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公开(公告)号：CN103137418B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201210595867.7
申请日：2012-11-29
Applicant: FEI公司
Inventor： B·R·小劳思
CPC classification number: H01J37/285 , G01T1/28 , H01J27/16 , H01J37/05 , H01J37/077 , H01J37/08 , H01J37/10 , H01J37/1471 , H01J37/265 , H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/305 , H01J37/3056 , H01J2237/0817 , H01J2237/24415 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。
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公开(公告)号：CN105830193A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480046186.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/006
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。
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公开(公告)号：CN104217910A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410170093.2
申请日：2014-04-25
Applicant: FEI公司 , 马克斯·普朗克索赔科学公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/285 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及在透射电子显微镜（100）中使用相位片（118）的方法，所述相位片包括薄膜，所述方法包括：在所述透射电子显微镜中引入所述相位片；通过用聚焦的电子束照射所述薄膜来准备所述相位片；在所述透射电子显微镜中引入样品（108）；以及通过使用所准备的相位片来形成所述样品的图像，其特征在于：准备所述相位片涉及通过用聚焦的电子束照射所述相位片来局部地构建由所述薄膜的所述电子结构中的改变引起的真空势，所述真空势导致具有比在所述未照射的薄膜处更小的值的绝对相移。优选地加热所述相位片以避免污染。用该相位片实现的所述相移可以通过使所述照射的斑点的所述直径变化来调谐。
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公开(公告)号：CN1940546B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200610135921.4
申请日：2002-09-10
IPC: G01N23/227 , G01N23/18
CPC classification number: H01J37/244 , G01N21/9501 , G03F1/84 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明公开了一种检测设备，用于检测样本表面的缺陷，所述设备包括：电子枪，用于向保持在真空环境中的样本发射辐射波束，以便从所述样本中辐射出二次电子束；传感器，包括EB-CCD传感器或EB-TDI传感器，用于检测从所述样本中辐射出的二次电子束，所述传感器允许所述二次电子束直接进入所述传感器，并且形成二维图像，所述传感器被设置在所述真空环境中；电子光学系统，用于将所述二次电子束引导到所述传感器；以及用于将信号从所述传感器传送到处理设备中的馈通；其中所述处理设备处理所述信号，以便检测所述样本表面上的缺陷，并且所述处理设备设置在所述真空环境的外部。
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公开(公告)号：CN100550270C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200480019446.3
申请日：2004-05-26
Applicant: 成像科学仪器公司
Inventor： 泰伊·特拉维斯·格里布
IPC: H01J37/285 , G01N25/00
CPC classification number: H01J37/285 , B82Y15/00 , H01J37/05 , H01J37/10 , H01J2237/024 , H01J2237/0492 , H01J2237/053 , H01J2237/244
Abstract: 一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极，其中中间电极被充电到某个电势，使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器，和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度，从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极，它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成，以便某个范围的过滤和聚焦效应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1940546A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200610135921.4
申请日：2002-09-10
IPC: G01N23/227 , G01N23/18
CPC classification number: H01J37/244 , G01N21/9501 , G03F1/84 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明公开了一种检测设备，用于检测样本表面的缺陷，所述设备包括：电子枪，用于向保持在真空环境中的样本发射辐射波束，以便从所述样本中辐射出二次电子束；传感器，包括EB－CCD传感器或EB－TDI传感器，用于检测从所述样本中辐射出的二次电子束，所述传感器允许所述二次电子束直接进入所述传感器，并且形成二维图像，所述传感器被设置在所述真空环境中；电子光学系统，用于将所述二次电子束引导到所述传感器；以及用于将信号从所述传感器传送到处理设备中的馈通；其中所述处理设备处理所述信号，以便检测所述样本表面上的缺陷，并且所述处理设备设置在所述真空环境的外部。
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公开(公告)号：CN1407334A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN02141674.5
申请日：2002-09-10
IPC: G01N23/18
CPC classification number: H01J37/244 , G01N21/9501 , G03F1/84 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
Abstract: 一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。
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公开(公告)号：KR1020160132048A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020167027412
申请日：2015-03-31
Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC classification number: H01L22/12 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/221 , H01J2237/24592 , H01J2237/2809 , H01J2237/2814 , H01J2237/2817 , H01L21/0332 , H01L21/0335 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L22/00
Abstract: SADP를복수회 이용해서형성된미세라인 & 스페이스패턴이어도이니셜코어(initial core)의위치를높은정밀도로특정가능한하전입자선장치를제공하기위하여, 하전입자선장치에있어서, 복수의라인형상패턴을갖는시료(807)에의하전입자선의조사에의해시료로부터방출된이차하전입자를검출하는검출기(810)와, 이차하전입자의신호에의거한시료의표면의화상데이터를표시하는표시부(817)와, 화상데이터로부터복수의라인형상패턴에대한 LER값을산출하는산출부(812)와, 그값끼리를비교해서이니셜코어의위치를판정하는판정부(816)를갖는다.
Abstract translation: 提供一种带电粒子束装置，即使在多次由SADP形成细线和空间图案时，也能够高精度地指定初始芯的位置。 带电粒子束装置包括：检测器（810），当检测器（810）将带电粒子束发射到具有多个线状图案的样品时，检测从样品（807）排出的二次带电粒子;显示单元（817），其显示 基于所述二次带电粒子的信号的所述样本的表面的图像数据，计算单元（812），其根据所述图像数据计算相对于所述多个线状图案的LER值，以及判定 单元（816），其比较该值以确定初始核心的位置。
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公开(公告)号：KR1020160048918A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：KR1020167008193
申请日：2014-08-28
Applicant: 아셀타 나노그라픽
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/304 , G03F7/70441 , G03F7/705 , H01J37/285 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J2237/2487 , G03F7/2061 , G03F7/2059
Abstract: 전자빔을타겟상으로투사하기위한방법은타겟에있어서의전자들의산란효과들의보정을포함한다. 이러한보정은구간적다항함수에따른방사상변동을갖는포인트확산함수의계산단계에의해가능하게된다.
Abstract translation: 用于将电子束投射到目标上的方法包括校正目标中的电子的散射效应。 通过具有根据分段多项式函数的径向变化的点扩展函数的计算步骤，可以进行该校正。
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公开(公告)号：KR101842055B1
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：KR1020167027412
申请日：2015-03-31
Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC classification number: H01L22/12 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/221 , H01J2237/24592 , H01J2237/2809 , H01J2237/2814 , H01J2237/2817 , H01L21/0332 , H01L21/0335 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L22/00
Abstract: SADP를복수회 이용해서형성된미세라인 & 스페이스패턴이어도이니셜코어(initial core)의위치를높은정밀도로특정가능한하전입자선장치를제공하기위하여, 하전입자선장치에있어서, 복수의라인형상패턴을갖는시료(807)에의하전입자선의조사에의해시료로부터방출된이차하전입자를검출하는검출기(810)와, 이차하전입자의신호에의거한시료의표면의화상데이터를표시하는표시부(817)와, 화상데이터로부터복수의라인형상패턴에대한 LER값을산출하는산출부(812)와, 그값끼리를비교해서이니셜코어의위치를판정하는판정부(816)를갖는다.
Abstract translation: 对于SADP提供特定可用带电粒子射线装置，次数的位置的精细的线和空间图案可以是使用一个高精度制作的初始芯（最初芯），并且在带电粒子射线装置，具有多个线状图案的 和用于显示检测器810用于检测chaha显示器817通过带电的带电粒子线照射从样本发射到样品807的颗粒，基于二次带电粒子的信号的样品的表面的图像数据， 计算单元812，用于根据图像数据计算多个线形图案的LER值;以及确定单元816，用于比较这些值以确定初始内核的位置。
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