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公开(公告)号：KR1020040105319A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：KR1020030036530
申请日：2003-06-05
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/08
Abstract: PURPOSE: Provided is a simple method for manufacturing carbon nanotube(CNT) arrays by aligning carbon nanotubes on a nano-sized pattern based on self-assembly of polymeric supramolecules and stanning of metal. CONSTITUTION: The carbon nanotube arrays are manufactured by the following steps of: (i) forming a thin film of polymeric supramolecules inducing self- assembly on a substrate formed by spin-coating, rubbing or solution spreading, wherein the polymeric supramolecules are disk-shaped dendrimer, fan or corn-shaped supramolecules; (ii) annealing the thin film to form ordered structure by self-assembling polymeric supramolecules, wherein the supramolecules are annealed by heating to 240deg.C, higher than phase transition temperature(230deg.C) of the liquid crystal and cooling; (iii) adsorbing metals selectively on the ordered structure formed in self-assembling by using RuO4; (iv) reactive ion etching the thin film to remove the parts on which the metal is not adsorbed, resulting in formation of a nano-sized pattern of supramolecules; (v) printing the nano-sized pattern on the substrate; (vi) arraying carbon nanotubes on the pattern after depositing metal catalyst(Fe, Co or Ni) on the patterned substrate. Also, bio-nanoarrays are manufactured by attaching biomaterials or bio-receptor, bonding to biomaterials selected from the group consisting of protein, peptide, amino acid, DNA, ligand, carbo hydrate, RNA, etc. to CNT arrays.
Abstract translation: 目的：提供一种简单的制造碳纳米管（CNT）阵列的方法，其通过基于聚合超分子的自组装和金属扫描将纳米尺寸图案上的碳纳米管取向。 构成：通过以下步骤制造碳纳米管阵列：（i）在通过旋涂，摩擦或溶液扩散形成的基底上形成诱导自组装的聚合物超分子的薄膜，其中聚合物超分子是盘形的 树枝状大分子，扇形或玉米状超分子; （ii）通过自组装聚合物超分子对薄膜进行退火以形成有序结构，其中超分子通过加热退火至240℃，高于液晶的相变温度（230℃）并冷却; （iii）通过使用RuO4在自组装形成的有序结构上选择性地吸附金属; （iv）反应离子蚀刻薄膜以去除不吸附金属的部分，形成超分子的纳米尺寸图案; （v）在衬底上印刷纳米尺寸图案; （vi）在图案化衬底上沉积金属催化剂（Fe，Co或Ni）之后，在图案上排列碳纳米管。 另外，生物纳米阵列是通过将生物材料或生物受体连接到碳纳米管阵列上，与选自蛋白质，肽，氨基酸，DNA，配体，碳水化合物，RNA等的生物材料结合而制造的。
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62.发明公开백나노미터 이하의 고정밀 나노 미세패턴 및 자성 금속 점정렬 형성방법 失效高精度纳米精细图案不超过万能纳米颗粒和形成磁选金属点对准于FREELY SELECT MAGNETIC METAL的方法
公开(公告)号：KR1020040091377A
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：KR1020030025194
申请日：2003-04-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A method for forming a magnetic metal point alignment is provided to freely select a magnetic metal and form a metal pattern having a high aspect ratio according to the property of used mask metal by forming metal patterns of various sizes and shapes by a simple method and by previously depositing magnetic metal of a desired property. CONSTITUTION: A regular porous polymer pattern is formed on a metal thin film that needs to be patterned. Mask metal is selectively deposited in a hole. The polymer layer is selectively eliminated. The metal thin film that needs to be patterned is etched.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成磁性金属点对准的方法，通过简单的方法形成各种尺寸和形状的金属图案，根据所使用的掩模金属的性质，自由选择磁性金属并形成具有高纵横比的金属图案 并预先沉积所需性质的磁性金属。 构成：在需要图案化的金属薄膜上形成规则的多孔聚合物图案。 掩模金属被选择性地沉积在孔中。 选择性地消除聚合物层。 蚀刻需要图案化的金属薄膜。
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公开(公告)号：KR1020170030848A
公开(公告)日：2017-03-20
申请号：KR1020150128278
申请日：2015-09-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , H01L21/033 , H01L21/3065
Abstract: 본발명은매크로프리패턴이형성된기판에마스크물질을증착하거나기판에마스크물질을도포한다음매크로프리패턴을형성한후, 에칭을통하여마스크물질을매크로프리패턴의측면에재증착시키고, 매크로프리패턴을제거하여마스크물질패턴을형성시키는스템프몰드의제작방법에관한것으로, 고가의장비를이용하는기존의전자빔(electron-beam)을이용한스템프제작방식에비해공정비용이저렴하고생산효율성이높으며, 병렬식나노패턴을구현할수 있고, 대면적기판에도적용할수 있는 10 nm대초고해상도의스템프몰드를제작할수 있다.
Abstract translation: 本发明和宏观自由图案沉积材料沉积的掩模材料，或者通过蚀刻掩模材料的下面自由宏观图案的形成之后施加掩模材料到衬底所形成的衬底到自由宏观图案的侧面上，宏自由图案 本发明涉及一种用于通过从电子束中去除电子束来形成掩模材料图案的印模的制造方法， 有可能制造出高分辨率10nm的纳米图案和印模，这可应用于大面积基板。
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65.发明公开몰리브데넘다이설파이드 채널과 싸이올 리간드 혼성을 이용한 케미레지스터 가스센서 및 제작방법 有权THIOLATED LIGAND连接MOS2 CHEMIRESISTOR气体传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160097656A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020150019613
申请日：2015-02-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , A61B5/08
CPC classification number: G01N27/4074 , A61B5/08
Abstract: 본발명은싸이올기를함유하는리간드접합 MoS필름을포함하는케미레지스터가스센서, 이의제조방법및 이를이용한다양한가스분자의검출방법에관한것으로, 보다구체적으로는기판; 기판상부에적층된싸이올기를함유하는리간드접합 MoS필름또는 MoS필름및; 상기필름의양 측면에각각형성된전극을포함하는케미레지스터가스센서, 이의제조방법및 및이를활용한다양한가스분자의검출방법에대한것으로서, 본발명에따른가스센서는민감도와정확성이매우뛰어나다.
Abstract translation: 本发明涉及具有硫醇基的配体共轭MoS_2膜的化学电阻气体传感器及其制造方法，以及使用其的各种气体分子的检测方法。 更具体地，本发明涉及一种化学电阻气体传感器及其制造方法以及使用其的各种气体分子的检测方法，其中，所述化学电阻气体传感器包括：基板; 含有配体共轭MoS_2膜的硫醇基或层叠在基材上的MoS_2膜; 以及分别形成在膜的两侧的电极。 根据本发明，气体传感器的灵敏度和精度非常优异。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160096006A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020150125411
申请日：2015-09-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본발명은매크로프리패턴을이용한편광패널의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는매크로프리패턴이형성된기판을에칭하여매크로프리패턴의측면에편광물질을증착한다음, 매크로프리패턴을제거하여수득하는매크로프리패턴을이용한편광패널의제조방법에관한것이다. 본발명은대면적에수십나노미터두께의전도성격벽을매크로프리패턴을이용하여이온식각공정을통해형성함으로써, 기존의편광패널에서문제가되었던투명도를획기적으로개선할수 있고, 편광도를높일수 있는효과가있다. 또한, 본발명은설계안과같은고정밀의편광패널을손쉽게제조할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用宏观预图案制造偏振片的方法，其特征在于包括以下步骤：蚀刻形成有宏观预制图案的基片，并将光学材料沉积在宏预制图的侧面上; 并且去除宏预取模以获得衬底。 本发明通过使用宏观预图案的离子蚀刻工艺在大尺寸区域上形成厚度为几十纳米的导电隔板，从而大大提高了传统偏光板中的问题和提高偏振度的透明度。 此外，本发明可以如其中提出的设计那样以高精度容易地制造偏振片。
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67.发明公开
公开(公告)号：KR1020160087666A
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR1020150006921
申请日：2015-01-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/13378
Abstract: 본발명은패턴의구조적변화를이용한선경사각의조절을통한빠른응답속도를가지는액정디스플레이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판바닥에전사된프리-패턴(pre-pattern)을비대칭으로식각한다음, 이온밀링을이용하여비대칭으로식각된프리-패턴의일측면에패턴을형성하는것을특징으로하는경사각이조절된패턴의제조방법과경사각이조절된패턴을이용하여빠른응답속도를가지는액정디스플레이를제조하는방법에관한것이다. 본발명에따른패턴의구조적변화를이용한선경사각의조절을통한빠른응답속도를가지는액정디스플레이의제조방법은고가의이온빔이나폴리아미드의조성을변경하는등의화학적방법을사용하지않고액정의선경사각이조절가능하며, 상기방법으로제조된디스플레이의응답속도가빨라지므로, 경제적이고고효율을가지는액정디스플레이의제조에유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用图案的结构变化来调整预倾斜角度而具有快速响应速度的液晶显示器的制造方法，更具体地说，涉及一种制造倾斜角为 并且通过使用调整倾斜角的图案来制造具有快速响应速度的液晶显示器的方法，其中转印在基板底部的预图案被不对称蚀刻并且图案形成在一侧 的不对称蚀刻的预图案通过使用离子铣削。 通过使用根据本发明的图案的结构变化通过调节预倾角来制造具有快速响应速度的液晶显示器的方法对于制造经济高效的液晶显示器是有用的，因为预倾斜 角度可以调节而不使用昂贵的离子束或化学方法如改变聚酰胺的组成，并且通过该方法制造的显示器的响应速度是快速的。
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公开(公告)号：KR101440542B1
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：KR1020080060813
申请日：2008-06-26
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01N33/5438 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/194 , C12Q1/004
Abstract: 본 발명은 전도성 그라핀(graphene)을 이용한 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학작용기를 이용하여 제조된 전도성 그라핀 또는 상기 전도성 그라핀을 기질상에 높은 표면 밀도를 가지도록 반복 적층시킨 전도성 그라핀 필름에 표적 바이오물질과 선택적으로 결합하는 바이오 리셉터가 부착되어 있는 전도성 그라핀을 이용하는 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전도성 그라핀 바이오센서는 표면적이 넓고, 전기전도도 성질이 우수하여 DNA와 같은 생물분자의 고정화 양을 높일 수 있고, 생물분자에 대한 검출 민감도를 증대시키는 것이 가능하다. 또한, 다양한 표적 바이오분자들을 직접 검출하거나, 전기화학적 신호를 측정함으로써, 바이오 물질과 바이오 리셉터의 반응을 정확히 한번에 대량으로 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 소량의 원료(source)만으로도 정확한 측정치를 얻을 수 있는 검출법을 도입하는 것이 가능하다.
그라핀, 흑연, 바이오센서, 검출방법, 전도성, 전기화학-
公开(公告)号：KR101400994B1
公开(公告)日：2014-05-29
申请号：KR1020070034875
申请日：2007-04-10
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 고용량 리튬 이차전지용 전극 및 이를 함유하는 리튬 이차전지에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 충전 및 방전 수명을 향상시키고 높은 에너지 저장 용량을 가지는 리튬 이차전지를 제조하기 위해 탄소나노튜브(carbon nanotube; CNT) 또는 탄소나노파이버(carbon nanofiber; CNF)에 리튬과 합금을 형성할 수 있는 금속 또는 준금속 나노입자가 함유된 리튬 이차전지용 음극 및 이를 함유하는 리튬 이차전지에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 리튬과 합금이 가능한 금속 또는 준금속 나노입자와 높은 비표면적과 우수한 전기전도도를 가지는 탄소나노튜브 또는 탄소나노파이버를 사용함으로써 높은 에너지 저장용량을 가지면서도 충전과 방전을 반복할 때 구조적 안정성에 의해 우수한 충·방전 수명을 리튬 이차 전지용 음극을 제조할 수 있어 고용량, 고에너지밀도 이차전지에 응용할 수 있다.
리튬, 이차전지, 전극, 축전지, 탄소나노튜브, 탄소나노파이버-
公开(公告)号：KR1020130091992A
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020120013407
申请日：2012-02-09
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01B13/0026 , G06F3/0412
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a touch panel electrode is provided to form an electrode by using an ion bombardment phenomenon through physical ion-etching, thereby manufacturing an electrode having high transparency and uniformity with a simple process and at low cost. CONSTITUTION: A conductive material layer (15) and a polymer layer (20) are successively formed on a substrate. A patterned polymer structure is formed at the polymer layer through a lithography process. A conductive-material/polymer composite structure (25), to which an ion-etched conductive material is attached, is formed on the outer circumferential surface of the polymer structure by ion-etching the conductive material layer. An electrode pattern is formed on the substrate by removing the polymer of the conductive-material/polymer composite structure.
Abstract translation: 目的：提供触摸面板电极的制造方法，通过物理离子蚀刻使用离子轰击现象形成电极，从而以简单的工艺和低成本制造具有高透明度和均匀性的电极。 构成：在衬底上依次形成导电材料层（15）和聚合物层（20）。 通过光刻工艺在聚合物层处形成图案化的聚合物结构。 通过对导电材料层进行离子蚀刻，在聚合物结构体的外周面上形成有导电材料/聚合物复合结构（25），其上附着有离子蚀刻导电材料。 通过除去导电材料/聚合物复合结构的聚合物，在基板上形成电极图案。
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