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公开(公告)号：KR100280832B1
公开(公告)日：2001-04-02
申请号：KR1019970065335
申请日：1997-12-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 노광 장비용 프로그래머블 마스크에 관한 것으로, 특히 전기적 신호에 의하여 광 개폐가 이루어지는 미세 소자가 마스크 상에 하나의 화소를 이루는 형태로 집적된 패턴 노광용 마스크에 관한 것이다.
반도체 집적회로의 미세회로 인쇄는 자외선 등을 노광 광원으로 이용하여 회로 패턴이 새겨진 인쇄회로 원판, 즉 마스크의 패턴을 축소시켜 투사하는 방식의 노광 인쇄장비를 주로 사용하고 있다. 그러나 이러한 방법에서는 십 여장 이상의 마스크가 필요하게 되며, 소자의 제작 종류가 많을 경우 이에 따른 노광용 마스크의 제작 기간 및 비용 소요가 큰 부담이 되고 있다.
본 발명에서는 미소 광 개폐 소자가 집적된 프로그래머블 마스크 상에서 직접 설계된 회로의 패턴을 구현시키고 이 패턴을 웨이퍼 등의 기판에 투사시켜 인쇄하는 방법을 제시한다.-
公开(公告)号：KR100231715B1
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019970062770
申请日：1997-11-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/00
Abstract: 본 발명은 진동형 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 종래의 회전형 자이로스코프는 부피가 크고 고정밀도를 유지하기 위한 가격이 높으며, 충격과 진동에 쉽게 손상되는 등의 많은 단점을 갖고 있다. 이에 본 발명은 정전력(electrostatic force)을 이용해 구조체를 공진시키며, 이때 공진 구조체를 지지하는 스프링을 상하 좌우 대칭으로 배열하여 구동 방향에 수직인 검출 방향으로도 항상 공진이 발생할 수 있도록 설계하므로써 기존의 진동형 자이로스코프에 비해 공진 모드 주파수의 조율이 필요없이 감도가 우수한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019990047099A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970065335
申请日：1997-12-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 노광 장비용 프로그래머블 마스크에 관한 것으로, 특히 전기적 신호에 의하여 광 개폐가 이루어지는 미세 소자가 마스크 상에 하나의 화소를 이루는 형태로 집적된 패턴 노광용 마스크에 관한 것이다.
반도체 집적회로의 미세회로 인쇄는 자외선 등을 노광 광원으로 이용하여 회로 패턴이 새겨진 인쇄회로 원판, 즉 마스크의 패턴을 축소시켜 투사하는 방식의 노광 인쇄장비를 주로 사용하고 있다. 그러나 이러한 방법에서는 십 여장 이상의 마스크가 필요하게 되며, 소자의 제작 종류가 많을 경우 이에 따른 노광용 마스크의 제작 기간 및 비용 소요가 큰 부담이 되고 있다.
본 발명에서는 미소 광 개폐 소자가 집적된 프로그래머블 마스크 상에서 직접 설계된 회로의 패턴을 구현시키고 이 패턴을 웨이퍼 등의 기판에 투사시켜 인쇄하는 방법을 제시한다.-
公开(公告)号：KR101662797B1
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR1020100052234
申请日：2010-06-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H03K17/96 , H03K19/0175 , G06F3/044 , H03K17/955
Abstract: 본발명은정전용량형터치센서용인터페이스회로에관한것으로서, 터치패널의정전용량의변화에비례하는주기를갖는제1 신호를출력하는오실레이터부, 직렬로연결된 N개 (N은 1보다큰 자연수)의제1 D-플립플롭들을포함하는다운카운터부, 및상기 N개의제1 D-플립플롭들에각각대응되는 N개의제2 D-플립플롭을포함하는래치부를포함하되, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 최초의제1 D-플립플롭의클럭입력단에상기제1 신호가입력되고, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 p (p는 1보다크거나같고, N보다작은자연수) 번째위치한제1 D-플립플롭의출력은 p+1번째위치한제1 D-플립플롭의클럭입력단에입력되고, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 임의의 q번째위치한제1 D-플립플롭은상기제1 신호의주기의 2배(q는 1보다크거나같고, N보다작거나같은자연수)에해당하는주기를갖는제2 신호를각각출력하고, 상기 N개의제2 D-플립플롭들은각각대응되는제1 D-플립플롭으로부터출력되는상기제2 신호를입력으로하여인에이블신호와동기화된데이터값을출력한다.
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公开(公告)号：KR101094870B1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：KR1020080128848
申请日：2008-12-17
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N27/121
Abstract: 본 발명은 습도 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 높은 측정 감도를 지니며, 빠른 응답 시간을 가지며, 향상된 온도 특성을 보이며, 히스테리시스가 적으며, 우수한 내구성을 지니며, 다양한 물질을 습도 감응막으로 사용할 수 있으며, 초소형이며, 대량 생산이 가능한 습도 센서 및 이의 제조 방법을 제공한다.
이를 위하여, 본 발명의 일실시 예에 따른 습도 센서는, 기판; 상기 기판 내에 깊이와 폭을 가지고 형성되며 상부가 열린 구조를 갖는 열린 공동; 상기 기판 상에 형성되는 복수의 전극 패드; 일단이 어느 하나의 상기 전극 패드에 연결되고 타단이 다른 하나의 상기 전극 패드에 연결되며 상기 열린 공동 상에 부양되는 히터; 상기 히터와 동일한 평면 상에 형성되고 상기 열린 공동 상에 부양되며 감지된 신호를 상기 전극 패드로 출력하는 감지 전극; 상기 히터와 상기 감지 전극 상에 형성되어 습도에 따라 특성이 변화하는 습도 감응막; 및 상기 히터의 가열 온도를 제어하기 위한 기준 온도로서 이용되는 습도 센서 주위의 온도를 측정하는 주위 온도 측정부를 포함한다.
그럼으로써 높은 측정 감도, 빠른 응답 시간, 향상된 온도 특성, 낮은 히스테리시스, 우수한 내구성, 다양한 습도 감응막 이용 가능성, 초소형 크기, 대량 생산의 특성을 지닌 습도 센서를 제공할 수 있는 이점이 있다.
습도 센서, 감응막, 히터, 전극-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101090694B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020080129577
申请日：2008-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은하이브리드전원발생장치및 이를제작하는방법에관한것으로, 적어도하나의홀을포함하고, 각각의홀 주위를감는코일이부착된기판과, 상기기판상단에이격되어설치되며, 일단에벌크자석이부착되는적어도하나의압전캔틸레버를포함하며, 상기압전캔틸레버의상기일단이외부진동에의해상기홀내에상하로움직여전기를또한발생시키며, 상기코일이상기일단에부착된벌크자석의움직임으로인해전자유도에의한전기를발생시킴을특징으로한다. 본발명은진동에의해압전기와전자유도에의한발생전기를하나의구조체에완성함으로써고출력전원을발생하여상시전원으로사용할수 있으며, 소형으로제작할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR100986221B1
公开(公告)日：2010-10-08
申请号：KR1020080056396
申请日：2008-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: G01P15/08 , G01P15/097
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 본 발명은 수직 방향 가속도 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 기판, 상기 기판과 분리되며 가동하는 질량추, 상기 질량추의 상단에 일정한 방향으로 형성되는 복수의 가동 전극판, 상기 질량추의 상단에 형성되며 상기 가동 전극판을 지지하는 가동 전극판 지지부, 상기 기판의 상단에 형성되는 고정체, 상기 고정체와 결합하며 상기 질량추의 상단과 인접하여 형성되는 고정 전극판 지지부, 상기 고정 전극판 지지부에 의해 지지되며 상기 가동 전극판과 평행하게 대면하도록 배열되는 복수의 고정 전극판 및 상기 고정체 및 상기 가동 전극판 지지부를 연결하는 연결 스프링을 포함하는 수직 방향 가속도 측정 장치를 제공할 수 있다.
가속도 측정, 수직 방향-
公开(公告)号：KR1020100070846A
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020080129577
申请日：2008-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H02N2/183 , H01L41/053 , H01L41/1136 , H02J7/00 , H02N2/188 , H02N2/22
Abstract: PURPOSE: A hybrid power generator and a method for manufacturing the same is provided to use electricity which is generated in vibration as a constant power by using piezoelectric and electromagnetic induction. CONSTITUTION: A substrate(110) comprises more than one hole(120). A coil(130) winding around the hole is attached to the substrate. More than one piezoelectric cantilever(140) is separated in the upper end of substrate and it is installed. A bulk magnet(150) is attached to one end of the piezoelectric cantilever. The one end of the piezoelectric cantilever is vibrated in up and down inside hole to generate electricity.
Abstract translation: 目的：提供一种混合动力发电机及其制造方法，其使用通过使用压电和电磁感应作为恒定功率产生的振动中产生的电力。 构成：衬底（110）包括多于一个孔（120）。 缠绕在孔周围的线圈（130）附着在基片上。 多个压电悬臂（140）在衬底的上端分离并安装。 块状磁体（150）附接到压电悬臂的一端。 压电悬臂的一端在孔内上下振动发电。
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公开(公告)号：KR1020100068813A
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：KR1020080127292
申请日：2008-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H05K7/20254 , F28D1/03 , G06F1/20 , H05K2201/064
Abstract: PURPOSE: It welds the plate including a plurality of grooves of 2 and chiller and manufacturing method thereof form the chiller of the closure structure. The structure damage of the chiller inside is prevented. CONSTITUTION: The 2 plates(100) comprises 2 thin plates(101, 102) and the sinter(103) formed between the thin plate. The heat sink structure(104) is formed among the plate of 2 on one or more plate. In order to seal hermetically the heat sink structure by using the welding substance, the plate of 2 is combined. The heat sink structure comprises the steam vapor and liquid flowing passage. The sinter crystalline or the amorphous is made of metal material.
Abstract translation: 目的：将包括2个冷却器的多个凹槽的板和其制造方法焊接在封闭结构的冷却器上。 防止冷却器内部的结构损坏。 构成：2个板（100）包括形成在薄板之间的2个薄板（101,102）和烧结体（103）。 在一个或多个板上的板2之间形成散热结构（104）。 为了通过使用焊接物质气密地密封散热器结构，将2的板组合。 散热器结构包括蒸汽和液体流动通道。 烧结晶体或非晶体由金属材料制成。
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公开(公告)号：KR1020100068769A
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：KR1020080127240
申请日：2008-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/09 , H01L31/101
CPC classification number: H01L31/09 , H01L31/02366 , H01L31/03044 , H01L31/0392 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an infrared sensor is provided to improve the uniformity of a resistance value by reducing a partially oxidized electrode or absorbent layer due to oxygen-plasma. CONSTITUTION: A nitride metal thin film(20) is deposited on the lower membrane(10) of an infrared sensor or a substrate. The nitride metal thin film is etched using a photo-resistor as a mask. The photo-resistor is removed using oxygen-plasma. The nitride metal thin film is plasma-processed(50) under a reduction atmosphere. The nitride metal thin film is formed into the electrode or the absorbent layer of the infrared sensor.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造红外传感器的方法，通过减少由于氧等离子体引起的部分氧化的电极或吸收层来提高电阻值的均匀性。 构成：在红外线传感器或基板的下膜（10）上沉积氮化物金属薄膜（20）。 使用光电阻器作为掩模蚀刻氮化物金属薄膜。 使用氧等离子体去除光电阻。 氮化物金属薄膜在还原气氛下进行等离子体处理（50）。 氮化物金属薄膜形成为红外线传感器的电极或吸收层。
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