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公开(公告)号：KR1020130115514A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120037867
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: An electronic beam emitting device performing the fine position adjustment of a sample is provided to efficiently use an inner space by connecting a shaft manipulation member and a shaft in series with each other. CONSTITUTION: A chamber housing (121) includes an electronic beam emitting unit (130). A chamber housing opening and closing unit (125) opens and closes the chamber housing. A sample placing unit includes a placing space for a sample. A sample position adjusting unit is installed in the chamber housing opening and closing unit. The sample position adjusting unit adjusts a position of the sample placing unit.
Abstract translation: 目的：提供一种执行样品精细位置调整的电子束发射装置，通过将轴操作构件和轴串联连接来有效地使用内部空间。 构成：腔室（121）包括电子束发射单元（130）。 腔室开启和关闭单元（125）打开和关闭腔室壳体。 样品放置单元包括用于样品的放置空间。 样品位置调节单元安装在腔室开启和关闭单元中。 样品位置调整单元调节样品放置单元的位置。
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公开(公告)号：KR101229799B1
公开(公告)日：2013-02-05
申请号：KR1020110049745
申请日：2011-05-25
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서, 레이저 리페어 장치는 검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와; 검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와; 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와; 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와; 한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과; 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와, 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와, 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛과, 상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과, 상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을 포함한다. 이에 따라, 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 검사 및 리페어 과정을 진행할 수 있어 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020110121004A
公开(公告)日：2011-11-07
申请号：KR1020100040395
申请日：2010-04-30
Applicant: (주)펨트론
IPC: H01J37/28 , H01J37/248 , H01J37/24
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/242 , H01J37/248
Abstract: PURPOSE: The electron gun power supply device of a scanning electron microscope is provided to prevent the dereliction of a current by secluding power source inflow to a filament according to the operation of a protection circuit. CONSTITUTION: An electron gun power supply device is floated in the secondary side of a filament and bias. A current leakage protection circuit(Q6) secludes a voltage input to the primary side of a transformer. A zener diode(D8) senses whether high voltage is generated in the secondary side of the transformer or not. A relay(K1) is switched according to the operation of the zener diode. The transformer diminishes distributed capacity between windings.
Abstract translation: 目的：提供扫描电子显微镜的电子枪供电装置，以防止根据保护电路的工作，将电源流入灯丝的电源淹没。 构成：电子枪电源装置漂浮在灯丝的二次侧和偏压。 电流泄漏保护电路（Q6）将输入到变压器的初级侧的电压分开。 齐纳二极管（D8）感测在变压器次级侧是否产生高电压。 继电器（K1）根据齐纳二极管的工作进行切换。 变压器减小绕组间的分配容量。
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公开(公告)号：KR101017300B1
公开(公告)日：2011-02-28
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광과 상이한 색상의 제3 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제3 광원과; 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 제3 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터, 제2 흑백 이미지 데이터 및 제3 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원, 상기 제3 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005146B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 2 대 이상의 카메라로부터 각각 획득된 홀로그램을 이용하여 표면 형상을 측정하는 3D 측정 광학 시스템에 적용되는 2 대의 카메라를 정렬하는 카메라 정렬방법에 있어서, (a) 상기 3D 측정 광학 시스템의 광 경로 상에 배치된 편광 요소가 동일한 편광 상태를 갖도록 상기 편광 요소의 편광 방향을 정렬하는 단계와, (b) 광원부로부터 빔이 조사되어 상기 2 대의 카메라에 의해 홀로그램이 획득되는 단계와, (c) 상기 한 쌍의 홀로그램에 대해 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여, 상기 한 쌍의 카메라 간의 인 플레인 미스얼라인먼트(In plane misalignment)와 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment) 중 적어도 하나를 정렬하는 단계를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 상기 인 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c1) 상기 상관관계(Correlation) 기법 상의 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 빔의 상기 카메라로의 입사 방향을 축으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c2) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 상기 홀로그램 상의 위치에 기초하여 상기 입사 방향에 수직한 좌표 평면 상의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c3) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 상기 각 카메라로 입사되는 빔의 광 경로의 거리에 대한 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 와, (c4) 상기 한 쌍의 홀로그램 내의 동일한 위치에 복수의 단위 섹터를 선택하고, 상호 대응하는 단위 섹터에 대해 상기 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여 추출한 상기 각 단위 섹터에 대한 상관관계 피크값에 기초하여, 상기 좌표 평면의 두 축을 중심으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100087791A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A birefringence measuring method and apparatus using off-axis digital holography are provided to enable measurement of a large object such as LCD glass and minimize causes of noise. CONSTITUTION: A birefringence measuring apparatus using off-axis digital holography comprises a first photographing unit(50), a second photographing unit(60), a light source(10), a first beam splitter(20), a reference mirror(30), a second beam splitter(21), a reflection mirror(40), a third beam splitter(22), a vertical linear polarizer(51), a horizontal linear polarizer(61), and a controller. The light source generates a linear polarized beam having a polarization direction of 45°. The first beam splitter outputs the linear polarized beam by dividing it into a measurement beam route and a reference beam route. The reference mirror is arranged to incline to the reference beam route in order to apply off-axis technique. The second beam splitter faces the linear polarized beam to a reference mirror. The reflection mirror reflects the linear polarized beam to a measurement object(100). The third beam splitter outputs the measurement beam by dividing it into the first photographing unit and the second photographing unit. The vertical linear polarizer passes the vertical polarization component of interference light and outputs it to the first photographing unit. The horizontal linear polarizer passes through the horizontality polarization component of interference light and outputs it to the second photographing unit. The controller calculates the level of birefringence on the measurement object.
Abstract translation: 目的：提供使用离轴数字全息术的双折射测量方法和装置，以便能够测量诸如LCD玻璃的大型物体并且最小化噪声的原因。 构成：使用离轴数字全息术的双折射测量装置包括第一拍摄单元（50），第二拍摄单元（60），光源（10），第一分束器（20），参考反射镜（30） ，第二分束器（21），反射镜（40），第三分束器（22），垂直线偏振器（51），水平线性偏振器（61）和控制器。 光源产生偏振方向为45°的线偏振光束。 第一分束器通过将线偏振光束分成测量光束路径和参考光束路径来输出。 参考镜被布置成倾斜到参考光束路径以便应用离轴技术。 第二分束器将线偏振光束面对参考反射镜。 反射镜将线偏振光束反射到测量对象（100）。 第三分束器通过将测量光束分成第一拍摄单元和第二拍摄单元来输出测量光束。 垂直线偏振器通过干涉光的垂直偏振分量并将其输出到第一拍摄单元。 水平线性偏振器通过干涉光的水平偏振分量并将其输出到第二拍摄单元。 控制器计算测量对象上的双折射水平。
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公开(公告)号：KR100902170B1
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：KR1020080046004
申请日：2008-05-19
Applicant: (주)펨트론
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2509 , G01N21/956 , G01N2021/95638
Abstract: A surface shape measuring apparatus is provided to improve the processing speed and to obtain a two-dimension image by using a black and white camera. A surface shape measuring apparatus is composed of a first light source(31) irradiating a first single color light to the surface of the object, a second light source(32) irradiating the second single color light to the surface of the object, a black and white camera(10) taking a picture of the first and second single color lights, and a control unit(40) producing a mixed color image.
Abstract translation: 提供了一种表面形状测量装置，以通过使用黑白相机提高处理速度并获得二维图像。 表面形状测量装置由将第一单色光照射到物体的表面上的第一光源（31），将第二单色光照射到物体表面的第二光源（32），黑色 和白相机（10）拍摄第一和第二单色光的图像，以及产生混合彩色图像的控制单元（40）。
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公开(公告)号：KR100867302B1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020080034784
申请日：2008-04-15
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
IPC: G03H5/00
Abstract: A 3D measurement device using digital holography is provided to complement a demerit in measurement speed the existing on-axis method has and a demerit in lateral resolution, thereby satisfying the measurement speed and the lateral resolution. An optical source unit(10) emits light toward a light splitting unit(20). The optical source unit comprises a light source(11), a fixing member(13) and a light source polarizing plate(12). The light source emits laser light of short wavelength. A He-Ne laser is used as a light source. If laser light having short wavelength is emitted, another type laser can be applied.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置，以补偿现有的轴上方法具有的测量速度和横向分辨率的缺点，从而满足测量速度和横向分辨率。 光源单元（10）向分光单元（20）发射光。 光源单元包括光源（11），固定构件（13）和光源偏振板（12）。 光源发出短波长的激光。 氦氖激光器用作光源。 如果发射具有短波长的激光，则可以应用另一种类型的激光。
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公开(公告)号：KR1020060087714A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008523
申请日：2005-01-31
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 기준 미러와, 상기 광원으로부터의 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 다 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 다 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 다 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 다 파장 범위 내의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种厚度和形状测量系统。 根据本发明的厚度和形状测量系统包括：发光的光源; 参考反射镜，设置在光学分区之间，用于将光照射到测量对象物，并从所述光源，参考反射镜和光学分割的光被参考反射镜分离的与干涉滤光器用于发射光的波长范围 干扰模块; 具有包括多波长范围的波长色散范围的光谱部分，用于分离从测量对象反射的光和从参考镜反射的光的分光镜; 图像形成单元，用于由分光单元形成光束; 基于除了图像上形成的光的波长范围的多波长范围之外的波长范围中的光来计算关于测量对象的厚度的信息，并且关于计算出的厚度和光的信息 以及控制器，用于基于多波长范围中的光来计算关于测量对象的形状的信息。 因此，可以减少测量厚度和形状所需的时间，同时降低制造成本。
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公开(公告)号：KR1020050119242A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：KR1020040044292
申请日：2004-06-16
Abstract: 본 발명은 바닥면과, 상기 바닥면에 일 영역 도포된 오브젝트를 갖는 표면형상 측정방법에 있어서, 기준면을 결정하는 단계와; 상기 기준면으로부터 상기 기판의 표면까지의 제1 높이 데이터를 측정하는 단계와; 상기 바닥면 상에서 상기 오브젝트가 도포된 영역을 포함하는 관심 영역을 결정하는 단계와; 블롭 해석(Blob Analysis) 기법을 이용하여 상기 관심 영역 내에서 상기 오브젝트의 경계를 결정하는 단계와; 상기 제1 높이 데이터와, 결정된 상기 오브젝트의 경계에 기초하여 상기 기판의 표면 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 기판의 표면형상을 측정하는데 있어 기판의 실제 바닥면에 대한 데이터를 반영하여 기판의 실제 바닥면에 대한 기판의 표면형상, 특히 솔더 등의 오브젝트의 형상을 보다 정확하게 측정할 수 있다.
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