ВОДНАЯ ПОЛИРУЮЩАЯ КОМПОЗИЦИЯ И СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ, МЕХАНИЧЕСКИХ И ОПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ

    公开(公告)号:RU2607214C2

    公开(公告)日:2017-01-10

    申请号:RU2013115239

    申请日:2011-09-06

    Applicant: BASF SE

    Abstract: Изобретениеотноситсяк воднойполирующейкомпозиции, имеющей pH от 3 до 11. Композициясодержит (А) поменьшеймереодинтипабразивныхчастиц, которыеположительнозаряженыпридиспергированиив воднойсреде, свободнойоткомпонента (В) иимеющей pH винтервалеот 3 до 9, чтоподтверждаетсяэлектрофоретическойподвижностью. Абразивныечастицы (А) являютсянеорганическимичастицами, содержащимиилисостоящимииздиоксидацерия. Композициясодержит (B) поменьшеймереодинанионныйфосфатныйдиспергирующийагент, выбранныйизгруппырастворимыхв водеконденсированныхфосфатов, причемрастворимыйв водеконденсированныйфосфатвыбранизгруппы, состоящейизметафосфатовобщейформулы I:иполифосфатовобщейформулы II и III:гдеМ являетсяаммонием, натриеми калиеми индекс n равенот 2 до 10000. Композициясодержит (C) поменьшеймереодинкомпонентнаосновемногоатомногоспирта, выбранныйизгруппы (с1) многоатомныхспиртов, причеммногоатомныйспирт (с1) содержитсяв количествахот 0,005 до 5 мас.% впересчетенамассууказаннойкомпозиции, (с2) смеси, состоящейиз (с21) поменьшеймереодногомногоатомногоспиртаи (с22) поменьшеймереодногорастворимогов водеилидиспергируемогов водеполимера, (с3) смесей (с1) и (с2). Описантакжеспособполированияподложекдляэлектрических, механическихи оптическихустройстви применениеводнойполирующейкомпозициидляизготовленияэлектрических, механическихи оптическихустройств. Техническийрезультат– обеспечениекомпозиции, имеющейулучшеннуюизбирательностьв отношенииоксидакремнияпосравнениюс нитридомкремниядажеболее 50 сполучениемотполированныхпластин, имеющихпревосходнуюглобальнуюи локальнуюплоскостность. 3 н. и 5

    AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES FOR ELECTRICAL, MECHANICAL AND OPTICAL DEVICES

    公开(公告)号:SG10201506169XA

    公开(公告)日:2015-09-29

    申请号:SG10201506169X

    申请日:2011-09-06

    Applicant: BASF SE

    Abstract: An aqueous polishing composition having a pH of 3 to 11 and comprising (A) abrasive particles which are positively charged when dispersed in an aqueous medium free from component (B) and of a pH of 3 to 9 as evidenced by the electrophoretic mobility; (B) anionic phosphate dispersing agents; and (C) a polyhydric alcohol component selected from the group consisting of (c1) water-soluble and water-dispersible, aliphatic and cycloaliphatic, monomeric, dimeric and oligomeric polyols having at least 4 hydroxy groups; (c2) a mixture consisting of (c21) water-soluble and water-dispersible, aliphatic and cycloaliphatic polyols having at least 2 hydroxy groups; and (c22) water-soluble or water-dispersible polymers selected from linear and branched alkylene oxide homopolymers and copolymers (c221); and linear and branched, aliphatic and cycloaliphatic poly(N-vinylamide) homopolymers and copolymers (c222); and (c3) mixtures of (c1) and (c2); and a process for polishing substrates for electrical, mechanical and optical devices.

    Ceroxid und Siliciumdioxid enthaltende Dispersion

    公开(公告)号:DE102009027211A1

    公开(公告)日:2010-12-30

    申请号:DE102009027211

    申请日:2009-06-25

    Abstract: Wässrige, Ceroxid und Siliciumdioxid enthaltende Dispersion, erhältlich, indem man eine Ceroxid-Ausgangsdispersion und eine Siliciumdioxid-Ausgangsdispersion zunächst unter Rühren vermischt und nachfolgend bei einer Scherrate von 10000 bis 30000 sdispergiert, wobei a) die Ceroxid-Ausgangsdispersion - als feste Phase 0,5 bis 30 Gew.-% Ceroxidpartikel enthält, - einen d-Wert der Teilchengrößenverteilung von 10 bis 100 nm - und einen pH-Wert von 1 bis 7 aufweist und - b) die Siliciumdioxid-Ausgangsdispersion - als feste Phase 0,1 bis 30 Gew.-% kolloidale Siliciumdioxidpartikel enthält, - einen d-Wert der Teilchengrößenverteilung von 3 bis 50 nm und - einen pH-Wert von 6 bis 11,5 aufweist, d) unter der Maßgabe, dass - der d-Wert der Teilchengrößenverteilung der Ceroxidpartikel größer ist als der der Siliciumdioxidpartikel, - das Gewichtsverhältnis Ceroxid/Siliciumdioxid > 1 ist und - die Menge an Ceroxid-Ausgangsdispersion so bemessen ist, dass das Zetapotential der Dispersion negativ ist.

    ВОДНЫЕ ПОЛИРУЮЩИЕ КОМПОЗИЦИИ, СОДЕРЖАЩИЕ N-ЗАМЕЩЕННЫЕ ДИАЗЕНИЙ ДИОКСИДЫ И/ИЛИ СОЛИ N -ЗАМЕЩЕННЫХ N'-ГИДРОКСИ-ДИАЗЕНИЙ ОКСИДОВ

    公开(公告)号:RU2608890C2

    公开(公告)日:2017-01-26

    申请号:RU2013115236

    申请日:2011-09-06

    Applicant: BASF SE

    Abstract: Изобретениеотноситсяк воднымполирующимкомпозициямдляполированияматериаловподложекэлектрических, высокойточностимеханическихи оптическихустройств. Воднаяполирующаякомпозициясодержит (A) поменьшеймереоднорастворимоев водеилидиспергируемоев водесоединение, выбранноеизсолей N-замещенных N'-гидрокси-диазений-оксидов, и (В) абразивныечастицы, содержащиеоксидцерияилисостоящиеизнего. Описываетсятакжеспособполированияматериаловдодостиженияжелательнойплоскостностис использованиемуказаннойкомпозиции. Предложеннаяполирующаякомпозицияобеспечиваетповышеннуюоксид/нитрид-селективностьи улучшеннуюглобальнуюи локальнуюплоскостностьотполированныхматериаловэлектрических, механическихи оптическихустройств. 3 н. и 6 з. п. ф-лы, 2 табл., 6 пр.

Patent Agency Ranking