可选择射束电流和能量分布的粒子源

    公开(公告)号:CN1658331A

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN200510051944.2

    申请日:2005-02-16

    Applicant: FEI公司

    CPC classification number: H01J37/05 H01J37/09 H01J37/153 H01J37/26

    Abstract: 本发明揭示了一种能够进行能量选择的粒子源。能量选择是通过使带电粒子束(13)偏心通过透镜(6)。由于这种方式,在经透镜(6)所形成的像15内出现能量扩散。通过将像(15)投射到光阑(7)上,可仅允许能谱内有限部分的粒子通过。因此,通过的射束(16)具有减小的能够分布。通过增设偏转单元(10),该粒子束(16)能够向光轴偏转。还可选择向光轴偏转通过透镜(6)中央的(例如具有较大射束电流的)射束(12)。

    用于光刻法的孔装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1129172C

    公开(公告)日:2003-11-26

    申请号:CN98117900.2

    申请日:1998-09-03

    Inventor: 小野田中

    CPC classification number: H01J37/09 H01J2237/0453 H01J2237/31794

    Abstract: 提供一种用于通过电子束光刻法在衬底上形成图形的装置,该装置包括:(a)形成有至少一个开口(6)的孔(10),电子束通过开口(6)穿过,(b)利用粘合剂(30)稳固支撑孔(10)的夹具(20),其特征在于孔(10)被粘接固定到夹具(20)上的孔(10)的表面形成有至少一个凹槽(9),用于流入粘合剂(30)的过量部分。可防止过量粘合剂被压出进入孔的开口中,从而防止在光刻胶膜上形成错误的图形。

    用于光刻法的孔装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1211818A

    公开(公告)日:1999-03-24

    申请号:CN98117900.2

    申请日:1998-09-03

    Inventor: 小野田中

    CPC classification number: H01J37/09 H01J2237/0453 H01J2237/31794

    Abstract: 提供一种用于通过电子束光刻法在衬底上形成图形的装置,该装置包括:(a)形成有至少一个开口(6)的孔(10),电子束通过开口(6)穿过,(b)利用粘合剂(30)稳固支撑孔(10)的夹具(20),其特征在于孔(10)被粘接固定到夹具(20)上的孔(10)的表面形成有至少一个凹槽(9),用于流入粘合剂(30)的过量部分。可防止过量粘合剂被压出进入孔的开口中,从而防止在光刻胶膜上形成错误的图形。

    一种大束径离子源及屏栅
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106683966A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201610792695.0

    申请日:2016-08-31

    Inventor: 刁克明

    CPC classification number: H01J37/09

    Abstract: 本发明涉及一种大束径离子源,包括:气体电离装置、离子光学系统和中和装置,其中气体电离装置用于产生等离子体,离子光学系统用于从等离子体中抽取离子束并加速,中和装置用于向离子束发射电子生成中性离子束;该大束径离子源的发射口径为100~200mm;所述离子光学系统包括在同一中心线上轴向间隔设置的屏栅和加速栅,该屏栅中部设有带栅孔的栅孔区,栅孔区的栅孔孔径沿径向方向从栅孔区圆心向外逐渐增大。本发明的大束径离子源,通过设计变孔径屏栅,使屏栅孔径与屏栅抽取的等离子浓度分布相匹配,进而通过不同的孔径抽取相同的束流密度,达到改善束流均匀度的目的,可产生束流宽、方向性强的离子束,且有效束径及均匀度大,束流稳定性强。

    离子照射装置、离子照射方法

    公开(公告)号:CN105103264B

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201580000348.3

    申请日:2015-02-27

    Abstract: 从离子源向离子加速装置16入射并且在离子加速管24内飞行的正离子被在离子加速管24的内部配置的多个加速电极2a~2h加速而向照射对象物照射。在离子加速管24内配置有多个磁铁装置5,使各磁铁装置5分别形成的磁力线的方向在相邻的磁铁装置5中以比0度大且90度以下的角度不同,使各磁力线在离子加速管24内沿一个方向旋转。使在离子加速管24内逆行的电子与磁力线交叉,使电子一边逆行一边增加离飞行轴的距离。电子与离子加速管24内的构件冲撞,在变为高能量之前停止,因此,不产生高能量X射线。

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