Abstract:
A method for fabricating a nano wire array device is provided to embody a large-scale nano wire array device even when a nano wire is not parallel with an electrode line by selectively etching a nano wore on a substrate and by patterning an electrode line in a manner that the electrode becomes vertical to the electrode line to improve a probability that the electrode is connected to the nano wire. A nano wire solution including a nano wire(50) is deposited on a substrate. A first etch region of a stripe type is formed on the substrate to pattern the nano wire. A drain electrode line(100) and a source electrode line(200) are formed at both sides of the patterned nano wire, parallel with each other. One end of a plurality of drain electrodes(110) is connected to the drain electrode line wherein the drain electrode comes in contact with at least one nano wire. One end of a plurality of source electrodes(210) is connected to the source electrode line wherein the source electrode comes in contact with the nano wire in contact with the drain electrode. A second etch region is formed between the pair of drain electrodes and source electrodes so that the pair of drain electrodes and source electrodes don't contact each other electrically. An insulation layer(800) is formed on the substrate. A gate electrode(300) is formed on the insulation layer, disposed between the source and drain electrodes in contact with the nano wire.
Abstract:
본 발명은 전자 후각 소자의 구조를 제공한다. 이 전자 후각 소자는 리세스 영역이 제공된 제 1 영역 그리고 상기 제 1 영역의 외곽을 점유하는 제 2 영역을 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 1 멤브레인, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되며, 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 발열저항체, 상기 제 1 멤브레인 상에 제공되어 상기 발열저항체를 덮으며 상기 리세스 영역과 연결되는 다수의 구멍을 가지는 제 2 멤브레인, 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 감지전극, 상기 제 2 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 제공되는 발열저항체 패드 및 감지전극 패드, 및 상기 제 1 영역 내의 상기 제 2 멤브레인 상에 교대로 제공되는 가스흡수체 및 가스센서를 포함할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: An MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) type electrochemical gas sensor is provided to stably operate the electrochemical gas sensor using self-charging power under various condition which an energy converting device operates. CONSTITUTION: An MEMS type electrochemical gas sensor comprises a substrate(110), a first insulating film(120), a heat resisting body(130), a reference electrode(150), a solid electrolyte(160), and a sensing electrode(170). A lower central portion of the substrate is etched at a predetermined thickness. The first insulating film is formed on the top of the substrate. The heat resisting body is formed on the top of the first insulating film. A second insulating film is formed on the top of the heat resisting body. The reference electrode is formed in an upper central portion of the second insulating film. The solid electrolyte is formed on the top of the reference electrode. The sensing electrode is formed on the top of the solid electrolyte.
Abstract:
PURPOSE: An active piezoelectric energy harvester having an embedded variable capacitance layer and a manufacturing method thereof are provided to adjust resonant frequency in real time by controlling a DC voltage applied to a built-in variable charge layer. CONSTITUTION: In an active piezoelectric energy harvester having an embedded variable capacitance layer and a manufacturing method thereof, a piezoelectric layer(210) generates voltage through vibration or pressure. A pinned layer(230) fixes the piezoelectric layer. A variable charge layer(250) is fixed to the one side of the pinned layer. Variable charge layer electrodes(260a,260b) a weight(270) are formed on the top and bottom of the variable charge layer. Adhesive layers(L1,L2,L3) are formed between the weight layer and the pinned layer.
Abstract:
본 발명은 외부로부터 환경 정보 수집 명령을 수신하는 수신부, 수신부로부터 수신한 환경 정보 수집 명령을 해석하여 환경 센서에 명령하고, 외부로부터 수신되는 오디오 신호를 환경 정보 수집 명령과 구분하는 헤드셋 제어부, 헤드셋 제어부로부터 수신된 환경 정보 수집 명령에 상응하여 환경 정보를 수집하는 환경 센서 및 환경 센서에서 수집된 환경 정보 데이터를 발송하는 송신부를 포함하는 환경 정보 수집 장치를 제공할 수 있다. 환경 센서, 헤드 셋, 이동통신 단말기
Abstract:
A method for selectively depositing a metal oxide nano material and a gas sensor using the same are provided to improve crystallization through a rapid thermal process by using a micro heater and to remove the moisture attached on the surface of a nano line. A substrate removing a central region is provided. A membrane(20) is formed in an upper part of the substrate. A micro-heater electrode(40) is formed in the upper part of the membrane of the central region. An insulating layer(30) covering the micro heater is formed in the upper part of the membrane. A sensing electrode(50) is formed in the upper part of the insulating layer of the micro heater electrode part. The metal oxide nano material is deposited in an upper part of the sensing electrode.
Abstract:
An environment information collecting apparatus for providing a specialized environmental information for a user and a real-time environment monitoring method using the same are provided to measure an environment state in a place without the restriction of the location. A receiver(101) receives an environmental information collect command from outside. A head set controller(103) interprets an environmental information collect command received from the receiver. The head set controller commands so that the environmental sensor station performs the interpreted environmental information collect command. The head set controller classifies the audio signal received from the outside from the environmental information collect command. A transmission unit(102) transmits environment information data collected by the environmental sensor.
Abstract:
본 발명은 나노선을 포함하는 전자 소자를 제작함에 있어, 기존의 광학 현미경 시스템을 이용할 수 있도록 회전 편광판과 고속푸리에변환을 사용하여 나노선 감지용 광학 현미경 시스템을 고안한 것에 관한 것이다. 본 광학 현미경 시스템은 광원을 생성하여 상기 생성된 광원을 나노선 소자용 시료에 제공하는 광원부; 상기 광원부에서 제공된 상기 광원의 경로 상에 마련되며 상기 나노선의 광학적 이방성을 이용하여 상기 나노선 소자용 시료에 입사되는 광원의 편광 방향을 변조시키는 회전 편광판; 상기 회전 편광판에서 편광되어 상기 나노선 소자용 시료에 입사된 광원을 이용하여 상기 나노선 영상을 검출하는 광학 현미경; 상기 광학 현미경의 일 영역에 마련되어 상기 광학 현미경에서 검출된 상기 나노선 영상을 촬영하여 저장하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라를 통해 저장된 상기 나노선 영상을 고속 푸리에 변환 처리하는 데이터 처리부를 포함한다. 이에 따라, 나노선의 광학적 이방성으로 인하여 나노선에 입사하는 빛의 편광 방향에 따라 반사광의 세기가 변화한다. 일정한 주기로 회전하는 편광판을 통과한 광원을 나노선에 입사한 후 반사광 이미지를 일정 시간 간격으로 얻은 후 영상을 각 픽셀별로 고속푸리에변환 처리함으로 나노미터 선폭을 갖는 나노선의 영상을 뚜렷하게 얻을 수 있다. 나노선, 나노소자, 편광, 이방성, 광학 현미경, 고속푸리에변환, 고분해능
Abstract:
An electrochemical gas sensor chip adapted to a portable terminal and a method for preparing the sensor chip to make a compact sensor without using a liquid such as liquid electrolyte are provided. An electrochemical gas sensor chip(100) includes a substrate(101), an electrode, a solid electrolyte layer(106), and a hydrophobic micro-porous membrane(107). The electrode is patterned on the substrate. The solid electrolyte layer having proton conductivity is formed on the substrate with the patterned electrode. The hydrophobic micro-porous membrane is formed on the solid electrolyte layer. The substrate is formed of one selected from a group consisting of silicon, polycarbonate, quartz, GaAs, InP, and glass. In the patterned electrode, a working electrode(103), a counter electrode(104), and a reference electrode(105) are formed on the same surface of the substrate.