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公开(公告)号：CN1540316A
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN200410035052.9
申请日：2004-04-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/31
Abstract: 一种原子吸收光谱仪，对一个试样进行测量时，在试样引入石墨管以前，信号电压预先储存在存储器中，该信号电压由一个光电倍增管进行检测，其与石墨管的原子化温度、分光仪中设有的输入和出口缝隙宽度及由衍射光栅分解的光线的波长所有可编程的组合有关。在对试样进行测量时，由负高压控制器按照测量要求控制光电倍增管的放大倍数，或通过控制从放大器输出的检测器信号的放大倍数设定最佳检测器信号电压后再进行检测。
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公开(公告)号：CN104949963B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201510135146.1
申请日：2015-03-26
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 中川良知
IPC: G01N21/73
CPC classification number: G01N21/73 , G01J3/443 , G01N21/68 , H01J49/105 , H05H1/30
Abstract: 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)、检测器(40)以及控制部(60)大致构成。另外，在检测器(40)具备光电倍增管(70)，具有检测器控制部(41)和输入部(42)。由于在光电倍增管(70)存在分压电阻r1~rn，因此由于被施加于光电倍增管(70)的施加电压Ve的变化而放大率不会立即变为固定，但是检测器控制部(41)在从预先向输入部(42)输入分析条件之后起直到向感应耦合等离子体装置(10)导入包括分析对象的元素的样本之前为止的期间中控制空转电压和空转电压施加时间来使倍增率固定。
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公开(公告)号：CN108109938A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: G01N21/274 , G01J3/2823 , G01J3/443 , G01N21/66 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01J2237/2482 , H01L21/681 , H01L22/26 , H05H1/0006
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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公开(公告)号：CN105556291B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201480041306.X
申请日：2014-05-29
Applicant: 激光测距光谱有限公司
CPC classification number: G01N21/718 , G01J3/4412 , G01J3/443 , G01N2201/06113
Abstract: 本发明公开一种利用通过双重脉冲激光诱导击穿光谱仪进行分子发光来侦测在一样品内的一元素的方法。所述方法包含观察来自包含欲侦测的所述元素的多个分子的多个发光。所述方法特别有用于侦测：卤素，其多个元素发光是难以侦测的；多个稀土元素；及硼。
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公开(公告)号：CN107941757A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710897288.0
申请日：2017-09-28
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 杨邓良 , 伊利亚·卡利诺夫斯基 , 方浩全 , 大卫·张
CPC classification number: G01N21/27 , G01J3/443 , G01N21/62 , G01N21/68 , G01N2021/625 , G01N2201/061 , G01N21/63 , G01N21/73
Abstract: 本发明涉及原位检测衬底处理系统的衬底区域中的氧的系统和方法。用于测量衬底上方的中性气体物质的浓度的测量系统包括位于室中以支撑衬底的衬底支撑件。等离子体源在室中在衬底上方产生等离子体。等离子体产生比中性气体物质具有更高的电离能的亚稳态物质。亚稳态物质激发位于衬底上方的中性气体物质。光学发射光谱仪(OES)传感器在等离子体由等离子体源产生的同时测量来自衬底上方的位置的光谱。控制器被配置为基于测得的光谱来确定衬底上方的区域中的中性气体物质的浓度，并且被配置基于该浓度选择性地处理衬底。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101500741B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN200680036602.6
申请日：2006-08-30
Applicant: 魄金莱默有限公司
Inventor： P·J·莫理斯罗
IPC: B23K10/00
CPC classification number: G01N21/73 , G01J3/443 , G01N21/68 , G01N2201/126 , H01J49/105
Abstract: 提供了在火炬中维持等离子体的装置。在某些实施例中，该装置包括构造成耦合电源和被构造成和设计提供沿着火炬径向平面的回路电流的第一电极。在一些实施例中，火炬的径向平面大体上垂直于火炬的纵轴。
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公开(公告)号：CN103649723B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201280034171.5
申请日：2012-05-18
Applicant: OY斯巴莱克有限公司
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/61 , G01B11/06 , G01J3/443 , G01N21/031 , G01N21/39 , G01N21/55 , G01N21/67 , G01N2021/0396
Abstract: 一种用于确定玻璃单元的间隙中所包含的气体混合物中的气体组分的浓度的非侵入式方法，该玻璃单元具有彼此间隔开的并且形成所述间隙的至少两个玻璃板。一个或多个光束以一定角度应用于所述玻璃单元的表面，其中所发射光束的波长在感兴趣的气体组分的至少一个吸收谱线周围或之上变化。透射至少一个表面或位于间隙的相对侧处的界面或从那里反射的光束被检测器所收集，并且随后确定处于感兴趣的气体组分的吸收谱线之上的所透射或反射的光束的强度的非线性变化。基于所述强度的非线性变化确定待测量的气体组分的浓度。
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公开(公告)号：CN104114984B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280061394.0
申请日：2012-12-11
Applicant: 塞莫费雪科学(埃居布朗)有限公司
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0229 , G01J3/024 , G01J3/0294 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01N21/67
Abstract: 一种火花光发射光谱仪，该光谱仪包括：一个用于引起来自一个样品的光的火花诱导发射的火花源；一个单一的入口狭缝；一个用于引导该光通过该单一入口狭缝的超环面反射镜；多个用于对已经由该反射镜引导通过该入口狭缝的光进行衍射的衍射光栅，在此该多个衍射光栅被同时地照射；以及至少一个用于检测来自该多个衍射光栅的衍射光的阵列检测器，其中，该反射镜用于引导该光通过该入口狭缝，使得来自该火花源中不同区域的光在这些光栅处的该光的一个图像中在空间上被分离，在此一个第一衍射光栅优先地由来自该火花源的一个第一区域的光照射且同时一个第二衍射光栅优先地由来自该火花源的一个第二区域的光照射。
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公开(公告)号：CN105824041A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610059086.4
申请日：2016-01-28
Applicant: 延世大学校产学协力团
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0218 , G01J3/0235 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , G01T1/29 , G01T1/00
Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。
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公开(公告)号：CN105008898A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380074290.8
申请日：2013-03-22
Applicant: 福斯分析股份公司
Inventor： 玛加·基斯汀·埃尔索伊 , 亨里克·V·朱尔 , 托马斯·尼古拉吉森
CPC classification number: G01N21/3563 , G01J3/28 , G01J3/443 , G01J2001/083 , G01N1/286 , G01N21/35 , G01N21/718 , G01N33/24 , G01N2201/129
Abstract: 一种用于测定样品(114)的特性的系统(102)，包含用于询问样品(114)的一个LIBS检测器(104，106)和一个红外吸收检测器(108，110)以便分别产生LIBS光谱数据和红外吸收光谱数据；以及一个被适配成用于应用至少一个化学计量预测模型的数据处理器(112)，每一个化学计量预测模型被构建成用于将LIBS和吸收光谱数据二者的特征与该样品的一个不同的特定特性、与衍生自该LIBS数据和该吸收数据二者的至少一部分的一个组合数据集相关联、优选定量地相关联，以便由此产生由那个模型关联的特定特性的测定、优选地定量测定。
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