반도체 장치
    68.
    发明授权
    반도체 장치 有权
    半导体器件

    公开(公告)号:KR101727160B1

    公开(公告)日:2017-05-04

    申请号:KR1020100059148

    申请日:2010-06-22

    Abstract: 본발명은관통전극을포함하는반도체장치에관한것으로, 더욱상세하게는반도체기판과반도체기판의일면에형성된절연막을관통하는개구부의적어도일부를채우는관통전극을포함하는반도체장치에관한것이다. 본발명에서절연막은개구부의측벽에인접한가장자리영역및 상기가장자리영역으로부터확장된확장영역을포함하고상기확장영역은상기가장자리영역으로부터멀어질수록높은상부면을갖는다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种半导体装置,包括一个通孔,并且更具体地,涉及一种包括通孔以填充至少穿过形成在半导体基板的表面和半导体基板上的绝缘膜中的开口的一部分的半导体装置。 在本发明中,绝缘膜的侧壁和边缘区域包括从所述边缘区域和邻近所述开口的延伸区域延伸的扩展区域具有上表面更远离所述边缘区域高。

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