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公开(公告)号：KR101040090B1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090129480
申请日：2009-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H04R17/00
CPC classification number: H04R17/00
Abstract: PURPOSE: A microphone of piezoresistive type and a manufacturing method thereof are provided to simplify a sensing circuit and a manufacturing process, by removing the necessity of manufacturing a parallel plate electrode structure. CONSTITUTION: A first substrate has a silicon nano wire(21) in the center. A silicon body of the bottom of the nano wire is etched. An electrode layer(22) is formed on the first substrate. The first substrate is divided into two parts. A membrane film(23) is formed on the first substrate, and reveals the electrode layer. An adhesive layer is formed on the membrane film on the divided substrate. A second substrate is attached to the adhesive layer, and is etched to reveal the electrode and the center sensing part externally.
Abstract translation: 目的：提供压阻型麦克风及其制造方法，通过消除制造平行板电极结构的必要性来简化感测电路和制造工艺。 构成：第一衬底在中心具有硅纳米线（21）。 蚀刻纳米线底部的硅体。 在第一基板上形成电极层（22）。 第一衬底分为两部分。 在第一基板上形成膜膜（23），并显示电极层。 在分割的基板上的膜膜上形成粘接层。 将第二基板连接到粘合剂层，并被蚀刻以从外部露出电极和中心感测部分。
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公开(公告)号：KR101030487B1
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：KR1020080074054
申请日：2008-07-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 수직정렬을 위한 장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 녹는점이 낮은 금속층을 포함한 캐소드 기판을 사용하고 전기장을 이용하여 카본나노튜브를 수직정렬시킴으로써, 고온에 아웃가스가 방출되지 않음은 물론, 열처리 장치에 전기장을 형성하기 위한 애노드 전극과 전원 공급장치를 구비함으로써, 캐소드 기판에 형성된 금속층의 열처리 및 카본나노튜브의 수직정렬이 한번에 수행되는 카본나노튜브의 수직정렬을 위한 장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.
본 발명의 카본나노튜브의 수직정렬을 위한 장치는 카본나노튜브와 금속층을 포함하는 캐소드 기판이 놓여지는 지지대; 상기 지지대 상부에 형성되며, 상기 캐소드 기판과의 간격을 조절할 수 있는 애노드 전극; 상기 애노드 전극 상부와 상기 지지대 하부에 각각 형성되어 있으며, 열을 발생시켜 상기 캐소드 기판에 포함된 금속층을 열처리하기 위한 제1 및 제2 열방출부; 및 상기 캐소드 기판에 형성된 금속층과 상기 애노드 전극에 연결되며, 전원을 인가하여 카본나노튜브를 수직정렬하기 위한 전원 공급장치를 포함함에 기술적 특징이 있다.
카본나노튜브, 열처리 장치, 전기장, 수직정렬-
公开(公告)号：KR100972376B1
公开(公告)日：2010-07-27
申请号：KR1020080018839
申请日：2008-02-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 가스 농도에 의한 전압 변화를 직접 출력하는 가스 센서 회로에 대한 것으로서 적외선 센서(100)로부터의 신호에서 최대 전압(V
0 )을 클리핑하여 전압차(ΔV)만을 출력하도록 하여 그 출력 신호를 받은 산출 회로에서는 최대 전압(V
0 )를 참조할 필요없이 단지 가스 센서 회로 내에서의 증폭률만을 참조하여 가스 농도를 검출할 수 있도록 한다.
적외선 센서, 열전대, 가스 센서, 증폭 회로, 클리핑-
公开(公告)号：KR1020100076613A
公开(公告)日：2010-07-06
申请号：KR1020080134722
申请日：2008-12-26
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , C01B2202/02 , C01B2202/06 , H01J9/025 , H01J2201/30469
Abstract: PURPOSE: A field emission device and a manufacturing method thereof are provided to strongly adhere a carbon nano tube to a substrate by forming a cathode after patterning with water-based ink including a metal nano particle. CONSTITUTION: A water-based ink is prepared. A pattern is printed on a substrate with the water-based ink(1). An air gap is formed by heat-processing and solidifying the printed pattern. A carbon nanotube composition is printed on the pattern in which the air gap is formed(2). A cathode electrode and a carbon nano tube is formed by executing post-annealing after printing the carbon nanotube composition on a pattern which is generated by printing the water based ink on the substrate and solidifying it. A substrate where a post-annealing is executed is activated(3).
Abstract translation: 目的：提供场致发射器件及其制造方法，通过在包含金属纳米颗粒的水性墨水图案化之后，通过形成阴极，将碳纳米管牢固地附着在基板上。 构成：准备了水性油墨。 使用水性油墨（1）将图案印刷在基材上。 通过热处理和固化印刷图案形成气隙。 将碳纳米管组合物印刷在形成气隙的图案上（2）。 通过在将碳水化合物印刷在基材上并使其凝固而产生的图案上印刷碳纳米管组合物之后，进行后退火来形成阴极电极和碳纳米管。 执行后退火的基板被激活（3）。
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公开(公告)号：KR1020100012573A
公开(公告)日：2010-02-08
申请号：KR1020080074046
申请日：2008-07-29
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , C01B2202/02 , C01B2202/06 , H01J9/025 , H01J2201/30469
Abstract: PURPOSE: A field emission device using carbon nanotube and a method of manufacturing the device are provided to increase number of effective carbon nanotube contributing to the field emission without a process of vertical alignment by spreading carbon nanotube ink on conductive wire and forming carbon nanotube cluster from edge of the conductive wire to a traverse direction. CONSTITUTION: A field emission device using carbon nanotube comprises: a conductive wire(210) formed on substrate in which an insulation film is formed; a carbon nanotube cluster(220) spreading carbon nanotube ink on the conductive wire and projected from the edge of the conductive wire to the traverse direction.
Abstract translation: 目的：提供一种使用碳纳米管的场致发射器件及其制造方法，以增加有效的碳纳米管的数量，而不需要通过在导线上铺展碳纳米管油墨并形成碳纳米管簇而形成碳纳米管簇 导线的边缘到横向方向。 构成：使用碳纳米管的场致发射器件包括：形成在其中形成有绝缘膜的衬底上的导线（210）; 碳纳米管簇（220），其在所述导线上扩散碳纳米管油墨并且从所述导线的边缘向所述横向方向突出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100928730B1
公开(公告)日：2009-11-27
申请号：KR1020070083492
申请日：2007-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C03C17/30
Abstract: 본 발명은 폴리실라잔을 기판에 코팅한 후 경화반응에 의해 실리카 유리막을 형성하는 방법을 이용하는 것으로서, 특히 경화반응을 진행함에 있어서 상온에서 실행하되, 고온 경화의 효과를 얻을 수 있는 유리막 형성 방법에 관한 것으로 폴리실라잔의 경화 방법에 상압 플라즈마 경화 또는 가압 가습 경화 또는 스팀 경화를 적용한다.
실리카 코팅, 폴리실라잔, 경화, 플라즈마Abstract translation: 使用聚硅氮烷钝化表面的二氧化硅玻璃膜形成方法被设置为当在室温下固化时不会因杂质而变形并且形成具有高密度的玻璃膜。 用于钝化表面的玻璃膜形成方法包括以下步骤：将聚硅氮烷涂覆在基板上; 并通过使用大气压等离子体工艺来固化聚硅氮烷。 固化步骤的处理时间为10-20分钟。 固化步骤的加工温度为50〜120℃。 大气压等离子体处理的处理气体是氩气和氧气。
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公开(公告)号：KR1020080114142A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070063423
申请日：2007-06-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: A61G11/00
Abstract: A cocoon-type baby-care device and a baby-care system using the same are provided, which is possible for monitoring of the infant state and administration using the same. A cocoon-type baby-care device comprises: an inside state detection part(110) producing internal state data by sensing the internal state of the cocoon type baby-care device; an infant state detection part(120) producing infant state data by sensing the state of an infant; and a device controller(130) controlling the operation of the cocoon type baby-care device based on internal state data or infant state data.
Abstract translation: 提供了一种茧型婴儿护理装置和使用其的婴儿护理系统，其可以监视婴儿状态和使用其的管理。 茧型婴儿护理装置包括：内部状态检测部（110），其通过感测茧型婴儿护理装置的内部状态来产生内部状态数据; 婴儿状态检测部（120），其通过感测婴儿的状态来生成婴儿状态数据; 以及基于内部状态数据或婴儿状态数据来控制茧型婴儿护理装置的操作的装置控制器（130）。
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公开(公告)号：KR100696870B1
公开(公告)日：2007-03-20
申请号：KR1020040049786
申请日：2004-06-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L29/772
Abstract: 본 발명은 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 마이크로 머시닝 기술과 반도체 소자 제작 공정을 응용하여 끝이 뾰족한 탐침을 제작하고 리프트 오프 공정을 이용하여 탐침의 첨두부에 금속 양자점을 형성함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 (a) 캔틸레버 지지대의 상부에 탐침을 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 지지대의 상부에 다층막 형성후, 2회에 걸친 패턴 형성 및 트랜지스터의 채널 영역에 탐침이 위치하며 탐침의 양측 경사면에 소스 및 드레인 영역이 형성되도록 캔틸레버 아암을 형성하는 단계; (c) 상기 기판 상부에 포토레지스트를 도포하고 애싱하여 탐침의 첨두부를 노출시키는 단계; (d) 상기 포토레지스트의 상부에 금속막을 형성하고 상기 포토레지스트를 제거하여 탐침의 첨두부에만 금속막을 남기는 단계; (f) 상기 탐침의 첨두부에 금속점을 증착시키는 단계; 및 (g) 상기 캔틸레버 아암의 일부를 제거하여 캔틸레버 아암을 부상시키는 단계를 포함하는 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법은 마이크로 머시닝 기술과 반도체 소자 제작 공정을 응용하여 끝이 뾰족한 탐 침을 제작하고 리프트 오프 공정을 이용하여 탐침의 첨두부에 금속 양자점을 형성함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 효과가 있다.
양자점, 원자간력, 현미경, 캔틸레버-
公开(公告)号：KR100653198B1
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：KR1020040039653
申请日：2004-06-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324
Abstract: 본 발명은 락인 증폭기를 사용하지 않으면서도 수십 GHz 이상에서 작동되는 반도체 소자의 고주파 특성을 볼 수 있는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 캔틸레버 지지대, 상기 캔틸레버 지지대상에 위치하며 일측이 부상된 캔틸레버 아암, 상기 캔틸레버 아암 선단에 위치한 팁, 상기 팁 내에 형성된 채널 및 상기 채널의 양측면에 각각 형성된 소스 및 드레인으로 이루어진 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버에 있어서, 상기 팁은 콘 모양 또는 피라미드 모양임을 특징으로 하는 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버에 의해 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 고주파 소자 검사용 기능성 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법은 팁을 제외한 주변의 절연막을 제거하므로써 고주파 소자의 검사가 가능한 효과가 있다.
고주파, 소자, 원자간력, 현미경, 캔틸레버-
公开(公告)号：KR100617468B1
公开(公告)日：2006-09-01
申请号：KR1020040056197
申请日：2004-07-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J37/28
Abstract: 본 발명은 실리콘 탐침 상에 성장된 탄소 재질의 탐침에 수평 방향 전자빔을 조사하여 100nm 이하의 CD 측정이 가능한 탐침에 관한 것이다.
본 발명의 수평방향 성장에 의한 고종횡비의 전자빔 증착 탐침 제조방법은 (a) 2축 구동기가 형성된 캔틸레버를 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 상에 실리콘 탐침을 형성하는 단계; (c) 상기 실리콘 탐침이 형성된 캔틸레버를 탄화수소계 용제에 디핑하는 단계; (d) 상기 실리콘 탐침 상에 탄소 재질의 탐침을 성장시키는 단계 및 (e) 상기 성장된 탄소 재질의 탐침에 수평으로 전자빔을 조사하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 수평방향 성장에 의한 고종횡비의 전자빔 증착 탐침 제조방법은 탐침과 빔을 수직방향으로 한 탐침의 수평방향 성장방법을 통해 100nm 이하의 CD의 측정이 가능하게 하며, 탐침 끝을 볼 형태로 제작하여 CD 벽면 측정을 용이하게 하고 열처리를 통해 전도성이 뛰어난 효과가 있다.
CD, 고종횡비, 탐침, 수평방향
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