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公开(公告)号：KR1020170098356A
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：KR1020160019712
申请日：2016-02-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01H11/06
Abstract: 그의내부에형성된음향챔버를갖는기판, 상기기판상에배치되고, 평면적으로상기음향챔버와오버랩되는하부전극, 상기기판상에배치되고, 상기하부전극의측면을둘러싸는제 1 절연층, 상기하부전극및 상기제 1 절연층의상부(over)에배치되고, 평면적으로상기하부전극의전부및 상기제 1 절연층의적어도일부와중첩되는진동판, 및상기제 1 절연층상에배치되어상기진동판을지지하는복수의지지로드들을포함하는음향센서를제공하되, 상기진동판은그의내부를관통하는배기홀을갖고, 상기복수의지지로드들은평면적관점에서, 상기배기홀보다상기진동판의중심에인접한제 1 지지로드, 및상기배기홀보다상기진동판의중심으로부터더 멀리에위치하는제 2 지지로드를포함할수 있다.
Abstract translation: 设置在所述基板上并且在平面图中与所述声学室重叠的下电极，设置在所述基板上并围绕所述下电极的侧表面的第一绝缘层， 第一绝缘层的电极和上部在俯视图中叠置在整个下电极和第一绝缘层的至少一部分上，振动板设置在第一绝缘层上， 其中隔膜具有贯穿其内部的排气孔，并且多个支撑杆布置成使得从平面图看，隔膜具有比排气孔更靠近振动板的中心的第一支撑构件， 并且第二支撑杆比排气孔更远离隔膜的中心。
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公开(公告)号：KR101519033B1
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：KR1020110068818
申请日：2011-07-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/26
Abstract: 본 발명은 다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 중앙 영역이 일정 두께만큼 식각된 기판; 상기 기판의 중앙 영역 상부에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 제2 멤브레인; 상기 제2 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 발열 저항체; 상기 발열 저항체를 포함하는 제2 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 제1 멤브레인; 상기 제1 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 감지 전극; 및 상기 감지 전극 상에 형성되는 감지 소재를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101311528B1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020090122964
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H02J7/35 , G05F1/67 , Y02E10/566 , Y02E10/58
Abstract: 본 발명은 태양전지 전력추출 장치와 방법에 관한 것으로 태양전지로부터 최대의 전력을 얻기 위한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지의 최대전력 추출 장치는 태양에너지로부터 전력을 생성하는 태양전지, 태양전지로부터 최대전력이 추출되도록 하기 위한 펄스 폭 변조신호를 발생하는 최대전력추출부, 및 펄스 폭 변조신호에 따라 태양전지로부터 발생하는 전류의 크기를 조절하는 DC-DC 변환부를 포함한다.
태양전지, 최대전력, 추출-
公开(公告)号：KR101300749B1
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020090123740
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R17/02 , G01N29/2406 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 본 발명은 콘덴서형 음향 센서에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 음향 센서는, 기판의 상부가 식각되어 형성된 음향 챔버; 상기 기판 상에 형성되며 상기 음향 챔버가 노출되도록 중앙 영역이 식각된 절연막; 상기 절연막 상에 형성된 진동판; 상기 절연막 상에서 상기 진동판을 지지하는 자가 유지 지지대; 및 상기 진동판 상에 형성된 고정 전극을 포함한다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 지지대 및 진동판의 좌우 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하여 음압 응답 특성을 향상시킬 수 있고, 기판의 후면 공정을 생략할 수 있어 공정이 간단해지고 수율이 향상되는 이점이 있다.
음향 센서, 자가 유지 지지대-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101243869B1
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：KR1020090086271
申请日：2009-09-14
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H02J7/0068 , H01M10/46 , Y10T307/25 , Y10T307/305 , Y10T307/391 , Y10T307/414
Abstract: 본 발명의 에너지 및 전력관리 집적회로장치는 각각의 에너지 변환 소스로부터 에너지를 수확하여 전기 에너지로 변환하는 복수의 에너지 변환 소자; 에너지 변환 소자로부터 변환되는 전기 에너지를 안정화된 에너지로 변환하는 에너지관리 집적회로; 에너지관리 집적회로에 의해 변환된 에너지 또는 전력을 저장하는 저장소자; 저장소자에 저장된 전력을 입력 받아 분배하는 전력관리 집적회로; 및 전력관리 집적회로에 의해 분배된 전력을 소비하는 복수의 출력 부하소자를 포함한다. 따라서, 친환경적으로 에너지를 수확하여 배터리 교체 없이 에너지를 반영구적으로 사용할 수 있다.
에너지 전력 관리 집적 기술, 에너지관리 기술, 전력관리 기술, 에너지 수확및 변환, 자가충전전원 모듈-
公开(公告)号：KR101152222B1
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020100024621
申请日：2010-03-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L35/00
Abstract: 본발명은플렉서블열전소자, 이를포함하는무선센서노드및 그제조방법에관한것으로서, 플렉서블열전소자에있어서, 교대로배열된복수의 P형반도체및 복수의 N형반도체; 이웃한상기 P형반도체와상기 N형반도체의상면을연결하는상부금속; 이웃한상기 P형반도체와상기 N형반도체의하면을연결하되, 상기상부금속과는엇갈려배열되는하부금속; 상기복수의 P형반도체중 적어도하나의 P형반도체와연결된 P형금속; 및상기복수의 N형반도체중 적어도하나의 N형반도체와연결된 N형금속을포함한다.
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公开(公告)号：KR101065292B1
公开(公告)日：2011-09-19
申请号：KR1020080131632
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B81C1/00182 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/0285 , H04R3/00 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2201/003
Abstract: 본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 상부 공정만을 통해 멤스 마이크로폰을 제작함으로써, 기판의 상하부 공정을 모두 이용하던 종래에 비하여 제조 공정을 단순화할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 간단하고 용이한 제조 공정에 의해 제조 공정에서 발생되는 불량을 최소화하여 제조수율을 증대시킬 수 있으며, 멤스 마이크로폰의 내구성을 높여 외부환경에 대한 시스템의 안정성을 높일 수 있다.
멤스 마이크로폰, 후방음향챔버, 후방음향챔버 벤트홀, 하부전극-
公开(公告)号：KR1020110067235A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123740
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R17/02 , G01N29/2406 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor and manufacturing method thereof are provided to remove a process of processing the rear surface of a substrate, thereby simplifying manufacturing processes. CONSTITUTION: An acoustic sensor comprises a substrate(200), an acoustic chamber(202), an insulation film(210), an acoustic chamber open pattern(212), a vibration plate(220), a self maintaining support stand(225), a fixing electrode(230), an etching window(234), and an etching hole(235). The insulation film is formed on the substrate. The vibration plate supported by the self maintaining support stand is formed on the insulation film. The self maintaining support stand suppresses the horizontal movement of the vibration plate and the self maintaining support stand. The vibration plate is integrated with the self maintaining support stand. A conductive layer included in the vibration plate forms a pair of upper/lower electrodes with the fixing electrode. The fixing electrode has a shape which surrounds the vibration plate.
Abstract translation: 目的：提供一种声传感器及其制造方法，以去除处理衬底后表面的工艺，从而简化了制造工艺。 声学传感器包括基底（200），声学室（202），绝缘膜（210），声学室开放图案（212），振动板（220），自维持支撑架（225） ，固定电极（230），蚀刻窗（234）和蚀刻孔（235）。 绝缘膜形成在基板上。 由保持支撑架支撑的振动板形成在绝缘膜上。 自保持支撑台抑制振动板和自维撑支架的水平运动。 振动板与自我维护支架相结合。 包含在振动板中的导电层与固定电极形成一对上/下电极。 固定电极具有围绕振动板的形状。
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公开(公告)号：KR1020100073051A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131632
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B81C1/00182 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/0285 , H04R3/00 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2201/003
Abstract: PURPOSE: A MEMS microphone and a manufacturing method thereof are provided to enhance the stability of a system about the external environment by enhancing the durability of the MEMS microphone. CONSTITUTION: A rear sound chamber(210a) is formed inside a substrate(210). A bottom electrode(230) is formed on the top of substrate. The bottom electrode comprises a first and a second rear sound chamber vent hole(240b) for forming the rear sound chamber. A vibration plate(270) is formed by leaving the bottom electrode and predetermined vacuum space in interval. The vibration plate comprises a side hole(270b) for removing a sacrificial layer for forming the vacuum space. The rear sound chamber has the cross section of the well shape. A bottom insulating layer(220) is formed between the bottom electrode and substrate.
Abstract translation: 目的：提供MEMS麦克风及其制造方法，以通过增强MEMS麦克风的耐用性来增强系统对于外部环境的稳定性。 构成：在衬底（210）内形成后声室（210a）。 底部电极（230）形成在衬底的顶部。 底部电极包括用于形成后声音室的第一和第二后声腔通气孔（240b）。 通过在间隔中留下底部电极和预定的真空空间来形成振动板（270）。 振动板包括用于去除用于形成真空空间的牺牲层的侧孔（270b）。 后音箱具有形状良好的横截面。 在底部电极和衬底之间形成底部绝缘层（220）。
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