나노 와이어 배열 소자 제조방법
    11.
    发明公开
    나노 와이어 배열 소자 제조방법 失效
    纳米线阵列的制造方法

    公开(公告)号:KR1020080052250A

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:KR1020070061440

    申请日:2007-06-22

    CPC classification number: H01L29/0669 B82Y10/00 H01L21/02603

    Abstract: A method for fabricating a nano wire array device is provided to embody a large-scale nano wire array device even when a nano wire is not parallel with an electrode line by selectively etching a nano wore on a substrate and by patterning an electrode line in a manner that the electrode becomes vertical to the electrode line to improve a probability that the electrode is connected to the nano wire. A nano wire solution including a nano wire(50) is deposited on a substrate. A first etch region of a stripe type is formed on the substrate to pattern the nano wire. A drain electrode line(100) and a source electrode line(200) are formed at both sides of the patterned nano wire, parallel with each other. One end of a plurality of drain electrodes(110) is connected to the drain electrode line wherein the drain electrode comes in contact with at least one nano wire. One end of a plurality of source electrodes(210) is connected to the source electrode line wherein the source electrode comes in contact with the nano wire in contact with the drain electrode. A second etch region is formed between the pair of drain electrodes and source electrodes so that the pair of drain electrodes and source electrodes don't contact each other electrically. An insulation layer(800) is formed on the substrate. A gate electrode(300) is formed on the insulation layer, disposed between the source and drain electrodes in contact with the nano wire.

    Abstract translation: 提供一种制造纳米线阵列器件的方法,即使当纳米线不与电极线并联时,通过选择性地蚀刻衬底上的纳米穿孔并且通过将电极线图案化,以体现大规模纳米线阵列器件 电极变得垂直于电极线的方式,以提高电极连接到纳米线的可能性。 包括纳米线(50)的纳米线溶液沉积在基底上。 在衬底上形成条纹型的第一蚀刻区域以对纳米线进行图案化。 在图案化的纳米线的两侧,彼此平行地形成漏电极线(100)和源电极线(200)。 多个漏电极(110)的一端连接到漏极电极线,其中漏电极与至少一个纳米线接触。 多个源极(210)的一端与源电极线连接,源极与漏极接触的纳米线接触。 在一对漏电极和源电极之间形成第二蚀刻区域,使得该对漏电极和源极电极不彼此接触。 在基板上形成绝缘层(800)。 栅电极(300)形成在绝缘层上,设置在与纳米线接触的源极和漏极之间。

    전자 후각 소자 및 그 제조방법
    13.
    发明公开
    전자 후각 소자 및 그 제조방법 审中-实审
    电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150098066A

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:KR1020140019170

    申请日:2014-02-19

    Abstract: 본 발명은 전자 후각 소자의 구조를 제공한다. 이 전자 후각 소자는 리세스 영역이 제공된 제 1 영역 그리고 상기 제 1 영역의 외곽을 점유하는 제 2 영역을 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 1 멤브레인, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 발열저항체, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되어 상기 발열저항체를 덮으며 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 2 멤브레인, 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 감지전극, 상기 제 2 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 발열저항체 패드 및 감지전극 패드, 및 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 교대로 제공되는 가스흡수체 및 가스센서를 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供一种电子嗅觉装置的结构。 电子嗅觉装置包括:具有第一区域和第二区域的基板,第一区域具有凹部区域和用于占据第一区域外部的第二区域; 设置在所述基板上的第一膜,其中,多个孔连接到所述凹部区域; 设置在所述第一膜上的加热电阻器,其中多个孔连接到所述凹部区域; 设置在第一膜上以覆盖加热电阻器的第二膜,其中多个孔连接到凹部区域; 设置在所述第一区域内的所述第二膜上的检测电极; 加热电阻焊盘和设置在第二区域内的第二膜上的检测电极焊盘; 以及以交替方式设置在第一区域内的第二膜上的气体吸收器和气体传感器。

    MEMS형 전기화학식 가스 센서
    14.
    发明公开
    MEMS형 전기화학식 가스 센서 有权
    微电子机械系统类型电化学气体传感器

    公开(公告)号:KR1020130034337A

    公开(公告)日:2013-04-05

    申请号:KR1020110098298

    申请日:2011-09-28

    CPC classification number: G01N27/18 G01N33/004 G01N27/407

    Abstract: PURPOSE: An MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) type electrochemical gas sensor is provided to stably operate the electrochemical gas sensor using self-charging power under various condition which an energy converting device operates. CONSTITUTION: An MEMS type electrochemical gas sensor comprises a substrate(110), a first insulating film(120), a heat resisting body(130), a reference electrode(150), a solid electrolyte(160), and a sensing electrode(170). A lower central portion of the substrate is etched at a predetermined thickness. The first insulating film is formed on the top of the substrate. The heat resisting body is formed on the top of the first insulating film. A second insulating film is formed on the top of the heat resisting body. The reference electrode is formed in an upper central portion of the second insulating film. The solid electrolyte is formed on the top of the reference electrode. The sensing electrode is formed on the top of the solid electrolyte.

    Abstract translation: 目的:提供一种MEMS(微电子机械系统)型电化学气体传感器,用于在能量转换装置工作的各种条件下使用自充电电力稳定地操作电化学气体传感器。 构造:MEMS型电化学气体传感器包括基板(110),第一绝缘膜(120),耐热体(130),参比电极(150),固体电解质(160)和感测电极 170)。 以预定厚度蚀刻衬底的下部中心部分。 第一绝缘膜形成在基板的顶部。 耐热体形成在第一绝缘膜的顶部上。 第二绝缘膜形成在耐热体的顶部。 参考电极形成在第二绝缘膜的上中心部分。 固体电解质形成在参比电极的顶部。 感测电极形成在固体电解质的顶部。

    가변 축전층이 내장된 능동형 압전 에너지변환 소자 및 그 제조 방법
    15.
    发明公开
    가변 축전층이 내장된 능동형 압전 에너지변환 소자 및 그 제조 방법 有权
    具有嵌入式可变电容层的活性压电式收发器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020110067374A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:KR1020090123946

    申请日:2009-12-14

    CPC classification number: H02N2/186 H01L41/1136 H02N2/188 Y10T29/42

    Abstract: PURPOSE: An active piezoelectric energy harvester having an embedded variable capacitance layer and a manufacturing method thereof are provided to adjust resonant frequency in real time by controlling a DC voltage applied to a built-in variable charge layer. CONSTITUTION: In an active piezoelectric energy harvester having an embedded variable capacitance layer and a manufacturing method thereof, a piezoelectric layer(210) generates voltage through vibration or pressure. A pinned layer(230) fixes the piezoelectric layer. A variable charge layer(250) is fixed to the one side of the pinned layer. Variable charge layer electrodes(260a,260b) a weight(270) are formed on the top and bottom of the variable charge layer. Adhesive layers(L1,L2,L3) are formed between the weight layer and the pinned layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种具有嵌入式可变电容层的有源压电能量收集器及其制造方法,通过控制施加到内置可变电荷层的直流电压来实时调节谐振频率。 构成:在具有嵌入式可变电容层的有源压电能量收集器及其制造方法中,压电层(210)通过振动或压力产生电压。 被钉扎层(230)固定压电层。 可变电荷层(250)固定在钉扎层的一侧。 可变电荷层电极(260a,260b)在可变电荷层的顶部和底部形成重量(270)。 粘合剂层(L1,L2,L3)形成在重量层和钉扎层之间。

    마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서
    17.
    发明授权
    마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 有权
    마이크로히터를이용한금속산화물나노소재의선택적증착방법및이를이용한가스센서

    公开(公告)号:KR100932522B1

    公开(公告)日:2009-12-17

    申请号:KR1020070126490

    申请日:2007-12-07

    Abstract: A method for selectively depositing a metal oxide nano material and a gas sensor using the same are provided to improve crystallization through a rapid thermal process by using a micro heater and to remove the moisture attached on the surface of a nano line. A substrate removing a central region is provided. A membrane(20) is formed in an upper part of the substrate. A micro-heater electrode(40) is formed in the upper part of the membrane of the central region. An insulating layer(30) covering the micro heater is formed in the upper part of the membrane. A sensing electrode(50) is formed in the upper part of the insulating layer of the micro heater electrode part. The metal oxide nano material is deposited in an upper part of the sensing electrode.

    Abstract translation: 提供了一种用于选择性地沉积金属氧化物纳米材料的方法和使用该方法的气体传感器,以通过使用微型加热器的快速热处理来改善结晶并且去除附着在纳米线表面上的水分。 提供去除中心区域的衬底。 膜(20)形成在基板的上部。 微型加热器电极(40)形成在中心区域的膜的上部。 覆盖微型加热器的绝缘层(30)形成在膜的上部。 感测电极(50)形成在微型加热器电极部分的绝缘层的上部。 金属氧化物纳米材料沉积在感测电极的上部。

    환경 정보 수집 장치 및 이를 이용한 실시간 환경 모니터링방법
    18.
    发明公开
    환경 정보 수집 장치 및 이를 이용한 실시간 환경 모니터링방법 有权
    用于收集环境数据的装置和使用该实例的实时监测环境数据的方法

    公开(公告)号:KR1020090024532A

    公开(公告)日:2009-03-09

    申请号:KR1020070089596

    申请日:2007-09-04

    Abstract: An environment information collecting apparatus for providing a specialized environmental information for a user and a real-time environment monitoring method using the same are provided to measure an environment state in a place without the restriction of the location. A receiver(101) receives an environmental information collect command from outside. A head set controller(103) interprets an environmental information collect command received from the receiver. The head set controller commands so that the environmental sensor station performs the interpreted environmental information collect command. The head set controller classifies the audio signal received from the outside from the environmental information collect command. A transmission unit(102) transmits environment information data collected by the environmental sensor.

    Abstract translation: 提供一种用于为用户提供专用环境信息的环境信息收集装置和使用该环境信息的实时环境监测方法,以在不受该位置限制的情况下测量一个环境状态。 接收器(101)从外部接收环境信息收集命令。 头设定控制器(103)解释从接收器接收的环境信息收集命令。 头套控制器命令使得环境传感器站执行解释的环境信息收集命令。 头套控制器从环境信息收集命令对从外部接收的音频信号进行分类。 发送单元(102)发送由环境传感器收集的环境信息数据。

    편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학현미경 시스템
    19.
    发明授权
    편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학현미경 시스템 有权
    使用偏振器的光学显微镜系统和用于纳米线器件的快速傅立叶变换方法

    公开(公告)号:KR100848033B1

    公开(公告)日:2008-07-24

    申请号:KR1020070061460

    申请日:2007-06-22

    Abstract: 본 발명은 나노선을 포함하는 전자 소자를 제작함에 있어, 기존의 광학 현미경 시스템을 이용할 수 있도록 회전 편광판과 고속푸리에변환을 사용하여 나노선 감지용 광학 현미경 시스템을 고안한 것에 관한 것이다. 본 광학 현미경 시스템은 광원을 생성하여 상기 생성된 광원을 나노선 소자용 시료에 제공하는 광원부; 상기 광원부에서 제공된 상기 광원의 경로 상에 마련되며 상기 나노선의 광학적 이방성을 이용하여 상기 나노선 소자용 시료에 입사되는 광원의 편광 방향을 변조시키는 회전 편광판; 상기 회전 편광판에서 편광되어 상기 나노선 소자용 시료에 입사된 광원을 이용하여 상기 나노선 영상을 검출하는 광학 현미경; 상기 광학 현미경의 일 영역에 마련되어 상기 광학 현미경에서 검출된 상기 나노선 영상을 촬영하여 저장하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라를 통해 저장된 상기 나노선 영상을 고속 푸리에 변환 처리하는 데이터 처리부를 포함한다. 이에 따라, 나노선의 광학적 이방성으로 인하여 나노선에 입사하는 빛의 편광 방향에 따라 반사광의 세기가 변화한다. 일정한 주기로 회전하는 편광판을 통과한 광원을 나노선에 입사한 후 반사광 이미지를 일정 시간 간격으로 얻은 후 영상을 각 픽셀별로 고속푸리에변환 처리함으로 나노미터 선폭을 갖는 나노선의 영상을 뚜렷하게 얻을 수 있다.
    나노선, 나노소자, 편광, 이방성, 광학 현미경, 고속푸리에변환, 고분해능

    전기화학식 가스센서 칩 및 그의 제조 방법
    20.
    发明公开
    전기화학식 가스센서 칩 및 그의 제조 방법 有权
    电化学气体传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020080050951A

    公开(公告)日:2008-06-10

    申请号:KR1020070059266

    申请日:2007-06-18

    Abstract: An electrochemical gas sensor chip adapted to a portable terminal and a method for preparing the sensor chip to make a compact sensor without using a liquid such as liquid electrolyte are provided. An electrochemical gas sensor chip(100) includes a substrate(101), an electrode, a solid electrolyte layer(106), and a hydrophobic micro-porous membrane(107). The electrode is patterned on the substrate. The solid electrolyte layer having proton conductivity is formed on the substrate with the patterned electrode. The hydrophobic micro-porous membrane is formed on the solid electrolyte layer. The substrate is formed of one selected from a group consisting of silicon, polycarbonate, quartz, GaAs, InP, and glass. In the patterned electrode, a working electrode(103), a counter electrode(104), and a reference electrode(105) are formed on the same surface of the substrate.

    Abstract translation: 提供了适用于便携式终端的电化学气体传感器芯片以及用于制备传感器芯片以制造紧凑型传感器而不使用诸如液体电解质的液体的方法。 电化学气体传感器芯片(100)包括基板(101),电极,固体电解质层(106)和疏水性微孔膜(107)。 电极在基板上图案化。 具有质子传导性的固体电解质层在图案化电极的基板上形成。 疏水性微孔膜形成在固体电解质层上。 基板由选自硅,聚碳酸酯,石英,GaAs,InP和玻璃中的一种形成。 在图案化电极中,在基板的同一表面上形成工作电极(103),对电极(104)和参考电极(105)。

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