公开(公告)号：KR100943971B1

公开(公告)日：2010-02-26

申请号：KR1020080062548

申请日：2008-06-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이승섭 ,  이석우 ,  이정아

IPC: H01J1/30 ,  H01J9/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J9/025 ,  H01J31/127 ,  H01J63/02 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30453 ,  H01J2203/0228 ,  H01J2329/0418 ,  H01J2329/0444 ,  H01J2329/4626

Abstract: 본 발명에 의한 탄소 미세 구조물을 갖는 전계방출 어레이의 제조방법은 투명 기판의 표면에 패턴 홈을 갖는 포토 마스크를 부착하는 포토 마스크 부착단계와, 포토 마스크의 표면에 네가티브 포토레지스트를 부착하는 포토레지스트 부착단계와, 투명 기판의 포토 마스크가 부착된 부분의 반대쪽에서 빛을 조사하여 패턴 홈을 통해 네가티브 포토레지스트로 조사되는 빛으로 네가티브 포토레지스트의 일부를 경화시키는 노광 단계와, 네가티브 포토레지스트의 노광되지 않은 부분을 제거하여 네가티브 포토레지스트가 경화되어 이루어진 미세 구조물을 형성하는 현상 단계와, 미세 구조물을 가열하여 탄화시키는 열분해 단계와, 미세 구조물이 형성된 투명 기판의 표면에 전압 공급을 위한 캐소드를 부착하는 캐소드 부착단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 전자 방출소자로 사용되는 탄소 미세 구조물을 간편하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020150018400A

公开(公告)日：2015-02-23

申请号：KR1020140099017

申请日：2014-08-01

Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스

Inventor： 고자키도모카즈 ,  마츠다오사무 ,  스기야마야스히코 ,  아이타가즈오 ,  아라마키후미오 ,  야사카안토 ,  오바히로시

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

Abstract: 이리듐 팁의 선단부에 형성되는 선단이 1개인 원자의 각뿔 구조를, 위치적으로 재현성 좋게 제작할 수 있도록 하여, 불순물이 부착되기 어렵게 함과 더불어, 선단의 1개의 원자를 장기간에 걸쳐서 유지 가능하게 한다. 이리듐 팁은, 첨예화된 방위의 단결정 선단부에, 1개의 {100} 결정면 및 2개의 {111} 결정면에 의해 둘러싸인 {210} 결정면의 1개의 이리듐 원자만에 의해 형성된 선단을 가지는 각뿔 구조를 구비한다. 각뿔 구조의 선단을 형성하는 1개의 이리듐 원자를 제1층으로 하고, 제1층의 직하의 제2층은 삼각형의 정점에 위치하는 3개의 이리듐 원자를 구비하고, 제2층의 직하의 제3층은 삼각형의 정점 및 변에 위치하는 6개의 이리듐 원자를 구비한다.

Abstract translation: 在精确位置上重复地制造在具有原子的金字塔结构的铱尖端的端部中形成的端部，从而防止杂质的粘附和长时间保持端部的原子。 铱尖端包括金字塔结构，其中由{210}晶面的铱原子形成的端部由具有{210}取向的晶体的尖端部分围绕{111}晶面和{100}晶面。 形成金字塔结构的端部的铱原子被设定为第一层。 在第一层正下方的第二层在三角形的峰中具有三个铱原子。 在第二层正下方的第三层在三角形的峰和边中具有六个铱原子。

公开(公告)号：KR1020100002598A

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：KR1020080062548

申请日：2008-06-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이승섭 ,  이석우 ,  이정아

IPC: H01J1/30 ,  H01J9/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J9/025 ,  H01J31/127 ,  H01J63/02 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30453 ,  H01J2203/0228 ,  H01J2329/0418 ,  H01J2329/0444 ,  H01J2329/4626

Abstract: PURPOSE: A field emission array having carbon microstructure and method of manufacturing the same are provided to obtain high aspect ratio. CONSTITUTION: The photomask having the pattern groove in the surface of the transparent substrate(10) is attached. The negative photoresist is attached to the surface of photomask. In the opposite side of the part attaching to the photomask of the transparent substrate, the light is researched. A part of the negative photoresist hardens to the light researched through the pattern groove as the negative photoresist. The part which is not exposed to the negative photoresist is removed. The microstructure is heated and is carbonized. The cathode(33) for the voltage support is attached to the surface of the transparent substrate.

Abstract translation: 目的：提供具有碳微观结构的场致发射阵列及其制造方法以获得高纵横比。 构成：在透明基板（10）的表面具有图形槽的光掩模被安装。 负光致抗蚀剂附着在光掩模的表面。 在与透明基板的光掩模相连的部分的相对侧，研究光。 负光致抗蚀剂的一部分硬化到通过图案凹槽研究的光作为负光致抗蚀剂。 去除不暴露于负性光致抗蚀剂的部分。 微观结构被加热并被碳化。 用于电压支撑件的阴极（33）附接到透明基板的表面。

公开(公告)号：JP6266458B2

公开(公告)日：2018-01-24

申请号：JP2014146186

申请日：2014-07-16

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： 小堺 智一 ,  松田 修 ,  杉山 安彦 ,  相田 和男 ,  荒巻 文朗 ,  八坂 行人 ,  大庭 弘

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/073 ,  H01J37/317 ,  H01J37/26 ,  H01J37/252 ,  G03F1/74 ,  G01Q70/14 ,  H01J27/26

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

公开(公告)号：JP6038794B2

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：JP2013528751

申请日：2011-09-16

Applicant: サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス)

Inventor： マルク モンティオ ,  フロラン ウードゥリエール

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J29/485 ,  H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J37/073 ,  H01J37/28 ,  H01J9/025 ,  B82Y20/00 ,  H01J2201/30411 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30426 ,  H01J2201/30434 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/26

公开(公告)号：JP2015057764A

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：JP2014146186

申请日：2014-07-16

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス ,  Hitachi High-Tech Science Corp

Inventor： KOSAKAI TOMOKAZU ,  MATSUDA OSAMU ,  SUGIYAMA YASUHIKO ,  AIDA KAZUO ,  ARAMAKI BUNRO ,  YASAKA KOJIN ,  OBA HIROSHI

IPC: H01J27/26 ,  G01Q70/14 ,  G03F1/74 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/252 ,  H01J37/26 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

Abstract: 【課題】イリジウムティップの先端部に形成される先端が1個の原子の角錐構造を、位置的に再現性よく作製できるようにし、不純物が付着し難くするとともに、先端の1個の原子を長期間に亘って保持可能とする。【解決手段】イリジウムティップは、先鋭化された 方位の単結晶の先端部に、1つの{100}結晶面および2つの{111}結晶面により取り囲まれた{210}結晶面の1個のイリジウム原子のみにより形成された先端を有する角錐構造を備える。角錐構造の先端を形成する1個のイリジウム原子を第1層とし、第1層の直下の第2層は三角形の頂点に位置する3個のイリジウム原子を備え、第2層の直下の第3層は三角形の頂点および辺に位置する6個のイリジウム原子を備える。【選択図】図5

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有在尖端处具有单个原子的铱尖端的金字塔结构，其可以以高位置重复性产生，并且允许尖端处的单个原子能够长时间保持 的时间，同时防止杂质粘附。解决方案：铱尖具有锥形结构，其具有<210>方向的单晶尖端部分。 尖端由{210}晶面的单个铱原子组成，其被一个{100}晶面和两个{111}晶面包围。 在第一层上，单个铱原子被定位成形成金字塔结构的尖端。 在第一层正下方的第二层上，三个铱原子被定位成形成三角形的顶点。 在第二层正下方的第三层上，六个铱原子位于三角形的顶点和侧面。

公开(公告)号：JP4960398B2

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：JP2009068674

申请日：2009-03-19

Applicant: ツィンファ ユニバーシティ ,  鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司

Inventor： 守善 ▲ハン▼ ,  亮 劉 ,  洋 魏

IPC: H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30434 ,  H01J2201/30469

公开(公告)号：JP2009231288A

公开(公告)日：2009-10-08

申请号：JP2009068674

申请日：2009-03-19

Applicant: Hon Hai Precision Industry Co Ltd ,  Qinghua Univ ,  ツィンファ ユニバーシティ ,  鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司

Inventor： GI YO ,  LIU LIANG ,  FAN FENG-YAN

IPC: H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30434 ,  H01J2201/30469

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a field emission type electron source, particularly a field emission type electron source in which carbon nanotubes are used. SOLUTION: The field emission type electron source includes a substrate and a carbon nanotube needle with a first end and a second end. The first end of the carbon nanotube needle is electrically connected with the substrate. In the second end of the carbon nanotube needle, one carbon nanotube is extended out farther than other carbon nanotubes. The second end of the carbon nanotube needle has a conical shape approximately and includes a plurality of carbon nanotubes. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 解决的问题：提供场发射型电子源，特别是使用碳纳米管的场致发射型电子源。 解决方案：场发射型电子源包括基片和具有第一端和第二端的碳纳米管针。 碳纳米管针的第一端与衬底电连接。 在碳纳米管针的第二端，一个碳纳米管比其他碳纳米管延伸得更远。 碳纳米管针的第二端近似为圆锥形，并且包括多个碳纳米管。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP5657229B2

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：JP2009228377

申请日：2009-09-30

Applicant: カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH ,  カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH ,  ナノツールズ ゲーエムベーハー ,  ナノツールズ ゲーエムベーハー

Inventor： ドレクセル フォルケル ,  ドレクセル フォルケル ,  マンツ ウルリッヒ ,  マンツ ウルリッヒ ,  イルメル ベルント ,  イルメル ベルント ,  ペンゾコフェル クリスチアン ,  ペンゾコフェル クリスチアン

IPC: H01J37/073 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J1/3044 ,  H01J37/06 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30476 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/065 ,  Y10T29/49888

公开(公告)号：JP2013535089A

公开(公告)日：2013-09-09

申请号：JP2013520965

申请日：2012-06-13

Applicant: サーティエイス リサーチ インスティチュート、チャイナ エレクトロニクス テクノロジー グループ コーポレイション

Inventor： リウ、フアロン

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/304 ,  H01J27/26 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08

CPC classification number: C23F4/02 ,  B82Y99/00 ,  H01J1/00 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J27/26 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2237/0807

Abstract: 本発明は、粒子源を製造するための方法を提供する。 本発明の粒子源を製造するための方法は、真空の環境内に針金を設置して活性ガス及び触媒ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Ｖを印加することによって、針金表面の活性ガスを解離させて針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界誘起エッチングを発生させるステップと、電界誘起エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、前記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、電界誘起エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、台座を形成するのに側面で発生する電界誘起エッチングと、針先を形成するのに頂端で発生する電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節するステップと、予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界誘起エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを含む。