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公开(公告)号：WO2017018834A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：PCT/KR2016/008303
申请日：2016-07-28
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C16/305 , C01B17/20 , C01G39/06 , C01P2002/82 , C01P2002/85 , C01P2004/03 , C01P2004/04 , C23C16/0227 , C23C16/45527 , C23C16/45553 , C23C16/45555 , C23C16/52 , C30B25/16 , C30B25/186 , C30B29/46 , C30B29/64
Abstract: 본 발명은 2차원의 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 고균일 2차원 전이금속 디칼코지나이드 박막의 제조 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 500℃ 이하의 저온 조건에서 고균일 2차원 전이금속 디칼코지나이드 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 二维过渡金属二硫属元素化合物的制造方法技术领域本发明涉及一种二维过渡金属二硫属元素化合物的制造方法，具体涉及高均匀性二维过渡金属二硫属元素化薄膜的制造方法，更具体地说， 二维过渡金属二硫属元素薄膜在500℃以下的低温条件下。
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公开(公告)号：WO2010024629A2
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/KR2009/004852
申请日：2009-08-28
IPC: H01L31/042
CPC classification number: H01L31/035218 , H01L31/18
Abstract: 본 발명은 넓은 파장 대역의 광 흡수가 가능하며, 높은 전자-정공 쌍 분리 효율을 가져 높은 광전 변환 효율을 갖는 반도체 기반 태양광 소자 및 그 제조방법을 제공하는 것이며, 상세하게 본 발명에 따른 태양광 소자의 제조방법은 a) p형 또는 n형 반도체 기판 상부에, 상기 반도체 기판과 동일 형의 불순물이 도핑된 매질 내부에 반도체 양자점이 형성된 반도체 양자점 박막을 형성하는 단계; b) 부분 에칭을 통하여 상기 반도체 양자점 박막을 관통하는 기공 어레이를 형성하는 단계; c) 상기 기공 어레이가 형성된 반도체 양자점 박막에 상기 반도체 기판과 상보적 불순물이 도핑된 반도체를 증착하는 단계; d) 상기 상보적 불순물이 도핑된 반도체 상에 투명전도막 및 상부전극을 순차적으로 형성하고, 상기 반도체 기판 하부에 하부전극을 형성하는 단계;를 포함하여 수행되는 특징이 있다.
Abstract translation:
本发明使得能够在宽的波长带的光的吸收，和高电子是提供一种基于半导体的太阳能电池，并具有高光电转换效率带来空穴对分离效率的制造方法中， 具体地，根据本发明的一个）的p型或n型半导体衬底中的光电器件的制造方法中，形成了半导体量子点形成于其中的薄膜半导体量子点具有相同的掺杂类型介质中的半导体衬底的杂质 。 b）通过局部蚀刻形成穿过半导体量子点薄膜的孔阵列; c）在其上形成孔阵列的半导体量子点薄膜中，在半导体衬底上沉积掺杂有互补杂质的半导体; 和d）在掺杂有互补杂质的半导体上依次形成透明导电膜和上电极，并在半导体衬底下方形成下电极。
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公开(公告)号：KR101746560B1
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020170024523
申请日：2017-02-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명에따른다층저항-열전식온도측정웨이퍼센서는, 웨이퍼상에형성된기준저항; 상기웨이퍼상에서상기기준저항의적어도일단으로부터연장되어형성되고, 제1물질로이루어지며, 1개이상의측정접점을포함하는제1열전부; 상기웨이퍼상에서상기제1열전부와는다른층에위치하고, 상기제1물질과는다른제2물질로이루어지며, 2개이상의열전배선을포함하는제2열전부; 상기제1열전부와제2열전부사이에배치되는층간절연층; 및상기층간절연층을관통하여, 상기기준저항의적어도일단및 상기 1개이상의측정접점각각을상기 2개이상의열전배선일단에각각연결시키는도전플러그;를포함하는것을특징으로하여, 상기제1열전부와제2열전부가서로다른층에형성되기때문에, 서로방해를받지않고열전부를웨이퍼전면적에고르게설치할수 있으며, 이를통해웨이퍼전면적에대해서온도균일도를세밀하게파악할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的层电阻式热电测温晶片传感器包括：形成在晶片上的参考电阻器; 第一热所有这些都形成为从参考电阻中的至少一个延伸，由所述晶片上的第一材料制成，包括至少一个测量接触; 位于从第一热遍布晶片，其中，所述第一材料由不同的第二材料的不同的另一层，所述第二列中的所有包含至少两个导热布线; 设置在第一行和第二行之间的层间绝缘层; 和贯通层间绝缘层穿过，每个连接至少一次的导电插塞，并且每个在所述至少两个热电导线端部的基准电阻器的至少一个测量接触点的;并且其特征在于它包括一个在所述第一列 所有相互第二导热部形成在不同的层中，可以全线晶片份均匀地安装热而不会彼此干扰，因此能够完全通过它精细地确定用于晶片的温度均匀性。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020160064273A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020140167086
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L35/34
CPC classification number: H01L35/34 , Y10S257/93
Abstract: 본실시예에따른 HPPD를이용한나노구조체형열전박막형성장치는플라즈마가스주입구가일측에배치되며, 에너지부가유닛이설치된플라즈마토치유닛; 상기플라즈마토치유닛에결합되며, 적어도하나이상의반응체주입부와나노입자가배출되는노즐을가지는반응체주입유닛; 내부가진공을유지하도록일단에펌프유닛이설치되는디포지션챔버; 및상기디포지션챔버의상기노즐을마주보는면에배치되는기판;을포함하며, 상기디포지션챔버내부의압력은 100 내지 1000Pa로형성되어, 상기노즐에서가속된나노입자의관성력에의해상기기판표면에서물리적증착과고온으로활성화된기상반응체에의한화학적증착이동시에진행될수 있다.
Abstract translation: 根据本实施例，提供了一种使用超音速等离子体粒子沉积（HPPD）制造纳米结构热电膜的装置，其包括：等离子体炬单元，其具有设置在一侧的等离子体气体入口并设置有能量加入单元; 反应物注入单元，其耦合到所述等离子体触摸单元并且具有至少一个反应物注入部分和喷嘴，通过所述喷嘴释放纳米颗粒; 沉积室，其一端安装有泵单元以保持真空; 以及设置在面向沉积室的喷嘴的表面上的基板。 因此，沉积室的内部压力在100至1000Pa的范围内，使得由于加速纳米颗粒的惯性力而导致的基板表面上的物理沉积以及由于化学气相反应物在 可以同时进行高温。
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公开(公告)号：KR101323885B1
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020120047540
申请日：2012-05-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A device and a method for measuring the vapor pressure of a precursor are provided to easily measure a vapor pressure by successively measuring the boiling point of the pressure while changing pressure. CONSTITUTION: A heater is formed at both sides of a sample vessel (300). A pressure measurement part (400) is connected to the sample vessel. A chemical vapor deposition chamber and the sample vessel are connected by a fluid path. A pressure control part (200) is connected to the chemical vapor deposition chamber. A first valve and a second valve are installed on the fluid path.
Abstract translation: 目的：提供用于测量前体蒸汽压力的装置和方法，以通过在改变压力的同时连续测量压力的沸点来容易地测量蒸气压。 构成：在样品容器（300）的两侧形成加热器。 压力测量部件（400）连接到样品容器。 化学气相沉积室和样品容器通过流体路径连接。 压力控制部分（200）连接到化学气相沉积室。 第一阀和第二阀安装在流体通道上。
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公开(公告)号：KR1020130057055A
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020110122787
申请日：2011-11-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A device with a baffle for analyzing a particle and a by-product generated in a vacuum process is provided to easily analyze by accurately measuring the intensity of beams caused by fraction and scattering, thereby improving the efficiency and the reliability of an analysis. CONSTITUTION: A device with a baffle(80) for analyzing a particle and a by-product generated in a vacuum process comprises an exhaust pipe(11), a body(20), an incident window(30), a projecting window(40), an optical beam generator(50), and a detector(60). The particle and the by-product generated inside a vacuum chamber are exhausted to the inside of the exhaust pipe. The body coupled with the exhaust pipe forms a predetermined portion of the exhaust pipe and includes a first hollow unit and second hollow unit in which a predetermined portion of the circumference is hollow. Beams are incident into the inside of the incident window through the first hollow unit. Beams are refracted or scattered by the particle and by-product. The refracted or scattered beams are projected to the outside of the projecting window through the second hollow unit. The optical beam generator makes beams incident into the incident window. The detector detects the beams has incident into the inside of the exhaust pipe by the optical beam generator and projected.
Abstract translation: 目的：提供一种用于分析真空过程中产生的颗粒和副产物的挡板的装置，以通过精确测量由分数和散射引起的光束的强度来容易地分析，从而提高分析的效率和可靠性。 构成：具有用于分析真空过程中产生的颗粒和副产物的挡板（80）的装置包括排气管（11），主体（20），入射窗（30），投影窗（40） ），光束发生器（50）和检测器（60）。 在真空室内产生的颗粒和副产物排出到排气管的内部。 与排气管结合的本体形成排气管的预定部分，并且包括第一中空单元和第二中空单元，其中圆周的预定部分是中空的。 光束通过第一个中空单元入射到入射窗的内部。 光束被颗粒和副产物折射或分散。 折射或散射的光束通过第二中空单元投影到投影窗的外部。 光束发生器使光束入射到入射窗中。 检测器检测到光束通过光束发生器入射到排气管的内部并被投影。
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公开(公告)号：KR101128847B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020090123704
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B01D45/12 , B01D53/24 , H01L21/203
Abstract: 본 발명은 입자 포획 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 용기에 직접 또는 간접적으로 연결된 주배기관, 주배기관에서 갈라진 제1 보조 배기관 및 제2 보조 배기관을 포함하는 배기 라인, 주배기관에 장착되어 진공 용기에서 제공되는 오염 가스에 회전력을 인가하는 헬리칼 배플, 제2 보조 배기관에 연결된 입자 포획부, 및 제1 보조 배기관에 연결되는 진공 펌프를 포함한다. 입자 포획부는 헬리칼 배플에 의하여 공급된 오염 가스를 제공받아 입자를 포획한다.
헬리칼 배플, 회전력, 관성, 진공 용기, 저진공 펌프
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