125
申请日：2007-07-02
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N33/5438 , G01N27/4145
Abstract: A bio sensor is provided to reduce the production costs by using inexpensive bulk silicon substrate instead of expensive SOI(silicon on insulator) substrate, and improve sensing ability by electrically separating the substrate and sensing region through junction insulation. A bio sensor comprises: a first conduction type of semiconductor substrate(100) such as bulk silicon substrate; second conduction type of doped layers(110) formed on the semiconductor substrate; an electrode(120) formed in the upper parts of both ends of the doped layer; and probe molecules(130) immobilized to the doped layers, wherein the semiconductor substrate and doped layer are electronically separated through the junction insulation; and the doped layers have different immobilized probe molecules. A method for fabricating the bio sensor comprises the steps of: forming a second conduction type of doped layer on the first conduction type of semiconductor substrate; forming an electrode in the upper parts of both ends of the doped layer; and immobilizing the probe molecules to the doped layers. Further, the doped layers are epitaxial layers.
Abstract translation: 提供生物传感器以通过使用廉价的体硅衬底而不是昂贵的SOI（绝缘体上硅）衬底来降低生产成本，并且通过通过结绝缘电隔离衬底和感测区域来提高感测能力。 生物传感器包括：第一导电类型的半导体衬底（100），例如体硅衬底; 形成在半导体衬底上的第二导电类型的掺杂层（110）; 形成在所述掺杂层的两端的上部的电极（120） 和固定在掺杂层上的探针分子（130），其中半导体衬底和掺杂层通过结绝缘电子分离; 并且掺杂层具有不同的固定化探针分子。 制造生物传感器的方法包括以下步骤：在第一导电类型的半导体衬底上形成第二导电类型的掺杂层; 在掺杂层的两端的上部形成电极; 并将探针分子固定到掺杂层。 此外，掺杂层是外延层。
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公开(公告)号：KR100802182B1
公开(公告)日：2008-02-12
申请号：KR1020060094385
申请日：2006-09-27
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B01D46/0012 , B01D39/12 , B01D46/444 , B01D46/546 , B01D53/02 , B01D2239/025 , B01D2253/304 , B01D2257/70 , B01D2258/0216 , B01J20/02 , B01J20/0233 , B01J20/0237 , B01J20/024 , B01J20/0244 , B01J20/0248 , B01J20/0251 , B01J20/0259 , B01J20/0262 , B01J20/0266 , B01J20/0285 , B01J20/0288 , B01J20/04 , B01J20/06 , B01J20/20 , B01J20/28007 , B01J20/3204 , B01J20/3223 , B01J20/3234 , B01J20/3236 , B01J20/3295 , B01J20/3416 , B01J20/3433 , B01J20/3458 , B01J20/3483 , B01J2220/62 , B82Y30/00 , Y10T156/10
Abstract: A nanowire filter is provided to filter simultaneously harmful materials presenting in gas and particle state, a method for manufacturing the nanowire filter is provided, a filtering device comprising the nanowire filter is provided, and a method for removing adsorption materials is provided to improve efficiency of the nanowire filter by separating stably adsorption materials adsorbed onto the nanowire filter. A nanowire filter includes: a supporting member; and a plurality of nanowires which are supported to the supporting member and arranged in a crystallized state. The nanowire filter additionally includes a molecule type material for filling a portion of an empty space formed between the nanowires. A filtering device(10) comprises: a nanowire filter(11); and a body(12) into which the filter is fitted and which has an inlet for guiding a fluid flown in to the filter and an outlet for discharging the fluid filtered through the filter to the outside. The filtering device further comprises: a heating member(13) formed in the form of a net and installed in front or rear of the filter to heat the filter. The body has a heating member(14) formed in the form of a wire and wound along an outer peripheral surface thereof to heat the filter, a pressure generating member installed therein to cause a pressure difference between the front side and the rear side of the filter, and a plurality of passages formed between the inlet and the outlet to move the fluid. The passages have at least one of the filter installed therein. The passages have at least one valve installed therein to control a movement of the fluid.
Abstract translation: 提供了一种纳米线过滤器，用于同时过滤呈气体和颗粒状态的有害物质，提供了一种制造纳米线过滤器的方法，提供了一种包含纳米线过滤器的过滤装置，提供了一种除去吸附材料的方法，以提高效率 纳米线过滤器通过分离吸附到纳米线过滤器上的稳定吸附材料。 纳米线过滤器包括：支撑构件; 以及多个纳米线，其被支撑在支撑构件上并且以结晶状态布置。 纳米线过滤器还包括用于填充形成在纳米线之间的空白空间的一部分的分子型材料。 过滤装置（10）包括：纳米线过滤器（11）; 以及安装过滤器的主体（12），并且具有用于引导流过过滤器的流体的入口和用于将通过过滤器过滤的流体排出到外部的出口。 过滤装置还包括：加热构件（13），其形成为网状并安装在过滤器的前面或后面以加热过滤器。 主体具有形成为线材的加热构件（14），沿着其外周面卷绕以加热过滤器，安装在其中的压力产生构件使得压力产生构件的前侧和后侧之间的压力差 过滤器和形成在入口和出口之间的多个通道以移动流体。 通道具有安装在其中的至少一个过滤器。 通道具有安装在其中的至少一个阀，以控制流体的运动。
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