Abstract:
본 발명은 화합물반도체 태양광 전지에 관한 것으로서, 기판 상에 광전변환셀이 형성되고, 상기 광전변환셀 상부에 윈도우층이 형성되며, 상기 윈도우층 상부에 캡층 및 그리드전극이 형성된 화합물반도체 태양광 전지의 제조방법에 있어서, 상기 윈도우층 상에 제1감광막을 마스크로 하여 습식 식각하여 캡층을 형성하는 단계와, 상기 윈도우층 상에 n-금속층 패터닝을 위한 제2감광막을 형성하고, 상기 캡층 상에 n-금속층을 형성하는 단계와, 상기 윈도우층 및 상기 n-금속층 상에 투명전도성 산화물로 이루어진 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층 상층에 시드금속층을 증착하는 단계와, 상기 시드금속층 상에 그리드전극 패터닝을 위한 제3감광막을 형성하고, 상기 캡층 상의 시드금속층 상에 그리드전극을 형성하고, 윈도우층 및 보호층으로 이루 어진 영역 상의 시드금속층을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 투명전도성 산화물을 이용한 화합물반도체 태양광 전지의 제조방법 및 이에 의해 제조된 화합물반도체 태양광 전지를 그 기술적 요지로 한다. 이에 의해 갈바닉 효과를 억제하여 고품질의 화합물반도체 태양광 전지를 제공할 수 있으며, 투명전도성 산화물 박막을 윈도우층과 캡층의 보호층으로 사용함으로써, 윈도우층과 캡층의 손상으로 인한 화합물반도체 태양광 전지의 효율 저하를 방지하였으며, 캡층 형성 후 그리드전극 형성을 위한 시드금속층의 습식 식각 시에도 보호층으로 인해 윈도우층 및 캡층의 손상을 방지하여 화합물반도체 태양광 전지의 효율을 향상시키는 이점이 있다.
Abstract:
The present invention relates to a method of manufacturing a metal film with nanopatterns. The method of manufacturing a metal film with nanopatterns comprises: a first step of forming a sacrificial layer on the upper surface of a substrate; a second step of forming a seed layer for plating on the upper surface of the sacrificial layer; a third step of forming a metal film on the seed layer through electroplating; a fourth step of forming a photosensitive resin layer on the upper surface of the metal film and then forming a nanopattern made of the photosensitive resin layer on the upper surface of the metal film through exposure patterning and developing processes; and a fifth step of removing the sacrificial layer to separate the metal film with the nanopattern formed thereon from the substrate. According to the present invention, fine nanopatterns of equal to or less than 100 nm are uniformly formed while the present invention reduces process costs and time by simplifying processes, and the metal film with the nanopattern is simply manufactured.
Abstract:
수직 구조 반도체 발광소자 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 반도체 발광소자는 도전성 기판과 상기 도전성 기판 상에 형성된 p형 전극, 상기 p형 전극 상에 순차적으로 적층된 p형 반도체층, 활성층과 n형 반도체층 및 상기 n형 반도체층 상에 형성된 n형 전극을 포함하며, 상기 n형 반도체층은 표면에 규칙적인 나노미터급 광결정 패턴의 오목부가 형성된 것이 특징이다.
Abstract:
PURPOSE: An organic solar cell and a manufacturing method thereof are provided to improve solar cell efficiency by increasing an interfacial area of an electron donor layer and an electron accepting layer by adding a regular pattern to PN junction. CONSTITUTION: An anode(120) is formed on a transparent substrate(110). A regular pattern(123) is formed on an upper side of the anode. An electron accepting layer(130) is formed on the anode. A regular pattern(133) is formed on an upper side of the electron accepting layer. An electron donor layer(140) is formed on the electron accepting layer. A cathode(150) is formed on the electron donor layer.