公开(公告)号：KR1020150001842A

公开(公告)日：2015-01-06

申请号：KR1020147032399

申请日：2013-06-04

Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈

Inventor： 나가꾸보,야스히라 ,  미즈오,다까시

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20207

Abstract: 본 발명은, 기존의 시료 냉각 홀더에서는, 시료의 방향을 바꾸면 냉각원 용기도 함께 기울고, 수용된 냉각원의 버블링이 발생한다. 따라서, 가공 또는 관찰에 적합한 방향으로 시료(1)를 경사시켜도, 냉각원 용기의 자세를 일정 방향으로 유지하면서 시료(1)를 냉각할 수 있는 기구(14, 15, 17, 18)를 갖는 시료 냉각 홀더(13)를 제공한다. 또한, 냉각원을 유지하는 내측 용기(23)를 외기로부터 진공 단열하는 외측 용기(21)에 진공 유지 기구(24, 25)를 장착한 냉각원 용기를 제공한다.

公开(公告)号：KR100904647B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020077019473

申请日：2006-05-30

Applicant: 시마쯔 코포레이션

Inventor： 고니시야스오

IPC: G02F1/13 ,  B23Q1/26 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20271

Abstract: 스테이지 기구의 열팽창에 의해서, 리니어 가이드의 원활한 구동이 방해받는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
적어도 하나의 테이블(4, 5)과, 이 테이블을 직선방향으로 안내하는 한 쌍의 테이블용 리니어 가이드(11, 12, 21, 22)와, 테이블이 열팽창하는 것에 의한 변위를 보상하는 보상용 리니어 가이드(13, 23)를 구비한다. 일측의 테이블용 리니어 가이드(11, 12, 21, 22)는, 지지부 및 테이블에 대하여 고정되고, 타측의 테이블용 리니어 가이드(11, 21)에 관하여는, 보상용 리니어 가이드(13, 14, 15, 23)에 의해 테이블을 상기 직선방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 한 스테이지 기구.
혹은, 보상용 리니어 가이드(13, 23)에 의해, 지지부에 대하여 타측의 테이블용 리니어 가이드를 그 직선방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 한다.
스테이지 기구, 테이블, 리니어 가이드, 보상, 열팽창

公开(公告)号：KR100673006B1

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：KR1020050064421

申请日：2005-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박금식

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31701

Abstract: 본 발명은 이온 주입 장치에 관한 것으로, 더미 웨이퍼를 포함하는 다수매의 웨이퍼에 특정의 이온을 주입하는 이온 주입 장치에 있어서 상기 더미 웨이퍼는 상기 특정의 이온별로 개별적으로 사용되고, 상기 특정의 이온별로 개별적으로 사용되는 더미 웨이퍼를 개별적으로 보관하는 다수개의 더미 웨이퍼 카세트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 더미 웨이퍼 카세트가 다수개 설치되어 있어서 도핑 이온별로 더미 웨이퍼를 별도로 보관하여 이온 주입 공정에 사용할 수 있게 된다. 따라서, 하나의 더미 웨이퍼를 공용으로 사용함으로써 발생하는 교차 오염 문제를 해결하여 웨이퍼의 가공 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
반도체, 웨이퍼, 이온 주입 장치, 더미 웨이퍼 카세트

公开(公告)号：WO2017216941A1

公开(公告)日：2017-12-21

申请号：PCT/JP2016/068027

申请日：2016-06-17

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 小柳　宗和 ,  鈴木　渡 ,  揚村　寿英

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01J2237/2002

Abstract: 鏡体とは異なった角度の光学撮像装置を備えた荷電粒子線装置において、試料を光学撮像装置に対向させる際に、試料が他の部品と衝突する可能性がある。　本荷電粒子線装置は、試料を載置し、試料室内部で試料を移動させるステージと、試料に荷電粒子線を照射して試料を観察する鏡体と、該鏡体とは異なる角度から試料の荷電粒子線が照射される面を観察する第一の撮像装置と、第一の撮像装置により試料を観察する際に、試料を鏡体から離間させた後に、試料を第一の撮像装置に対向するよう、ステージによる試料を傾斜させる制御部と、を備える。

Abstract translation: 具有该光学成像装置的不同角度的带电粒子束装置和

透镜体，由以面对标本在光学成像装置的情况下，可以采样与其它部件碰撞 一。 此带电粒子束的装置，将所述样品，所述样品腔室中移动样品的阶段，通过照射所述带电粒子束的反射镜体的样品，观察样品，从比所述一个不同的角度的样品反射镜主体 带电粒子束来观察表面的第一成像装置被照射，并且由所述第一摄像装置观察试样的情况下，将样品从镜体，所述样品到所述第一成像装置分离后 以及控制单元，用于通过台使样品倾斜以便彼此相对。

公开(公告)号：WO2015129292A1

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：PCT/JP2015/050200

申请日：2015-01-07

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 西岡　明 ,  水落　真樹 ,  中川　周一 ,  牧　信行

IPC: H01L21/68 ,  G03F7/20 ,  H01J37/20 ,  H01L21/027 ,  H02K41/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20271 ,  H01J2237/20278 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2817 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68785 ,  H02K9/22 ,  H02K16/00 ,  H02K41/02

Abstract: 　本発明は、リニアモータの発熱による温度上昇で生じるステージの熱変形を効果的に抑制するステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。上記目的を達成するために、テーブル（２）とテーブルを所定の方向に駆動するリニアモータ（５、６）を備えたステージ装置であって、テーブルと前記リニアモータの可動子を部品（８、１０）によって接続し、部品１０にはスライドユニット（１６）を取り付けてベースに固定されたレールで移動を拘束し、同時に、そのスライドユニットは部品（８）がテーブルと接合している箇所の垂直下部に配置することで、テーブルの熱変形を抑制する。

Abstract translation: 为了提供有效地抑制载物台的热变形的载置装置，所述变形是由线性马达产生的热引起的温度升高而产生的，并且还提供使用其的带电粒子射线装置， 配备有在规定方向上驱动工作台的工作台（2）和直线电动机（5,6），并且其中工作台和直线电动机的移动部件通过部件（8,10）连接 ），并且通过安装在部件（10）上的滑动单元（16）和被固定到基座的轨道的运动来抑制工作台的热变形，同时滑动单元垂直地位于一个 组件（8）连接到表的位置。

公开(公告)号：WO2015053020A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：PCT/JP2014/073431

申请日：2014-09-05

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 矢口　紀恵 ,  長久保　康平 ,  岩堀　敏行

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003

Abstract: 本発明の目的は、試料を荷電粒子装置（１）から取り出すことなく、種々の環境の形成とその場観察および分析が可能な荷電粒子線装置および荷電粒子線装置用試料保持装置を提供することにある。本発明では、試料保持手段（６）に対向する側から、試料保持手段の取りつけられた試料（１０）の状態を変化させる機能を備えた着脱可能な逆サイドエントリー部（１７）を挿入することにより、異なる機能を持つ逆サイドエントリー部と試料保持手段との組み合わせで、試料を荷電粒子線装置から取り出すことなく、異なるプロセスでの試料の変化を観察・分析できるようにした。逆サイドエントリー部は２部で構成され、先端の一部は取り外しが可能であり、試料保持手段に装着後、雰囲気を維持したまま搬送することを可能とし、異なる装置間で試料を大気暴露することなく搬送できるようにした。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于带电粒子束装置的带电粒子束装置和样品保持器，通过该装置可以形成各种环境，并且在不从带电粒子中去除样品的情况下进行原位观察和分析 梁装置（1）。 在本发明中，从面向样品保持装置（6）的一侧插入可拆卸的反侧进入部分（17），所述部分（17）具有改变附接到样品保持装置（10）的样品（10）的状态的功能， 样品保持装置，通过将具有不同功能的反向入口部分与样品保持装置组合，可以通过不同的处理观察/分析样品中的变化，而不从带电粒子束装置中取出样品。 反侧入口部分包括两部分，其一部分中的一个尖端是可移除的。 在将反面入口部分安装到样品保持装置上之后，可以在保持相同的气氛的同时传送样品，并且可以在不将样品暴露于空气的情况下在不同的装置之间传送样品。

公开(公告)号：WO2014128699A1

公开(公告)日：2014-08-28

申请号：PCT/IL2014/050175

申请日：2014-02-18

Applicant: B-NANO LTD.

Inventor： SHACHAL, Dov ,  DE PICCIOTTO, Rafi

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24445 ,  H01J2237/2605

Abstract: A scanning electron microscope suitable for imaging samples in a non- vacuum environment, the scanning electron microscope including an electron source located within an enclosure maintained under vacuum, an electron permeable membrane disposed at an opening of the enclosure separating an environment within the enclosure which is maintained under vacuum and an environment outside the enclosure which is not maintained under vacuum, the electron permeable membrane not being electrically grounded and at least one non-grounded electrode operative as an electron detector.

Abstract translation: 一种适用于在非真空环境中成像样品的扫描电子显微镜，扫描电子显微镜包括位于保持在真空下的外壳内的电子源，设置在外壳开口处的电子透过膜，分隔外壳内的环境， 维持在真空和外壳外部的环境，其不被保持在真空下，电渗透膜不被电接地，并且至少一个非接地电极用作电子检测器。

公开(公告)号：WO2014059113A1

公开(公告)日：2014-04-17

申请号：PCT/US2013/064289

申请日：2013-10-10

Applicant: XYLECO, INC.

Inventor： MEDOFF, Marshall ,  MASTERMAN, Thomas, Craig ,  PARADIS, Robert

IPC: B01J19/08

CPC classification number: G21F3/00 ,  A61L2/087 ,  B01J19/082 ,  B01J19/085 ,  B01J19/12 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/22 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/12 ,  B01J2219/1203 ,  B65G27/04 ,  C08H8/00 ,  C10B19/00 ,  C10B53/02 ,  C10G1/02 ,  C10G32/04 ,  C10L5/403 ,  C10L5/442 ,  C10L5/445 ,  C10L5/46 ,  C10L2200/0469 ,  C10L2290/24 ,  C10L2290/28 ,  C10L2290/36 ,  C10L2290/52 ,  C13K1/02 ,  C13K13/002 ,  D21B1/02 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J5/18 ,  H01J33/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  Y02E50/10 ,  Y02E50/14 ,  Y02E50/16 ,  Y02E50/30 ,  Y02E50/32 ,  Y02P20/145

Abstract: Methods and systems are described for processing cellulosic and lignocellulosic materials into useful intermediates and products, such as energy and fuels. For example, conveying systems, such as highly efficient vibratory conveyors, are described for the processing of the cellulosic and lignocellulosic materials. Provided herein is an apparatus for producing a treated biomass material, that includes an ionizing radiation source.

Abstract translation: 描述了用于将纤维素和木质纤维素材料加工成有用的中间体和产品（例如能量和燃料）的方法和系统。 例如，描述了用于处理纤维素和木质纤维素材料的输送系统，例如高效振动输送机。 本文提供了一种用于生产经处理的生物质材料的设备，其包括电离辐射源。

公开(公告)号：WO2014009816A1

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：PCT/IB2013/050941

申请日：2013-02-04

Applicant: UAB NOVA FABRICA

Inventor： AUDRONIS, Martynas

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J49/0013 ,  C23C14/35 ,  C23C14/52 ,  C23C14/54 ,  H01J37/32981 ,  H01J37/3476 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/332

Abstract: An assembly for use in a vacuum treatment process, the assembly including a process chamber 1. Gas analysis apparatus to sample and analyse the gas composition within the chamber 1 is provided. The gas analysis apparatus includes a measuring apparatus 14 based either on a miniature mass spectrometer or on a miniature plasma source, which is located within an elongate housing 18. Part of the housing 18 is located within the process chamber 1 such that the gas is analysed within the chamber 1. The process can be controlled in response to the gas analysis.

Abstract translation: 一种用于真空处理过程的组件，该组件包括处理室1.提供用于对室1内的气体成分进行采样和分析的气体分析装置。 气体分析装置包括基于微型质谱仪或位于细长壳体18内的微型等离子体源的测量装置14.壳体18的一部分位于处理室1内，使得气体被分析 可以根据气体分析来控制该过程。

公开(公告)号：WO2008050321A2

公开(公告)日：2008-05-02

申请号：PCT/IL2007001265

申请日：2007-10-23

Applicant: NANO LTD B ,  SHACHAL DOV

Inventor： SHACHAL DOV

IPC: H01J49/44

CPC classification number: H01J37/285 ,  H01J37/06 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/301 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2807

Abstract: An interface, a scanning electron microscope and a method for observing an object that is positioned in a non-vacuum environment. The method includes: passing at least one electron beam that is generated in a vacuum environment through at least one aperture out of an aperture array and through at least one ultra thin membrane that seals the at least one aperture; wherein the at least one electron beam is directed towards the object; wherein the at least one ultra thin membrane withstands a pressure difference between the vacuum environment and the non-vacuum environment; and detecting particles generated in response to an interaction between the at least one electron beam and the object.

Abstract translation: 接口，扫描电子显微镜和用于观察位于非真空环境中的物体的方法。 该方法包括：使在真空环境中产生的至少一个电子束通过孔阵列中的至少一个孔并通过至少一个密封所述至少一个孔的超薄膜; 其中所述至少一个电子束被引向所述物体; 其中所述至少一个超薄膜承受真空环境和非真空环境之间的压力差; 以及检测响应于所述至少一个电子束和所述物体之间的相互作用而产生的微粒。