公开(公告)号：CN105765691B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201480064651.5

申请日：2014-09-30

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  应用材料以色列公司

Inventor： 斯特凡·舒伯特 ,  托马斯·克门 ,  赖纳·克尼佩梅尔

IPC: H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/1472 ,  H01J2237/047

Abstract: 一种操作带电粒子束系统的方法，该方法包括：从源提取粒子束；执行束的粒子的第一次加速；在执行所述第一次加速之后，从所述束形成多个粒子子束；执行所述子束的粒子的第二次加速；在执行所述第二次加速之后，执行所述子束的粒子的第一次减速；在执行所述第一次减速之后，使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN104755914B

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201380055717.X

申请日：2013-09-30

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.J.欧文 ,  M.布霍特

IPC: G01N23/225

CPC classification number: G01N23/2252 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24425 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2807

Abstract: 本发明公开用于矿物分析的两个现有方案的组合并且利用相似度度量发明，该相似度度量发明允许矿物限定以理论成分术语来描述，从而意味着不要求用户找到每个矿物的示例或调整规则。与要求广泛训练和专门技术的之前的系统相对，这个系统允许未被训练的操作员来使用它。

公开(公告)号：CN107342205A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201610285009.0

申请日：2016-05-03

Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司

Inventor： 罗浒 ,  张旭

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2813

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。

公开(公告)号：CN104903710B

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201380056036.5

申请日：2013-10-24

Applicant: 代尔夫特理工大学

Inventor： P·库鲁伊特

IPC: G01N23/203 ,  G01N23/225 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/33 ,  G01N2223/3307 ,  G01N2223/413 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/2446

Abstract: 本发明涉及一种用于检测样品的装置和方法。装置包括用于产生初级带电粒子束(33)的发生器，以及具有光轴(38)的带电粒子光学系统。光学系统包括用于将全部初级束(33)聚焦成中间平面内的光斑的第一阵列的第一透镜系统(37，310)，以及用于将全部初级束(33)聚焦成样品表面(315)上的光斑的第二阵列的第二透镜系统(313，314)。装置包括位于中间平面内或者其附近的位置敏感背散射带电粒子探测器(311)。第二透镜系统包括对全部带电粒子束是公共的电磁的或者静电的透镜。优选地，第二透镜系统包括用于围绕光轴(38)旋转初级束(33)的阵列的磁透镜，用于在一个角度相对于第一阵列定位带电粒子光斑的第二阵列。

公开(公告)号：CN105981129B

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201480074392.4

申请日：2014-12-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中平健治 ,  田中麻纪

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2809

Abstract: 能够高速地显示对通过带电粒子显微镜拍摄到的扫描过程中的图像进行适当的高画质化处理后的结果。针对拍摄视野内的图像数据(401)，根据与未取得视野内的图像数据的区域(414)的距离，将取得了图像数据的区域(410)分割为2个以上的区域(411、412、413)，针对该分割后的各个区域的图像数据，与分割后的区域对应地决定高画质化处理方法和高画质化的处理参数，针对分割后的各区域的图像数据，使用决定的与分割后的区域对应的处理方法和处理参数进行高画质化处理(415、416)。

公开(公告)号：CN107123584A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710041635.X

申请日：2017-01-20

Applicant: FEI 公司

Inventor： E.R.基伊夫特 ,  W.范迪克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266

Abstract: 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。

公开(公告)号：CN107112183A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580057918.2

申请日：2015-09-03

Applicant: 代尔夫特工业大学

Inventor： P·克瑞特

IPC: H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774 ,  H01J2237/31798

Abstract: 本发明涉及用于检查样本的表面的组件。该组件包括两个或更多个多束电子柱单元。每个单元包括：单个热场发射器，用于朝向分束器发射发散的电子束；其中分束器包括第一多孔板，该第一多孔板包括用于创建多个初级电子束的多个孔；准直器透镜，用于将来自发射器的发散的电子束准直；物镜单元，用于将所述多个初级电子束聚焦在所述样本上；以及多传感器检测器系统，用于分开地检测由所述经聚焦的初级电子束中的每个在所述样本上创建的次级电子束的强度。两个或更多个多束电子柱单元布置为彼此相邻，用于同时检查样本的表面的不同部分。

公开(公告)号：CN105917437B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201480073481.7

申请日：2014-12-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  片根纯一 ,  河西晋佐 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/18 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作：根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。

公开(公告)号：CN103247506B

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201310048814.8

申请日：2013-02-07

Applicant: FEI 公司

Inventor： J.J.L.穆尔德斯 ,  R.J.P.G.沙姆珀斯 ,  P.H.F.特龙佩纳尔斯

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N1/42 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及在样本架(112)上形成玻璃化样本供在电子显微镜(100、106)中检验的方法。已知在网片上喷射溶液，然后将网片浸入低温液体、例如乙烷或液态氮中。本发明提出在低温表面(112)、例如真空中的样本架或网片上喷射(经由118)液体的小微滴。液体在碰撞表面时因网片或样本架的低温度而形成玻璃化样本材料(200、202)。可从这样形成的样本材料来挖掘薄片，以便在TEM中研究，或者可在SEM中直接观测玻璃化样本材料。在一个实施例中，材料可在低温液体上喷射，以便从液体中汲出并且放置在网片上。