-
21.发明授权
公开(公告)号：KR101337515B1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：KR1020120063205
申请日：2012-06-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L29/786 , H01L21/20 , H01L41/04
CPC classification number: H01L21/02565 , H01L29/22 , H01L41/113 , H01L41/31 , H01L41/313 , H01L27/1266 , H01L27/1225
Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing an oxide thin film device by laser lift-off method and an oxide thin film device manufactured thereby. The method of the present invention includes the steps of: forming an oxide thin film on a growth substrate; bonding a temporary substrate on the oxide thin film; irradiating laser on the growth substrate to separate the oxide thin film on which the temporary substrate has been bonded; bonding a device substrate on the thin film on which the temporary substrate has been bonded; and forming an upper electrode film on the oxide thin film. According to the present invention, it is possible to overcome problems caused by a defective layer by transferring oxide thin film printed on a polymer-based temporary substrate to a device substrate without using an interface on which a defective layer formed due to oxygen diffusion during application of the laser lift-off. [Reference numerals] (AA) Laser beam
Abstract translation: 本发明涉及通过激光剥离法制造氧化物薄膜器件的方法和由此制造的氧化物薄膜器件。 本发明的方法包括以下步骤：在生长衬底上形成氧化物薄膜; 将临时衬底粘结在氧化物薄膜上; 在生长衬底上照射激光以分离已经结合了临时衬底的氧化物薄膜; 将器件衬底接合在已经结合有临时衬底的薄膜上; 以及在所述氧化物薄膜上形成上电极膜。 根据本发明，可以通过将印刷在基于聚合物的临时衬底上的氧化物薄膜转印到器件衬底上而不使用在施加期间由于氧扩散而形成的缺陷层的界面来克服由缺陷层引起的问题 的激光剥离。 （附图标记）（AA）激光束
-
公开(公告)号：KR101249262B1
公开(公告)日：2013-04-02
申请号：KR1020110015507
申请日：2011-02-22
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C14/086 , C23C14/08 , C23C14/3414 , H01B1/08
Abstract: 본 발명은 투명도전 조성물 및 타겟, 이를 이용한 투명도전 박막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 하기 화학식의 조성을 포함하는 투명도전 조성물 및 박막용 타겟, 상기 타겟을 이용한 투명도전 박막 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 하기 화학식으로 표시되는 특정의 조성을 포함하여 우수한 도전성(낮은 저항률) 및 높은 광투과율을 갖는다. 특히, 상온에서 증착되었음에도 불구하고 10
-3 Ω·cm 이하의 낮은 저항률과 90% 이상의 높은 광투과율을 가져 미래의 핵심 디스플레이 산업이라고 할 수 있는 연성전자소자에도 매우 유용하게 적용될 수 있다.
[화학식]
Al
x Zn
1
-
x O
위 화학식에서, x는 0.04 ≤ x ≤ 0.063이다.-
公开(公告)号：KR1020120122491A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110040673
申请日：2011-04-29
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A gas sensor including a transparent oxide electrode and a manufacturing method thereof are provided to constitute a sensing electrode as a transparent conductive oxide thin film, thereby lowering the cost of a gas sensor. CONSTITUTION: A gas sensor comprises a substrate(10), a sensing electrode(20), and a gas inductor layer(30). The sensing electrode is formed on the substrate. The gas inductor layer is formed on the sensing electrode. The sensing electrode is a transparent conductive oxide thin film.
Abstract translation: 目的：提供一种包含透明氧化物电极的气体传感器及其制造方法，以构成作为透明导电氧化物薄膜的感测电极，从而降低气体传感器的成本。 构成：气体传感器包括基底（10），感测电极（20）和气体感应层（30）。 感测电极形成在基板上。 气敏电感层形成在感应电极上。 感测电极是透明导电氧化物薄膜。
-
公开(公告)号：KR101098248B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020090121617
申请日：2009-12-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L35/24 , H01L21/205 , B82B3/00
Abstract: 본발명은화합물열전반도체의제조방법에관한것으로, 금속유기화학기상증착법으로나노구조의열전반도체를제조함으로써열전성능을높이고자하는것으로구체적으로본 발명에따른제조방법은 1) 반응관내에서전구체를사전반응시켜나노사이즈의파티클을형성하는단계 2) 상기나노사이즈의파티클을기판상에증착시키는단계를포함하여, 간단하고경제적인방법으로나노구조의결정립을가지는열전반도체를제조함으로우수한열전성능을가지는화합물열전반도체를제조할수 있다.
-
公开(公告)号：KR101018291B1
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020090023195
申请日：2009-03-18
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 기판 상에 번갈아 적층된 강유전체 박막 및 그 제조 방법이 개시된다. 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 번갈아 적층하여 강유전성과 가변율을 감소시키지 않으면서 유전손실을 감소시킬 수 있다.
강유전체, 산화물, 적층, 유전손실, 강유전성, 가변율-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100965433B1
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：KR1020080031294
申请日：2008-04-03
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 하나의 압전초음파모터를 이용하여 X- 및 Y-축뿐만 아니라 그 축 사이의 임의의 각도로도 선형운동이 가능한 전방향성 선형 압전초음파모터에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전방향성 선형 압전초음파모터는, 베이스와, 베이스에 결합되어 있고 각각 독립된 교류 전계가 인가되는 분리된 4개의 압전 세라믹으로 구성되어 기계적 진동을 발생시키는 압전 세라믹 진동체와, 4개의 압전 세라믹에 부착되어 압전 세라믹에 의한 기계적 진동을 전달하기 위한 전달부재와, 전달부재의 단부에 결합되어 있는 팁과, 팁과 마찰하여 구동되는 이동판을 포함한다.
압전효과, 초음파모터, 압전모터, 압전 액츄에이터, 세라믹 진동체, 원환형-
公开(公告)号：KR1020070117291A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020060051350
申请日：2006-06-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: A method for fabricating a thin thermoelectric module for a heater cooler and a generator is provided to simplify a fabricating process and enable a high temperature process in growing a multilayered thin film by growing p-type and n-type thermoelectric semiconductors at a time wherein an insulation layer is interposed between the p-type and n-type semiconductors. A first thermoelectric semiconductor layer which is one of n-type and p-type thermoelectric semiconductors(11,13) is formed on a substrate(10) by one of a thermal deposition method, an MOCVD(metal organic chemical vapor deposition) method, a molecular beam epitaxy method and a sputtering method. A first insulation layer(12) is formed on the first thermoelectric semiconductor. A second thermoelectric semiconductor layer which is the other one of the n-type and p-type thermoelectric semiconductors is formed on the first insulation layer. A vertical arrangement layer composed of the first thermoelectric semiconductor layer, the first insulation layer and the second thermoelectric semiconductor layer is patterned to be separated into a plurality of cells separated from one another. One of the first and second thermoelectric semiconductor layers in the cell is electrically connected to the other one of the first and second thermoelectric semiconductor layers in an adjacent cell to the cell by an electrode.
Abstract translation: 提供一种用于制造用于加热器冷却器和发电机的薄型热电模块的方法，以简化制造工艺，并且能够通过在其中生长p型和n型热电半导体来生长多层薄膜来实现高温工艺 绝缘层介于p型和n型半导体之间。 通过热沉积法，MOCVD（金属有机化学气相沉积法）法中的一种形成在基板（10）上形成作为n型和p型热电半导体（11,13）之一的第一热电半导体层， 分子束外延法和溅射法。 第一绝缘层（12）形成在第一热电半导体上。 在第一绝缘层上形成作为n型和p型热电半导体中的另一个的第二热电半导体层。 由第一热电半导体层，第一绝缘层和第二热电半导体层构成的垂直布置层被图案化以分离成彼此分离的多个单元。 电池中的第一和第二热电半导体层之一通过电极与相邻电池中的第一和第二热电半导体层中的另一个电连接到电池。
-
公开(公告)号：KR1020070020619A
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：KR1020050074712
申请日：2005-08-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/12
Abstract: 본 발명은 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서에 관한 것으로서, 티타늄을 감응물질로 사용하여 제작된 본 발명에 따른 표면탄성파 가스센서는 기존의 표면탄성파 가스센서에 비해 감응막 형성 공정이 용이할 뿐만 아니라 아세톤, 에탄올, 메탄올 등과 같은 휘발성 물질에 대해 감도 및 내구성이 매우 우수하여 실내공기 오염도 측정이나 환경 모니터링 등에 유리하게 이용될 수 있다.
표면탄성파, 가스센서, 위상변화, 감응물질, 휘발성 물질, 압전기판-
公开(公告)号：KR1020050117271A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：KR1020040042532
申请日：2004-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0838 , H01L41/0471 , H01L41/09
Abstract: 본 발명은, 압전 특성을 갖는 복수의 압전체, 상기 압전체 상하에 각각 배치되는 상부전극 및 하부전극, 그리고 상기 상부전극 및 하부전극의 종단부에 인접하도록 상기 각각의 압전체 내에 배치된 한 쌍의 금속성 부유전극을 포함하는 압전 적층 액추에이터를 제공한다. 부유전극은 일정한 폭을 갖는 밴드 형상이고, 상기 상부전극 및 하부전극의 종단을 형성하는 선과 상기 부유전극의 상기 폭 방향의 중심선이 동일 수직선 상에 위치하도록 상기 압전체 상에 배치된다.
-
公开(公告)号：KR100530867B1
公开(公告)日：2005-11-28
申请号：KR1020030025807
申请日：2003-04-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H02N2/02
Abstract: 본 발명은 압전 세라믹스 다수 개로 구성된 반파장 변환기 한쌍으로 이루어지는 압전 액츄에이터(진동빔)가 2개 이상의 복수개로 구성되는 복합 압전선형 초음파모터에 관한 것으로서, 더 상세하게는 복수쌍의 압전 세라믹스에 90°의 위상차를 갖는 두개의 고주파 전류 전계를 가함으로써 이와 연결된 2개 이상의 진동빔(shaking beam)에 타원형의 기계적 변위를 발생시켜 마찰력을 통해 이동자를 선형으로 구동하는 복합 압전선형 초음파모터에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 진동빔의 개수에 따라 비례하는 높은 구동력을 얻을 수 있으며, 응답성과 이동속도가 빠르고 nm급의 높은 정밀도가 필요한 정밀과학기기, 반도체 제작장비 등의 위치 제어에 이용할 수 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
179
records
(took 0.027 seconds)
