公开(公告)号：KR1019970076070A

公开(公告)日：1997-12-10

申请号：KR1019960017848

申请日：1996-05-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 전영진 ,  최상수 ,  정해빈 ,  이종현 ,  유형준

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/50

Abstract: 본 발명은 마스크용 글래스 링 구조에 관한 것으로서, 종래 글래스 링 구조를 개선한 것이다.
즉, 본 발명은 종래의 글래스 링의 기능 및 역할을 크게 저하시키지 않으면서도 글래스 링과 실리콘 웨이퍼 뒷면과의 접착면적을 적절히 축소 조절하여, 멤브레인의 편평도 및 OPD(Out-of-Plane Distortion)/IPD(In-Plane Distortion)특성을 크게 개선시킬 수 있도록 한 것이다.
그 글래스 링의 구조는 실리콘 웨이퍼 뒷면과 접착부위 면적을 달리하기 위하여 실리콘 웨이퍼 외경 보다 작은 임의의 크기의 외경 및 이에 상응하는 임의의 내경 크기를 갖고서 마스크를 지지하도록 구성된 것이다.
또 다른 글래스 링의 구조는 여러 구조물 또는 여러 조각으로 구성할 수가 있고, 또한 글래스 링 표면에 글래스 링과 웨이퍼 뒷면과의 접촉면적을 고의로 축소하기 위해 소정 형태의 돌기들을 형성할 수 있는 구조로 된 것이다.

公开(公告)号：KR1019970030324A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950042065

申请日：1995-11-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 프로브 빔 주사방식을 사용하여 촛점신호의 측정오차를 최소화함으로써 자동촛점장치의 정밀도와 분해능을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다. 본 발명의 웨이퍼 자동촛점장치는 반도체 노광장치의 웨이퍼 자동촛점장치에 있어서, 반도체 레이저(101); 전기한 반도체 레이저(101)로 부터 발생된 빛의 편광방향을 TE 편광으로 바꾸기 위한 선 편광자(103) 및 슬릿(104)의 광학계; 전기한 슬릿(104)으로 부터 투사된 빛을 사용하여 웨이퍼 스테이지(90)상의 웨이퍼(80)에 프로브 빔을 주사하기 위한 갈바노미터(106)로 이루어진 주사거울(106); 웨이퍼(80)상에서 반사된 반사광을 실린더상 렌즈(111)에 집속하기 위한 광학계 및 포로브 빔의 길이 방향을 압축하여 PSD(112)상에 전달하기 위한 실린더상 렌즈(112); 및, 발광 및 수광회로부(140)와 신호처리 및 제어부(150)로 구성되어 전기한 광학계에 의한 광학신호를 전기신호로 변환하기 위한 자동촛점 신호처리계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100459536B1

公开(公告)日：2004-12-03

申请号：KR1020020063226

申请日：2002-10-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 곽창수 ,  임율균 ,  정해빈 ,  김대용

IPC: H01J9/24

Abstract: PURPOSE: A mosaic type chuck is provided to achieve a desired flatness without limitation of size of processing machine by assembling a plurality of part chucks. CONSTITUTION: A mosaic type chuck comprises a plurality of part chuck(1), a base plate(3), a plurality of height adjusting pins(5), and a plurality of part chuck height adjusting devices(7). The base plate is arranged at the lower part of the part chuck and supports and fixes the part chuck. The height adjusting pins are assembled to the base plate and positioned at a screw hole mounted on the base plate in such a manner that the height adjusting pins are adjusted to have the same height each other. The part chuck height adjusting devices fix the part chuck to the base plate and adjust the height and angle of the part chuck.

Abstract translation: 目的：提供马赛克型卡盘以通过组装多个零件卡盘来实现期望的平坦度而不限制加工机器的尺寸。 一种镶嵌式卡盘，包括多个零件卡盘（1），底板（3），多个高度调节销（5）和多个零件卡盘高度调节装置（7）。 底盘安装在零件卡盘的下部，并支撑和固定零件卡盘。 高度调节销组装到底板上，并且定位在安装在底板上的螺纹孔处，使得高度调节销被调节成彼此具有相同的高度。 零件卡盘高度调整装置将零件卡盘固定在底板上，并调整零件卡盘的高度和角度。

公开(公告)号：KR1020040033934A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：KR1020020063226

申请日：2002-10-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 곽창수 ,  임율균 ,  정해빈 ,  김대용

IPC: H01J9/24

Abstract: PURPOSE: A mosaic type chuck is provided to achieve a desired flatness without limitation of size of processing machine by assembling a plurality of part chucks. CONSTITUTION: A mosaic type chuck comprises a plurality of part chuck(1), a base plate(3), a plurality of height adjusting pins(5), and a plurality of part chuck height adjusting devices(7). The base plate is arranged at the lower part of the part chuck and supports and fixes the part chuck. The height adjusting pins are assembled to the base plate and positioned at a screw hole mounted on the base plate in such a manner that the height adjusting pins are adjusted to have the same height each other. The part chuck height adjusting devices fix the part chuck to the base plate and adjust the height and angle of the part chuck.

Abstract translation: 目的：通过组装多个部件卡盘，提供镶嵌式卡盘以实现所需的平面度，而不受加工机尺寸的限制。 构成：马赛克型卡盘包括多个部件卡盘（1），基板（3），多个高度调节销（5）和多个部件卡盘高度调节装置（7）。 基板布置在部件卡盘的下部，并支撑并固定部件卡盘。 将高度调节销组装到基板上并定位在安装在基板上的螺钉孔中，使得高度调节销被调节为具有相同的高度。 零件卡盘高度调节装置将零件卡盘固定在基板上，调整零件卡盘的高度和角度。

公开(公告)号：KR100319455B1

公开(公告)日：2002-01-05

申请号：KR1019990062273

申请日：1999-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  김도훈 ,  최상수 ,  정해빈 ,  김대용

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02686 ,  G02B5/3083 ,  G02B7/04 ,  G02B13/143 ,  G02B26/0891 ,  G02B27/28 ,  H01L21/2026

Abstract: 본발명은엑시머레이저를광원으로사용하여무정형실리콘박막을미세줄 무늬패턴의노광으로결정화시킨실리콘박막으로만드는결정화장비용광학시스템을제공하는데그 목적이있다. 본발명에따르면, 엑시머레이저를광원으로사용하여무정형실리콘박막을미세줄 무늬패턴의노광으로결정화시킨실리콘박막으로만드는결정화장비용광학시스템에있어서, 상기엑시머레이저로부터광축방향으로순차적으로나열된제 1 렌즈내지제 10 렌즈를포함하고; 상기제 1 렌즈는양볼록렌즈이고, 상기제 2 렌즈는상기광원측방향으로볼록한볼록오목렌즈이고, 상기제 3 렌즈는상기광원측방향으로볼록한볼록오목렌즈이고, 상기제 4 렌즈는양오목렌즈이고, 상기제 5 렌즈는양볼록렌즈이고, 상기제 6 렌즈는상기광원측방향으로오목인오목볼록렌즈이고, 상기제 7 렌즈는상기광원측방향으로볼록인볼록오목렌즈이고, 상기제 8 렌즈는양볼록렌즈이고, 상기제 9 렌즈는상기광원측방향으로볼록인볼록오목렌즈이고, 상기제 10 렌즈는양볼록렌즈인것을특징으로하는결정화장비용광학시스템이제공된다.

公开(公告)号：KR1020010002724A

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019990022660

申请日：1999-06-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최상수 ,  이각현 ,  김도훈 ,  정해빈 ,  조경익

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: An off-axial aperture with a fly's eye lens and a fabricating method thereof are provided to pass a larger quantity of light through the off-axial aperture, thereby increasing a throughput and facilely fabricating the aperture. CONSTITUTION: The device comprises a light shielding area formed at a center portion; a light penetrating area formed around the light shielding area and comprised of a fly's eye lens. The aperture further comprises a partial light penetrating area formed at a portion except the light shielding area and the light penetrating area and having a lower permeability than that of the light penetrating area. In the aperture, the light penetrating area formed into a quadruple, hexapole or annular type. A method of fabricating the off-axial aperture comprises the steps of: forming a light shielding pattern on an entire surface of a transparent substrate(100); forming the first resist pattern having a curved surface at a fly's eye lens area of the substrate; and performing an etching process to form the fly's eye lens on the substrate.

Abstract translation: 目的：提供具有飞眼镜片的非轴向孔径及其制造方法，以使较大量的光通过离轴孔径，从而增加产量并便利地制造孔径。 构成：该装置包括形成在中心部分的遮光区域; 一个透光区，形成在遮光区周围，由飞眼镜片组成。 孔径还包括形成在除了遮光区域和透光区域以外的部分的透光性比透光面积低的部分光穿透区域。 在孔中，透光区形成四重六极或环形。 制造离轴孔的方法包括以下步骤：在透明基板（100）的整个表面上形成遮光图案; 在所述基板的飞眼透镜区域形成具有弯曲表面的第一抗蚀剂图案; 并进行蚀刻处理，以在基板上形成蝇眼透镜。

公开(公告)号：KR100274149B1

公开(公告)日：2000-12-15

申请号：KR1019970071609

申请日：1997-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최상수 ,  차한선 ,  김종수 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A method for patterning a metal layer is provided to form a metal layer of a uniform width by forming and patterning an anti-reflective layer on the metal layer. CONSTITUTION: A metal layer(4) is formed on a semiconductor substrate(5). The metal layer(4) is formed by one of TiW, Al, W, W-Si, Cr, and Ml. An anti-reflective oxide layer(6) and an anti-reflective metal layer(7) are formed sequentially on the metal layer(4). A photoresist(2) is applied on the anti-reflective metal layer(7). A photolithography process is performed. The anti-reflective oxide layer(6) has a thickness of 850 to 1050 angstroms. The anti-reflective oxide layer(7) has a thickness of 20 to 220 angstroms.

Abstract translation: 目的：提供图形化金属层的方法，以通过在金属层上形成和图案化抗反射层来形成均匀宽度的金属层。 构成：在半导体衬底（5）上形成金属层（4）。 金属层（4）由TiW，Al，W，W-Si，Cr和M1中的一种形成。 在金属层（4）上依次形成抗反射氧化物层（6）和抗反射金属层（7）。 在抗反射金属层（7）上施加光致抗蚀剂（2）。 进行光刻处理。 抗反射氧化物层（6）的厚度为850〜1050。 抗反射氧化物层（7）的厚度为20至220埃。

公开(公告)号：KR100261266B1

公开(公告)日：2000-07-01

申请号：KR1019970054787

申请日：1997-10-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김종수 ,  최상수 ,  정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 ,  유형준

IPC: G02B6/27

Abstract: PURPOSE: A polarization optical splitter using an amorphous fluoric resin adhesive and a method of fabricating the same are provided by which the polarization optical splitter that places an image zone and an object zone at different locations is formed using an adhesive that is transparent at 193nm and has endurance for light irradiated on the adhesive for a long period of time. CONSTITUTION: Multi-level dielectric thin films(16,17) formed of transparent materials are coated on the sloped face of one of a pair of prisms(4,8). The thin films includes a material having a high refractive index and a material having a low refractive index. The multi-level dielectric thin films and the sloped face of the other prism are attached to each other using an amorphous fluoric resin adhesive(21), to fabricate a polarization optical splitter. The adhesive having a refractive index of 1.1 to 2.0, and transmissivity of 90% per 1cm.

Abstract translation: 目的：提供使用非晶态氟树脂粘合剂的偏振光分路器及其制造方法，通过该偏光分光器，使用193nm透明的粘合剂形成在不同位置放置图像区域和对象区域的偏振光分路器， 具有长时间照射在粘合剂上的光的耐久性。 构成：由透明材料形成的多层电介质薄膜（16,17）涂覆在一对棱镜（4,8）之一的倾斜面上。 薄膜包括具有高折射率的材料和具有低折射率的材料。 使用非晶态氟树脂粘合剂（21）将多层电介质薄膜和另一棱镜的倾斜面彼此附接，以制造偏振分光器。 折射率为1.1〜2.0，透光率为1％的透光率为90％。

公开(公告)号：KR100246545B1

公开(公告)日：2000-06-01

申请号：KR1019970054427

申请日：1997-10-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최상수 ,  유형준 ,  정해빈

IPC: G03F1/22 ,  G03F1/54

Abstract: 본 발명은 GaAs의 햄트(HEMTs) 소자 개발에 필요한 티형 및 감마형 게이트와 같은 특수 게이트(special gate) 제작에 사용되는 X-선 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다. 종래에는 X-선 마스크를 사용하여 티형 게이트를 제작할 때, 티형 게이트의 풋프린터(footprint)를 X-선 리소그래피를 통해 먼저 형성시킨 후, 다시 광 리소그래피로 헤드(Head)부분을 형성하는 방법으로 리소그래피를 다시 수행하는 등 공정상의 절차가 쉽지 않은 문제가 있다. 따라서, 본 발명은 풋프린터 부분에 해당되는 X-선 흡수체와 헤드 부분에 해당되는 X-선 흡수체의 두께를 달리하여 X-선 투과도를 조절하고, 이들 X-선 흡수체가 마스크 기판에 동시에 존재하도록 X-선 마스크를 제작하므로써, 한번의 X-선 리소그래피로 티형 및 감마형 게이트와 같은 특수 게이트를 웨이퍼상에 창출할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR100249789B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019970071611

申请日：1997-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제작의 핵심을 이루는 스텝퍼나 스캐너와 같은 노광장비에 있어서, 실제 노광 작업을 위해 반도체 회로 패턴을 담고있는 레티클을 카세트 혹은 카트릿지로 부터 레티클 척으로 반입하였을 때, 레티클이 웨이퍼나 광학계의 상대적인 적정 위치에 올 수 있도록 레티클을 수평방향으로 정렬할 뿐만 아니라 광축 방향으로 수직 정렬을 동시에 가능케 하는 레티클 정렬 장치에 관한 것으로, 이와같은 본 발명은 정전용량 센서를 사용하여 그 장치가 비교적 간단하면서도 높은 정밀도를 얻을 수 있다.