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公开(公告)号：KR100744464B1
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：KR1020050028368
申请日：2005-04-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 집적형 인덕터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판, 산화막 및 활성층이 적층되어 형성되는 SOI 웨이퍼; 상기 SOI 웨이퍼 상의 소정영역에 형성되는 제1 금속배선; 상기 제1 금속배선과 전기적으로 연결되도록 상기 제1 금속배선의 상부에 형성되는 제2 금속배선; 및 상기 제1 및 제2 금속배선이 일정간격으로 이격되도록 상기 제1 금속 배선과 상기 제2 금속 배선 사이에 형성되며, 상기 제1 및 상기 제2 금속 배선의 전기적 연결을 위해 마련된 제1 비아홀을 포함하는 제1 층간절연막을 포함함으로써, 충실도(Quality factor; Q)를 향상시키고, 최대 충실도(Q)가 발생하는 주파수를 임의의 대역으로 조정할 수 있을 뿐만 아니라 기판으로의 누설전류를 방지하고 인덕터 내부의 발열을 억제할 수 있는 효과가 있다.
집적형 인덕터, SOI, 제1 및 2 금속배선, 층간절연막, 인덕턴스, 캐패시턴스, 충실도, 비아 홀-
公开(公告)号：KR100598571B1
公开(公告)日：2006-07-13
申请号：KR1020040015074
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B7/22
Abstract: 본 발명은 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광도파로인 코아를 형성한 후, 형성된 코아의 일측면에 기판과 평행하게 입사된 광이 코아와 수직방향으로 전환되도록 그 내부에 일정크기의 결함을 갖는 광자결정을 형성함으로써, 모바일 기기등에 사용되도록 초경량, 초박형 광픽업헤드를 용이하게 구성할 수 있는 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부 클래드층의 상부에 코아를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 코아의 일측면에 나노 크기를 갖는 다수의 격자로 구성된 광자결정을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
광픽업헤드(Optical pick-up head), 기판, 코아(Core), 광자결정(Photonic Crystal)-
公开(公告)号：KR100516919B1
公开(公告)日：2005-09-27
申请号：KR1020030047637
申请日：2003-07-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC) 및 이를 이용한 광 픽업 헤드(optical pickup head)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러(waveguide grating for one-beam coupling), 프레넬(Fresnel) 격자 렌즈로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러에 의해 기판 클래딩(substrate cladding) 쪽으로 커플링된다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 모드 진행 방향의 반대쪽과 기판을 향하여 전파하다가 반사형 프레넬 렌즈에 의해 회절되어 상부 클래딩(over cladding) 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 광 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명의 광 도파로 격자 렌즈는 단일 출력빔을 만들어내므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050065901A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097063
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/34
CPC classification number: G11B7/1353 , G02B6/124
Abstract: 본 발명은 평면 격자렌즈에 관한 것으로, 기판 위에 형성된 클래드층 및 코어층을 포함하여 구성되며 입사되는 레이저 광을 단일모드로 유지하는 광도파로와, 코어층 상부의 일정영역에 소정 길이의 격자 간격을 갖도록 형성되는 격자렌즈를 구비하되, 광도파로로 입사된 광은 격자렌즈의 수직방향으로 초점을 형성하도록 구성한다. 본 평면 격자렌즈를 이용하면, 모바일 광디스크 용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있도록 한다.
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公开(公告)号：KR1020050063641A
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020040015075
申请日：2004-03-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B11/105
Abstract: 본 발명은 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광자기 매체를 성형하기 위한 평활한 기판과 그의 상부에 일정하고 규칙적인 블록 코폴리머로 형성된 나노 패턴을 마스크로 하여 광자기 기록층을 형성함으로써, 광자기 매체의 기록밀도가 향상됨과 더불어 재생신호의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 대한 것이다.
본 발명의 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부층의 상부에 광자기 기록층을 형성하는 단계; (c) 상기 광자기 기록층의 상부에 일정한 두께로 블록 코폴리머층을 형성하는 단계; 및 (d) 식각공정을 통하여 나노 크기를 갖는 일정하고 규칙적인 패턴을 갖도록 패턴닝된 광자기 기록층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050055206A
公开(公告)日：2005-06-13
申请号：KR1020030088261
申请日：2003-12-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G11B7/263 , B29C59/022 , B29C2059/023 , B29D17/005 , B29L2011/00 , G02B5/1809 , G11B7/261
Abstract: 본 발명은 모바일 광 디스크용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있는 마이크로 격자렌즈의 제작 방법에 관한 것으로, 전자선 묘화법으로 금형 마스터를 제작하고, 금형 마스터를 이용하여 반전 복제물인 스탬퍼를 가공한다. 그리고 상기 스탬퍼를 이용한 압착 및 이방성 식각 공정으로 실리콘 질화막 등에 격자렌즈를 가공한다. 따라서 본 발명을 적용하면 간단한 공정과 적은 비용으로 픽업 헤드의 무게와 부피를 크게 줄일 수 있으며, 대량 생산이 가능하고, 반도체 칩 크기의 격자렌즈 제작이 가능해진다.
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公开(公告)号：KR1020050028461A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：KR1020030064719
申请日：2003-09-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G11B11/10543 , B82Y20/00 , G02B6/1226 , G11B7/124
Abstract: A leaky surface-plasmon mode directional coupler and a polarization detection module for a magneto-optical pickup head using same are provided to reduce size and weight of the coupler by monolithic-integrating the coupler on a circuit board. A planar waveguide(100) includes a substrate(105), a core layer(110), and a cladding layer. The planar waveguide propagates a TM mode and a TE mode from an input terminal to an output terminal. A leaky surface-plasmon mode waveguide(130) uses the cladding layer and a lower cladding layer and includes a metal film layer and an upper cladding layer. The metal film layer and the upper cladding layer cover a portion of the cladding layer to generate a leaky surface-plasmon mode. A first photo diode(410) is provided on the leaky surface-plasmon mode directional coupler(90) having the planar waveguide and the leaky surface-plasmon mode waveguide. A second photo diode(420) is provided on an output terminal of the core layer. A polarization detection module measures a polarization angle using detected power difference between the first and second photo diodes.
Abstract translation: 提供泄漏的表面等离子体模式定向耦合器和用于使用其的磁光拾取头的偏振检测模块，以通过将耦合器整合在电路板上来减小耦合器的尺寸和重量。 平面波导（100）包括基板（105），芯层（110）和包覆层。 平面波导将TM模式和TE模式从输入端子传播到输出端子。 泄漏的表面等离子体激元模式波导（130）使用包覆层和下包层，并且包括金属膜层和上覆层。 金属膜层和上覆层覆盖包层的一部分以产生泄漏的表面等离子体模式。 第一光电二极管（410）设置在具有平面波导和漏表面等离子体激元波导的泄漏表面等离子体激元模式定向耦合器（90）上。 第二光电二极管（420）设置在芯层的输出端上。 偏振检测模块使用第一和第二光电二极管之间的检测到的功率差来测量偏振角。
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公开(公告)号：KR1020040042447A
公开(公告)日：2004-05-20
申请号：KR1020020070748
申请日：2002-11-14
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01F17/00
CPC classification number: H01L28/10 , H01F17/0006 , H01L27/08
Abstract: PURPOSE: An inductor and a unit inductor arrangement method are provided to achieve improved inductance value and quality factor at the desired frequency band, while reducing costs. CONSTITUTION: An inductor comprises a first unit inductor(350) of having a spiral shape; a second unit inductor(340) having an end connected to an end of the first unit inductor and the other end connected to a first external terminal, wherein the second unit inductor is disposed into a spiral shape along the peripheral part of the first unit inductor; and a third unit inductor(330) having an end connected to the other end of the first unit inductor and the other end connected to a second external terminal, wherein the third unit inductor is disposed into a spiral shape along the peripheral part of the second unit inductor.
Abstract translation: 目的：提供电感器和单元电感器布置方法，以在所需频带上实现改进的电感值和品质因数，同时降低成本。 构成：电感器包括具有螺旋形状的第一单元电感器（350）; 第二单元电感器（340），其端部连接到第一单元电感器的端部，另一端连接到第一外部端子，其中第二单元电感器沿着第一单元电感器的周边部分设置成螺旋形状 ; 和第三单元电感器（330），其端部连接到第一单元电感器的另一端，另一端连接到第二外部端子，其中第三单元电感器沿着第二单元电感器的周边部分设置成螺旋形状 单位电感。
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公开(公告)号：KR101272783B1
公开(公告)日：2013-06-11
申请号：KR1020090081339
申请日：2009-08-31
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02B6/12004 , G02B6/131 , G02B6/136 , G02B2006/121 , H01L31/0352
Abstract: 본 발명은 동작속도를 증가시키고 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 도파로 광 검출기를 개시한다. 그 검출기는, 제 1 방향으로 연장된 도파로층; 상기 도파로층 상에 형성된 흡수층; 상기 흡수층 상에 형성된 제 1 전극; 상기 도파로층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극과 상기 흡수층으로부터 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되는 제 2 전극; 및 상기 흡수층과 상기 제 2 전극을 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 브리지를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020110027549A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：KR1020100066675
申请日：2010-07-12
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: An electro-optic modulating device is provided to form vertical PN junctions or vertical PIN junctions in an optical waveguide, thereby increasing a change of an effective refractive index during a device operation. CONSTITUTION: A semiconductor film(30) configuring an optical waveguide(WG) is arranged on a substrate(10). The optical waveguide comprises the first slab part(SP1), the second slab part(SP2), and a lip part(RP). The lip part includes a thickness thicker than the first and second slab parts. The first and second doping areas(D1,D2) are formed on the first and second slab parts respectively. A vertical doping area(50) configuring a vertical structure is formed in the lip part.
Abstract translation: 目的：提供电光调制装置以在光波导中形成垂直PN结或垂直PIN结，从而在器件操作期间增加有效折射率的变化。 构成：构成光波导（WG）的半导体膜（30）配置在基板（10）上。 光波导包括第一板坯部（SP1），第二板坯部（SP2）和唇部（RP）。 唇部包括比第一和第二板坯部分厚的厚度。 第一和第二掺杂区域（D1，D2）分别形成在第一和第二平板部件上。 在唇部形成垂直结构的垂直掺杂区域（50）。
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