公开(公告)号：CN1886817A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200480034791.4

申请日：2004-09-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·班威尼斯特

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31713

Abstract: 本发明使用一个质量分析器，包括一对永久磁体，以从带状型离子束中的多个种类选择所需的种类。这些永久磁体在一个小区域中提供一适当大小的实质均匀的磁场，其无法利用在一所需方向施加一特定力的电磁体而获得。施加力到带状离子束的通过粒子，并且使粒子的路径根据他们各自的质量而改变。因此，选择的种类可以从射束藉由该力而获得，这个力使被拒绝的种类以及/或是污染物无法通过质量分析器(例如，撞击磁体本身以及/或是在分析器内的其它障壁)。由于质量分析器，可以使用产生多个种类的掺杂剂/种类源，而不是使用仅仅提供单一掺杂剂/种类的来源。

公开(公告)号：CN104012184B

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201280038867.5

申请日：2012-06-08

Applicant: 巴黎综合理工学院

Inventor： 索里巴·弗朗齐歇克·西拉 ,  维克托·阿曼德·马尔卡 ,  亚历山德罗·费德里科·弗拉戈 ,  迈纳·伊万诺瓦·韦尔切瓦 ,  苏巴亨多·卡哈利

IPC: H05G2/00 ,  H05H1/22

CPC classification number: H05G2/006 ,  A61B6/40 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32669 ,  H01J2237/152 ,  H01J2893/0063 ,  H05G2/00 ,  H05G2/001 ,  H05G2/003 ,  H05G2/008 ,  H05H1/22 ,  H05H1/54 ,  H05H2277/10 ,  H05H2277/11 ,  H05H2277/113

Abstract: 本发明涉及用于产生喷射流体的方法和装置、将喷射流体转换为等离子体的方法和系统，以及该系统的应用。根据本发明，该方法的特征在于包括借助高压快速电磁阀（5）和跟随其后并安装在电磁阀出口的喷嘴（7）产生脉冲喷射流体（F），喷射流体的尺寸为亚毫米级，并且原子密度大于1020cm‑3。本发明在等离子发生器领域得到应用。

公开(公告)号：CN107359102A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710159377.5

申请日：2017-03-17

Applicant: 株式会社爱德万测试

Inventor： 黑川正树 ,  佐藤高雅 ,  小岛信一 ,  山田章夫

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/241 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/20285 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。

公开(公告)号：CN106887374A

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201710007968.0

申请日：2017-01-05

Applicant: 信利(惠州)智能显示有限公司

Inventor： 张豪峰 ,  陈建荣 ,  任思雨 ,  苏君海 ,  李建华

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/1475 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种离子注入设备，设有用于产生离子的离子源和用于引出离子束的引出电极系统，所述引出电极系统的电极板上设有离子束引出口；其特征在于：引出电极系统的外壁设置有螺旋线圈，所述螺旋线圈持续通入直流电，形成沿离子束流方向的磁场；所述磁场的磁场强度满足所述离子束的离子在洛伦兹力的作用下做圆周运动的直径小于引出电极系统的电极板上引出口的直径或宽度；本发明通过在引出电极系统的外壁设置螺旋线圈，使离子垂直磁场方向的分速度受磁场中洛伦兹力的作用，在引出电极系统中无法产生有效的持续的横向移动，从而克服了离子束轰击在电极板上产生污垢的问题。

公开(公告)号：CN105283975A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201480033457.0

申请日：2014-06-13

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 斯卡特·巴洛克拉夫 ,  詹姆士·S·贝福

IPC: H01L43/12 ,  H01L43/08

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01F7/20 ,  H01F27/10 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1475 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/31701 ,  H05K7/20

Abstract: 大致描述一种具有环形冷却剂流体通道的磁铁。各种示例提供一种包括配置于离子束耦合器周围的第一磁铁与第二磁铁的磁铁，所述离子束耦合器具有孔隙通过之。第一磁铁与第二磁铁的各者包括具有空腔于其中的金属核心、配置于金属核心周围的一或多个导线包以及经设置以嵌入于空腔中的环形核心元件，其中在空腔与环形核心元件之间形成环形冷却剂流体通道。此外，各环形核心元件可具有第一直径且中间部分具有第二直径，第二直径小于第一直径。已揭示与主张其他实施例。

公开(公告)号：CN104922803A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510032773.2

申请日：2015-01-22

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 岩永慎二

IPC: A61N5/10 ,  G21K5/04

CPC classification number: H01J37/304 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1048 ,  A61N5/1077 ,  A61N2005/1087 ,  A61N2005/1095 ,  G21K5/04 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/30472 ,  H05H7/12 ,  H05H13/04 ,  H05H2007/004 ,  H05H2007/122

Abstract: 本发明提供一种带电粒子线治疗装置及带电粒子线的射程调整方法，其目的在于缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间且缩短带电粒子线治疗的时间。控制部(130)在切换照射带电粒子线的被照射体的层时通过控制降能器(18)来降低带电粒子线的能量，并且提高在电磁铁电源(27)与电磁铁(25)之间串联连接的半导体(50)的电阻。由于半导体(50)能够在减少流向电磁铁(25)的电流时在必要时刻提高电阻来加大负载时间常数，因此能够缩短降低电流所需的时间。即，能够缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间，从而缩短带电粒子线治疗的时间。

公开(公告)号：CN103377865B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210118487.4

申请日：2012-04-20

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 彭立波 ,  龙会跃 ,  谢均宇

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1472 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1475 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152

Abstract: 本发明公开了一种宽带离子束传输方法，其采用两个独立的磁场：分析磁场和校正磁场，以及分析光栏对宽带离子束进行传输；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿逆时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿顺时针方向偏转；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿顺时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿逆时针方向偏转；本发明还公开了一种离子注入机。由于分析磁场和校正磁场使离子束在水平方向沿不同方向偏转，使得宽带离子束中所需的离子从校正磁场的出射面射出时具有与入射时相同的分布。

公开(公告)号：CN104425200A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410369393.3

申请日：2014-07-30

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 狩谷宏行

IPC: H01J37/317 ,  G01R33/02

CPC classification number: H01J37/243 ,  G01R33/07 ,  G01R33/072 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/3045

Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。

公开(公告)号：CN104094377A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201280062842.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫格纳 ,  G.马陶施 ,  C.梅茨纳 ,  M.容黑内尔 ,  R.拉比茨克 ,  L.克洛泽 ,  T.维尔纳 ,  J.库布斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32064 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32807 ,  H01J2237/0822 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。

公开(公告)号：CN101652498B

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN200780052204.8

申请日：2007-04-24

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 中河原均

IPC: C23C14/24 ,  H05H1/24 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/08 ,  C23C14/081 ,  C23C14/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/3132 ,  H01J2237/3146

Abstract: 通过使由会聚线圈从等离子枪提取的等离子束(25)通过下面的磁场，使得束的横断面扁平化：该磁场在与等离子束的行进方向正交的方向上延伸，并且通过由相互平行地成对相对配置的永磁体构成的磁体(27)形成。提供一种使用具有0.7≤Wi/Wt的等离子束的等离子生成设备，其中，相对于扁平化后的束28的宽度Wt，束强度的半值为Wi。包括至少一个在束的中心处的排斥磁场的强度更强的磁体。