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公开(公告)号：KR1019990025513A
公开(公告)日：1999-04-06
申请号：KR1019970047178
申请日：1997-09-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B27/00
Abstract: 본 발명은 광학계의 광축 틀어짐 검지 장치에 관한 것으로, 조립된 광학계 및 광학계를 구성하는 각 광학부품의 광축이 전체 광학계의 기준 광축에 대해 어느 정도 틀어져 있는지 그 틀어진 정도를 간편하고 정확하게 측정하는 장치에 관한 것이다.
종래의 광학계 광축 틀어짐 검지 방법으로는 광학계를 구성하는 부품의 수가 많을 경우 각 광학부품들이 얼마만한 광축 틀어짐을 발생시키는지 구분하기 어렵고 단지 오차가 있다는 것만을 알 수 있을 뿐아니라 상당량의 누적오차가 발생하는 단점이 있다.
따라서 본 발명에서는 입사된 광선과 같은 경로로 반사시킬 수 있는 코너 큐브 프리즘을 사용하여 돌아오는 광선의 위치 이동량을 정밀히 측정할 수 있는 광학계 광축 틀어짐 검지 장치를 제시한다.-
公开(公告)号：KR1019980050456A
公开(公告)日：1998-09-15
申请号：KR1019960069279
申请日：1996-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
반도체 레이저 간섭계를 이용한 웨이퍼 자동 초점 측정장치 및 측정방법
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
간섭계 전체의 크기에 대해서 소형화 및 구조의 단순화가 가능하며, 웨이퍼의 표면의 넓은 측정 영역에 걸쳐 높은 정밀도로 초점을 측정 및 웨이퍼의 수직 방향의 미소 이동 거리를 측정할 수 있는 반도체 레이저 간섭계를 이용한 웨이퍼 자동 초점 측정장치를 제공하고자 함.
3. 발명이 해결 방법의 요지
레이저 광을 발생하는 반도체 레이저(101); 상기 반도체 레이저에서 방출된 광을 단면이 원형인 평면파로 변환시키는 광 정형수단(103);상기 광 정형수단을 통과한 광이 상기 레이저로의 귀환을 차단하는 광분리수단(104); 상기 광분리수단으로부터 입사된 광의 편광 직교 성분에 따라 반사 또는 투과시키는 편광 빔스플릿터(105); 상기 편광 빔스플릿터를 투과한 광을 소정 주파수만큼 변조하는 음향광학변조수단(107); 상기 음향광학변조수단를 소정 주파수로 구동하는 신호발생수단(109); 상기 편광 빔스플릿터를 통과하여 상기 음향광학변조수단에서 변조된 광 및 상기 편광 빔스플릿터에서 반사된 광을 검출하는 광검출수단(110); 및 상기 광검출수단(110)의 신호와 상기 신호발생수단(109)의 신호가 입력되어 비교되는 위상비교수단(113)을 포함하여 이루어진 반도체 레이저를 이용한 웨이퍼 자동 초점 측정장치를 제공하며, 상기 장치를 이용한 측정방법에 있어서,반도체 레이저로부터 방출된 레이저 광을 원형 단면의 평면파로 바꾸는 광정형 단계;상기 평면파 레이저 광을 기준 거울로 반사시키고, 상기 음향광학소자로 투과시키는 빔스플릿터 단계; 상기 투과된 레이저 광을 상기 음향광학소자를 통해 소정 주파수로 변조하는 제1변조단계; 일차 변조된 레이저 광을 웨이퍼에 조사하는 단계; 웨이퍼에 조사된 후, 반사되어 되돌아온 레이저 광을 상기 음향광학소자를 통해 다시 변조하는 제2변조단계; 상기 기준 거울에 반사되어 돌아온 기준 신호광과 상기 제2변조단계를 통해 돌아온 신호광을 검출하는 광검출 단계; 및 상기 광검출 단계에서 검출된 신호와 음향광학소자를 구동하는 신호 발생기의 신호의 위상을 상호 비교하는 단계를 포함하여 이루어진 초점 측정방법을 제공함.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 노광장비에 적용되어, 웨이퍼 초점 신호의 측정 정밀도를 향상시키고 넓은 측정 범위에서도 동작이 가능하며, 간단한 구조를 가지며, 소형화된 자동 초점장치를 간단하게 구성할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100392252B1
公开(公告)日：2003-07-22
申请号：KR1020000057826
申请日：2000-10-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G03B35/00
Abstract: PURPOSE: A multiple lens type stereo camera is provided to compensate change of an optical axis and to control a main optic angle according to rotary and linear movements of half mirrors. CONSTITUTION: A camera comprises image buffers(215,216); image processors(217,218); an image comparison part(219); an image converter(220); a focusing control(221); a zoom seesaw switch(222); a zoom controller(223); and a half mirror controller(224). The image buffers temporarily store image data from CCDs(211,212) of cameras(207,208). The image processors process intensity and phase of the images appropriately for broadcasting or recording. The image comparison part compares images to determine whether centers of the images are identical and the images are in complete focus. The image converter generates data needed to adjust focus of the cameras and angles of half mirrors(203,204,205,206). The focusing control generates data to control focusing controls(209,210) of the cameras. The zoom seesaw switch generates analog electric signals to change relative distances between lenses for zoom lenses of the cameras to have focal distances a user wants. The zoom controller generates data to control zoom drivers(213,214) of the cameras. The half mirror controller receives data from the zoom controller and the focusing control to generate data controlling rotary and linear movements of the half mirrors.
Abstract translation: 用途：提供多透镜式立体相机，用于补偿光轴的变化，并根据半反射镜的旋转和线性移动来控制主光学角度。 构成：相机包括图像缓冲器（215,216）; 图像处理器（217,218）; 图像比较部（219）; 图像转换器（220）; 一个聚焦控制（221）; 一个变焦杠杆开关（222）; 一个变焦控制器（223）; 和半反射镜控制器（224）。 图像缓冲器临时存储来自照相机（207,208）的CCD（211,212）的图像数据。 图像处理器适当地处理图像的强度和相位以用于广播或记录。 图像比较部分比较图像以确定图像的中心是否相同并且图像完全对焦。 图像转换器生成调整摄像机焦点和半反射镜角度所需的数据（203,204,205,206）。 聚焦控制产生数据以控制相机的聚焦控制（209,210）。 变焦杠杆开关产生模拟电信号，以改变相机的变焦镜头的镜头之间的相对距离，以具有用户想要的焦距。 变焦控制器生成数据以控制相机的变焦驱动器（213,214）。 半反射镜控制器接收来自变焦控制器和聚焦控制的数据，以生成控制半反射镜的旋转和线性移动的数据。
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公开(公告)号：KR100348902B1
公开(公告)日：2002-08-14
申请号：KR1019990053887
申请日：1999-11-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/778
CPC classification number: H01L29/66462 , H01L21/28593 , H01L29/42316
Abstract: 본발명은저잡음고속정보통신용 GaAs 소자인 HEMTs(high electron mobility transistors) 의감마게이트용레지스트패턴의제조방법을개시한다. 본발명에따른감마게이트제조방법은, GaAs 기판상에제 1 레지스트를도포하고, 노광및 현상한후, 경화시켜서제 1 레지스트패턴을형성하는단계, 및상기 GaAs 기판및 제 1 레지스트패턴상에제 2 레지스트를도포하고, 노광및 현상한후, 경화시켜서제 2 레지스트패턴을형성하는단계를구비하며, 상기제 1 및제 2 레지스트패턴으로덮이지않은상기 GaAs 기판의부분을상기감마게이트의발이형성되는영역으로정의하고, 상기제 1 레지스트패턴으로덮여있지만상기제 2 레지스트패턴으로는덮이지않은상기 GaAs 기판의부분을상기감마게이트의머리가형성되는영역으로정의한다.
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公开(公告)号：KR1020020026625A
公开(公告)日：2002-04-12
申请号：KR1020000057826
申请日：2000-10-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G03B35/00
CPC classification number: G03B35/08 , G02B27/2235 , H04N13/246
Abstract: PURPOSE: A multiple lens type stereo camera is provided to compensate change of an optical axis and to control a main optic angle according to rotary and linear movements of half mirrors. CONSTITUTION: A camera comprises image buffers(215,216); image processors(217,218); an image comparison part(219); an image converter(220); a focusing control(221); a zoom seesaw switch(222); a zoom controller(223); and a half mirror controller(224). The image buffers temporarily store image data from CCDs(211,212) of cameras(207,208). The image processors process intensity and phase of the images appropriately for broadcasting or recording. The image comparison part compares images to determine whether centers of the images are identical and the images are in complete focus. The image converter generates data needed to adjust focus of the cameras and angles of half mirrors(203,204,205,206). The focusing control generates data to control focusing controls(209,210) of the cameras. The zoom seesaw switch generates analog electric signals to change relative distances between lenses for zoom lenses of the cameras to have focal distances a user wants. The zoom controller generates data to control zoom drivers(213,214) of the cameras. The half mirror controller receives data from the zoom controller and the focusing control to generate data controlling rotary and linear movements of the half mirrors.
Abstract translation: 目的：提供多透镜型立体相机，以补偿光轴的变化，并根据半反射镜的旋转和线性运动来控制主光学角度。 构成：相机包括图像缓冲器（215,216）; 图像处理器（217,218）; 图像比较部分（219）; 图像转换器（220）; 聚焦控制（221）; 变焦跷跷板开关（222）; 变焦控制器（223）; 和半反射镜控制器（224）。 图像缓冲器临时存储来自相机（207,208）的CCD（211,212）的图像数据。 图像处理器适当地处理用于广播或记录的图像的强度和相位。 图像比较部分比较图像以确定图像的中心是否相同，并且图像是完全对焦的。 图像转换器产生调整摄像机的焦距和半反射镜角度（203,204,205,206）所需的数据。 聚焦控制产生数据以控制照相机的聚焦控制（209,210）。 缩放跷跷板开关产生模拟电信号，以改变相机的变焦镜头的透镜之间的相对距离，以使用户想要的焦距。 变焦控制器产生数据以控制摄像机的变焦驱动器（213,214）。 半反射镜控制器从变焦控制器和聚焦控制器接收数据，以产生控制半反射镜的旋转和线性运动的数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020010064139A
公开(公告)日：2001-07-09
申请号：KR1019990062273
申请日：1999-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L21/02686 , G02B5/3083 , G02B7/04 , G02B13/143 , G02B26/0891 , G02B27/28 , H01L21/2026
Abstract: PURPOSE: An optical system for a crystallization apparatus is provided to enable a large area LCD fabrication by growing a uniform crystal having an equal grain size by performing a projection exposure as to micro stripe patterns by a projection optical system and by scanning gradually them. CONSTITUTION: The optical system makes an amorphous silicon thin film as a silicon thin film crystallized by an exposure of a micro stripe pattern using an eximer laser as a light source. The system includes the first lens-the tenth lens arranged along an optical axis from the eximer laser. The first lens(300) is a both convex lens, and the second lens(310) is a convex concave lens convex toward the light source, and the third lens(320) is a convex concave lens convex toward the light source, and the fourth lens(330) is a both concave lens. The fifth lens(340) is a both convex lens, and the sixth lens(350) is a concave convex lens concave toward the light source and the seventh lens(360) is a convex concave lens convex toward the light source. The eighth lens(370) is a both convex lens, the ninth lens(380) is a convex concave lens convex toward the light source, and the tenth lens(390) is a both convex lens. At least one of the ten lenses includes a CaF2 to improve an efficiency of a light intensity and to reduce a color aberration. The system further includes an optical component(200) made with a birefringent material to control a depth of focus of a light transmitted the tenth lens.
Abstract translation: 目的：提供一种用于结晶装置的光学系统，通过用投影光学系统对投影光学系统进行投影曝光，并逐渐扫描，通过生长具有相同晶粒尺寸的均匀晶体来实现大面积的LCD制造。 构成：光学系统通过使用准分子激光器作为光源通过微条纹图案的曝光而使非晶硅薄膜作为硅薄膜结晶。 该系统包括第一透镜 - 沿着来自准分子激光器的光轴布置的第十透镜。 第一透镜（300）是双凸透镜，第二透镜（310）是朝向光源凸出的凸凹透镜，第三透镜（320）是朝向光源凸起的凸凹透镜， 第四透镜（330）是两个凹透镜。 第五透镜（340）是双凸透镜，第六透镜（350）是朝向光源凹入的凹凸透镜，第七透镜（360）是朝向光源凸出的凸凹透镜。 第八透镜（370）是双凸透镜，第九透镜（380）是朝向光源凸出的凸凹透镜，第十透镜（390）是双凸透镜。 十个透镜中的至少一个透镜包括CaF2以提高光强度的效率并减少色差。 该系统还包括用双折射材料制成的光学部件（200），以控制透射第十透镜的光的焦深。
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公开(公告)号：KR100258175B1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR1019970075365
申请日：1997-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for aligning a reticle are provided to measure the rotation of the reticle and to achieve the high accuracy of a position alignment by using a position sensing device. CONSTITUTION: A reticle aligning device comprises a semiconductor laser module(201) including a semiconductor laser(210) and a collimator lens(211) for generating a parallel laser beam(202). A prism(203) is provided to refract the parallel laser beam(202) generated from the semiconductor layer module(201) at a right angle. Slits(205) are formed in a reticle(204) to allow the refracted laser beam to pass through the reticle(204). A position sensing device(206) is provided to detect the position of the parallel laser beam which passes through the slit(205) of the reticle(204).
Abstract translation: 目的：提供一种用于校准掩模版的方法和装置，以测量标线的旋转，并通过使用位置检测装置实现位置对准的高精度。 构成：掩模版对准装置包括半导体激光器模块（201），其包括用于产生平行激光束（202）的半导体激光器（210）和准直透镜（211）。 提供棱镜（203）以使直角从半导体层模块（201）产生的平行激光束（202）折射。 狭缝（205）形成在掩模版（204）中以允许折射的激光束通过标线（204）。 设置位置检测装置（206）以检测穿过标线（204）的狭缝（205）的平行激光束的位置。
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公开(公告)号：KR1019990052171A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970071620
申请日：1997-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B27/30
Abstract: 본 발명은 정밀 광학계를 조립하는 데 있어 광학계를 구성하는 광학 부품들 중에서 광축을 일정한 각도로 꺾어주기 위하여 사용하는 반사경(folding mirror)의 정확한 각도를 조절하는 정밀 광학계 반사경의 각도 조절 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래의 방법은 반사경으로 광축을 일정한 각도로 꺾는 광학계에서의 반사경 각도와 위치 설정을 금속기구부를 기준으로 함으로써 기구부의 가공에 따른 오차와 가공된 기구부 측정에 따른 오차로 인하여 반사경의 정확한 각도 조절 및 설치에 많은 문제가 있었다.
본 발명에서는 광학계를 구성하는 광학 부품중 광축을 꺾어 주는 반사경(20)의 정확한 각도조절과 측정에 오토콜리메이터(41)(42)를 사용하여 반사경(20)의 각도를 정확하게 조절하고, 동시에 간섭계(80)로 광학 부품의 정점을 확인할 수 있도록 하는 간섭계(80)에 오토콜리메이터(41)를 부착하여 구성되며, 상기 반사경(20)의 기울기를 정확하게 조절하기 위하여 상기 반사경(20)의 유효경 외곽에 상기 오토콜리메이터(41)(42)와 수직이 되도록 프리즘(31)(32)의 일면을 부착하고 금속기구부(50)에 평행한 반사물체(61)(62)를 부착하여 광학부품에 대하여 반사경(20)의 각도를 정확히 갖도록 조절하도록 하며, 상기 반사경의 조절방법은 프리즘(31)(32)의 한 면을 광학계 반사경(20)의 유효반경 외곽에 부착시켜 오토콜리메이터(41)(42)와 수직되게 하고, 상기 프리즘(31)(32)의 � ��을 이용하여 반사경(20)의 각도를 조절하여 정확한 각도를 유지할 수 있도록 하고, 프리즘(31)(32)의 면에 오토콜리메이터(41)(42)로 빛을 비추면 프리즘(31)(32)의 면으로부터 되돌아온 빛이 오토콜리메이터(41)(42)에 맺히는 것을 이용하여 반사경(20)의 기울기를 조절함으로써 광축(10)과 반사경(20)이 정확히 원하는 각도가 되게 맞추어 광축(10)을 정확한 방향으로 바꿔줄 수 있도록 하며, 상기 오토콜리메이터와 반사경이 정확한 각도로 맞추어진 것을 이용하여 반사경(20)과 단 렌즈들이 부착되는 금속기구부(50)면이 정확한 각을 이루는지를 금속기구부(50)면 부분에 평행한 반사물체(61)(62)를 이용하여 금속기구부(50)면 부분이 오토콜리메이터(41)(42)와 수직이 되게 상기 오토콜리메이터를 미세 조정하여 맞춘 다음, 평행한 반사 물체(61)(62)를 제거하고, 이미 프� �즘(31)(32)이 부착되어 있는 반사경(20)의 프리즘(31)(32) 한 면에 오토콜리메이터(41)(42)를 비추고 반사되어 오는 빛을 오토콜리메이터(41)(42)로 관측함으로써 반사경(20)이 정확한 각도인가를 확인하여 조정된 반사경(20)과 평행한 반사물체(61)(62)를 이용하여 금속기구부(50)에 단렌즈군을 부착시켜 정확히 조절 조립하도록 함을 특징으로 하는 것이다.-
公开(公告)号：KR100194619B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950052676
申请日：1995-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 반도체 레이저의 외부 광궤환 방법을 이용한 웨이퍼 자동촛점장치 및 자동촛점방법에 관한 것이다.
본 발명의 웨이퍼 자동촛점장치는, 반도체 레이저(21)와, 시준렌즈(22)와, 광분할기(23)와, 촛점렌즈(24)로 이루어진 자동촛점장치 모듈; 및, 슬릿(32)과, 시준렌즈(32)와, 회절격자(33)와, 집속렌즈(34)와, PSD(35)로 구성되어, 상기한 웨이퍼(25)에 의해 반사되어 반도체 레이저(21)의 외부 광궤환에 의해서 발진하는 반도체 레이저(21)의 궤환광의 광 강도변화를 전압변화로 변환하기 위한 분광부(40)와 PSD신호처리부(50)를 포함한다.
아울러, 본 발명의 웨이퍼 자동촛점방법은, 반도체 레이저에서 나오는 레이저광을 평행광으로 만들어 광분할기를 통해 웨이퍼에 입사시키는 단계; 상기한 웨이퍼의 수직방향 위치변화에 따른 상기한 반도체 레이저의 외부 광궤환에 의한 광강도 변화에 의해 레이저광의 출력파장을 변화시키는 단계; 및, 상기한 출력파장의 변화를 PSD 및 PSD 신호처리부를 거쳐 출력전압 변화로 변환하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR100194598B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950042065
申请日：1995-11-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 프로브 빔 주사방식을 사용하여 촛점신호의 측정오차를 최소화함으로써 자동촛점장치의 정밀도와 분해능을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다.
본 발명의 웨이퍼 자동촛점장치는 반도체 노광장치의 웨이퍼 자동촛점장치에 있어서, 반도체 레이저(101); 전기한 반도체 레이저(171)로부터 발생된 빛의 편광방향을 TE편광으로 바꾸기 위한 선 편광자(103) 및 슬릿(104)의 광학계; 전기한 슬릿(104)으로부터 투사된 빛을 사용하여 웨이퍼 스테이지(90) 상의 웨이퍼(80)에 프로브 빔을 주사하기 위한 갈바노미터(106')로 이루어진 주사 거울(106); 웨이퍼(80) 상에서 반사된 반사광을 실린더상 렌즈(111)에 집속하기 위한 광학계 및 프로브 빔의 길이방향을 압축하여 PSD(112) 상에 전달하기 위한 실린더상 렌즈(112); 및, 발광 및 수광회로부(140)와 신호처리 및 제어부(150)로 구성되어 전기한 광학계에 의한 광학신호를 전기신호로 변환하기 위한 자동촛점 신호처리계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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